Translation of "Drehfehler" in English
Ein
spezieller
Drehfehler
ist
der
oben
bereits
erwähnte
und
definierte
Drehpositionsfehler.
A
specific
rotational
error
is
the
rotational
position
error
which
was
already
mentioned
and
defined
above.
EuroPat v2
Ferner
können
mit
dem
Prüfkörper
auch
weitere
Drehfehler
ermittelt
werden,
wie
in
den
Ausführungsbeispielen
beschrieben.
Furthermore,
the
test
body
can
also
be
used
to
establish
further
rotational
errors,
as
described
in
the
exemplary
embodiments.
EuroPat v2
Die
Erfassung
der
oben
genannten
Drehfehler
kann
auch
als
"Qualifizierung"
bezeichnet
werden.
Registering
the
aforementioned
rotational
errors
can
also
be
referred
to
as
“qualification”.
EuroPat v2
Die
in
Fig.
1
mit
15
bezeichnete
Schlangenlinie
symbolisiert
drei
weitere
Interferometerachsen,
von
denen
die
erste
15X
die
Ausrichtung
des
Kreuzsupports
9
und
somit
auch
des
Halbleiterplättchens
8
in
X-Richtung,
die
zweite
15Y
die
Ausrichtung
des
Kreuzsupports
9
bzw.
des
Halbleiterplättchens
8
in
Y-Richtung
und
die
dritte
15T
im
Zusammenwirken
mit
der
zweiten
den
Drehfehler
des
Kreuzsupports
9
bzw.
des
Halbleiterplättchens
8
überwacht.
The
serpentine
line
15
in
FIG.
1
symbolizes
another
three
interferometric
axes
of
which:
the
first,
i.e.
15X,
measures
the
position
of
X-Y
table
9
and
thus
also
of
semiconductor
wafer
8
in
the
X
direction;
the
second,
i.e.
15Y,
measures
the
position
of
X-Y
table
9
or
of
semiconductor
wafer
8
in
the
Y
direction;
and
the
third,
i.e.
15T,
in
combination
with
the
second,
measures
the
rotational
position
of
X-Y
table
9
or
semiconductor
wafer
8.
EuroPat v2
Das
Erkennen
und
Beheben
dieser
Drehfehler
wird
dadurch
erschwert,
daß
sich
einige
Einzelfehler
bereits
beim
langsamen
Durchdrehen
der
Maschine
zeigen,
sich
also
statisch
auswirken,
während
andere
Fehlerquellen
erst
bei
hohen
Druckgeschwindigkeiten
spürbar
werden,
also
dynamisch
zur
Auswirkung
kommen.
The
detection
and
elimination
of
these
rotational
or
turning
errors
is
rendered
difficult
by
the
fact
that
some
individual
errors
show
themselves
when
the
printing
machine
is
turning
over
at
low
speed
i.e.
these
errors
are
static
in
the
effect
thereof,
whereas
other
errors
only
become
noticable
at
high
printing
speeds
i.e.
these
errors
are
dynamic
in
the
effect
thereof.
EuroPat v2
In
den
Figuren
14
und
15
wird
eine
weitere
für
geradverzahnte
Stirnzahnräder
vorgesehene
Spannvorrichtung
nach
der
Erfindung
gezeigt,
mit
der
Drehfehler
behoben
werden
können.
FIGS.
14
and
15
show
a
further
clamping
device
embodiment
provided
for
straight-toothed
spur
gears
in
accordance
with
the
invention,
by
means
of
which
rotational
defects
or
faults
can
be
eliminated.
EuroPat v2
Schließlich
besteht
auch
die
Möglichkeit,
ohne
Deformation,
lediglich
durch
Verstellen
eines
Stirnzahnrades
Drehfehler
zu
beheben.
Finally,
it
is
also
possible
to
eliminate
rotation
errors
or
faults
without
deformation
and
merely
by
adjusting
or
shifting
a
spur
gear.
EuroPat v2
Wird
also
ein
Stirnzahnrad
an
einem
Achszapfen
eines
Zylinders
in
axialer
Richtung
verstellbar
gelagert,
so
besteht
hierdurch
gleichfalls
die
Möglichkeit,
bei
Verwendung
von
Schrägverzahnung
Drehfehler
allein
durch
Einjustierung
der
Lagermittel
zu
korrigieren.
If,
thus,
a
spur
gear
is
mounted
on
a
shaft
journal
of
a
cylinder
so
as
to
be
adjustable
in
axial
direction,
the
possibility
is
likewise
afforded
thereby,
when
employing
helically-toothed
gearing,
of
eliminating
rotational
faults
or
defects
merely
by
adjusting
or
shifting
the
bearings.
EuroPat v2
Die
in
Fig.
1
mit
14
bezeichnete
Schlangenlinie
symbolisiert
drei
Interferometerachsen,
von
denen
die
erste
14X
die
Ausrichtung
der
Maske
7
in
X-Richtung,
die
zweite
14Y
die
Ausrichtung
der
Maske
in
Y-Richtung
und
die
dritte
14T
im
Zusammenwirken
mit
der
zweiten
den
Drehfehler
der
Maske
7
überwacht.
The
serpentine
line
14
in
FIG.
1
symbolizes
three
interferometric
axes
of
which:
the
first,
i.e.
14X,
measures
the
position
of
mask
7
in
the
X
direction;
the
second,
i.e.
14Y,
measures
the
position
of
the
mask
in
the
Y
direction;
and
the
third,
i.e.
14T,
in
combination
with
the
second,
measures
the
rotational
position
of
mask
7.
EuroPat v2
Die
Ermittlung
der
Vektors
(EPMATHMARKEREP
B)
für
die
Verschiebefehler
beim
Drehgelenk
(14)
sowie
der
Drehmatrix
(D
B)
für
die
Drehfehler
des
Drehgelenkes
(14)
kann
relativ
einfach
erfolgen,
wie
dies
im
Zusammenhang
mit
Figur
6
erläutert
wird.
The
determination
of
the
vector
{right
arrow
over
(v)}
B
for
the
displacement
errors
at
the
rotation
joint
14
as
well
as
the
rotation
matrix
D
B
for
the
rotation
errors
of
the
rotation
joint
14
can
take
place
in
a
relatively
simple
manner
as
is
explained
in
connection
with
FIG.
6
.
EuroPat v2
Dieses
Differenzsignal
60
beschreibt
den
Drehfehler,
der
um
den
Gleichanteil
G
nach
oben
und
unten
schwankt.
This
differential
signal
60
describes
the
rotational
error,
which
fluctuates
up
and
down
by
the
d.c.
components
(G).
EuroPat v2
Wenn
nun
eine
Schiene
einen
in
der
Beugestellung
befindlichen
Finger
in
optimaler
Weise
unterstützen
soll
und
die
Drehfehler
an
der
Bruchstelle
ausgeschlossen
werden
sollen,
so
genügt
die
Verdreh-
und
Verbiegemöglichkeit
der
bisher
bekannten
Schienen
dazu
nicht.
If
a
splint
is
to
support
a
finger
assuming
its
bent
position
in
an
optimum
manner
and
if
twisting
errors
are
to
be
excluded
at
the
area
of
the
fracture,
the
possibility
of
known
splints
to
twist
and
to
bend
are
insufficient
for
this
purpose.
EuroPat v2
Die
Ermittlung
der
Vektors
EPMATHMARKEREP
für
die
Verschiebefehler
beim
Drehgelenk
(14)
sowie
der
Drehmatrix
(D
B)
für
die
Drehfehler
des
Drehgelenkes
(14)
kann
relativ
einfach
erfolgen,
wie
dies
im
Zusammenhang
mit
Figur
6
erläutert
wird.
The
determination
of
the
vector
{right
arrow
over
(v)}
B
for
the
displacement
errors
at
the
rotation
joint
14
as
well
as
the
rotation
matrix
D
B
for
the
rotation
errors
of
the
rotation
joint
14
can
take
place
in
a
relatively
simple
manner
as
is
explained
in
connection
with
FIG.
6
.
EuroPat v2
In
der
Regel
treten
bei
der
Bewegung
von
Teilen
um
eine
Drehachse
Abweichungen
von
der
idealen
Drehbewegung
in
allen
sechs
Freiheitsgraden
(translatorisch
und
rotatorisch)
auf,
zusammenfassend
bezeichnet
als
Drehfehler.
In
general,
deviations
from
the
ideal
rotational
movement
occur
in
all
six
degrees
of
freedom
(translational
and
rotational)
in
the
case
of
the
movement
of
parts
about
a
rotational
axis,
which
are
subsumed
by
the
phrase
rotational
error.
EuroPat v2
Ein
spezieller
Drehfehler
ist
der
sogenannte
Drehpositionsfehler,
das
heißt
eine
Abweichung
im
Vergleich
zu
dem
nominellen
Drehpositionswert,
der
von
einem
Drehpositionsermittlungssystem
angezeigt
wird,
wie
oben
bereits
thematisiert.
A
specific
rotational
error
is
the
so-called
rotational
position
error,
i.e.
a
deviation
compared
to
the
nominal
rotational
position
value
displayed
by
a
rotational
position
establishment
system,
as
already
discussed
above.
EuroPat v2
Die
Erfassung
der
oben
genannten
Drehfehler
kann
im
Rahmen
einer
"Qualifizierung"
oder
einer
Computer
Aided
Accuracy
(CAA)-Datenaufnahme
erfolgen.
The
aforementioned
rotational
errors
can
be
registered
within
the
scope
of
a
“qualification”
or
a
computed
aided
accuracy
(CAA)
data
recording.
EuroPat v2
Mit
dem
Prüfkörper
können
Drehfehler
einer
Drehvorrichtung
mit
hoher
Präzision
und
mit
möglichst
geringem
Zeitaufwand
ermittelt
werden.
Using
the
test
body,
it
is
possible
to
establish
rotational
errors
of
a
rotational
device
with
high
precision
and
with
the
shortest
possible
time
outlay.
EuroPat v2
Angegeben
wird
ein
Prüfkörper
zur
Ermittlung
eines
oder
mehrerer
Drehfehler
einer
Drehvorrichtung,
insbesondere
einer
Drehvorrichtung
für
ein
Koordinatenmessgerät,
bezüglich
eines
oder
mehrerer
Bewegungs-Freiheitsgrade,
in
dem/denen
sich
eine
reale
Drehbewegung
der
Drehvorrichtung
von
einer
idealen
Drehbewegung
unterscheidet,
wobei
der
Prüfkörper
aufweist:
What
is
specified
is
a
test
body
for
establishing
one
or
more
rotational
errors
of
a
rotational
device,
in
particular
of
a
rotational
device
for
a
coordinate
measuring
machine,
in
respect
of
one
or
more
degrees
of
freedom
of
movement,
in
which
a
real
rotational
movement
of
the
rotational
device
differs
from
an
ideal
rotational
movement,
wherein
the
test
body
comprises:
EuroPat v2
Angegeben
wird
auch
ein
Prüfkörper
zur
Ermittlung
eines
oder
mehrerer
Drehfehler
einer
Drehvorrichtung,
insbesondere
einer
Drehvorrichtung
für
ein
Koordinatenmessgerät,
bezüglich
eines
oder
mehrerer
Bewegungs-Freiheitsgrade,
in
dem/denen
sich
eine
reale
Drehbewegung
der
Drehvorrichtung
von
einer
idealen
Drehbewegung
unterscheidet,
wobei
der
Prüfkörper
aufweist:
Also
specified
is
a
test
body
for
establishing
one
or
more
rotational
errors
of
a
rotational
device,
in
particular
of
a
rotational
device
for
a
coordinate
measuring
machine,
in
respect
of
one
or
more
degrees
of
freedom
of
movement,
in
which
a
real
rotational
movement
of
the
rotational
device
differs
from
an
ideal
rotational
movement,
wherein
the
test
body
comprises:
EuroPat v2
Der
Begriff
"Drehfehler"
umfasst
alle
translatorischen
und
rotatorischen
Abweichungen,
die
bei
dem
Betrieb
der
Drehvorrichtung
auftreten,
insbesondere
drei
translatorische
Fehler
bezüglich
der
kartesischen
Koordinatenachsen
X,
Y
und
Z,
bezeichnet
als
Tx,
Ty
und
Tz,
und
rotatorische
Fehler
bezüglich
der
kartesischen
Koordinatenachsen
X,
Y,
bezeichnet
als
Rx,
Ry,
sofern
die
Drehachse
der
Drehvorrichtung
in
Z-Richtung
ausgerichtet
ist
(weiter
dazu
unten).
The
phrase
“rotational
error”
comprises
all
translational
and
rotational
deviations
which
occur
during
the
operation
of
the
rotational
device,
in
particular
three
translational
errors
in
respect
of
the
Cartesian
coordinate
axes
X,
Y
and
Z,
referred
to
as
Tx,
Ty,
Tz,
and
rotational
errors
in
respect
of
the
Cartesian
coordinate
axes
X,
Y,
referred
to
as
Rx,
Ry,
provided
that
the
rotational
axis
of
the
rotational
device
is
aligned
in
the
Z-direction
(more
in
this
respect
is
outlined
below).
EuroPat v2
Angegeben
wird
eine
Anordnung
zur
Ermittlung
eines
oder
mehrerer
Drehfehler
einer
Drehvorrichtung,
insbesondere
einer
Drehvorrichtung
für
ein
Koordinatenmessgerät,
bezüglich
eines
oder
mehrerer
Bewegungs-Freiheitsgrade,
in
dem/denen
sich
eine
reale
Drehbewegung
der
Drehvorrichtung
von
einer
idealen
Drehbewegung
unterscheidet,
mit
einem
Prüfkörper,
wobei
der
Prüfkörper
aufweist:
What
is
specified
is
a
test
body
for
establishing
one
or
more
rotational
errors
of
a
rotational
device,
in
particular
of
a
rotational
device
for
a
coordinate
measuring
machine,
in
respect
of
one
or
more
degrees
of
freedom
of
movement,
in
which
a
real
rotational
movement
of
the
rotational
device
differs
from
an
ideal
rotational
movement,
wherein
the
test
body
comprises:
EuroPat v2
Mit
dem
Begriff
"Drehfehler",
auch
bezeichnet
als
"Bewegungsfehler",
sind
somit
alle
Fehler
bzw.
Abweichungen,
wie
translatorische
und
rotatorische
Abweichungen
gemeint,
die
bei
einer
Drehung
von
Teilen
der
Drehvorrichtung
um
eine
Drehachse
auftreten.
Thus,
the
phrase
“rotational
error”,
which
is
also
referred
to
as
“movement
error”,
means
all
errors
or
deviations,
such
as
translational
and
rotational
deviations,
which
occur
when
parts
of
the
rotational
device
rotate
about
a
rotational
axis.
EuroPat v2
Ein
spezieller
Drehfehler
ist
der
sogenannte
Drehpositionsfehler,
der
die
Abweichung
der
tatsächlichen
Drehposition
von
der
nominellen
Drehposition
beschreibt,
die
von
dem
Drehpositionsmesssystem
ausgegeben
wird.
A
specific
rotational
error
is
the
so-called
rotational
position
error,
which
describes
the
deviation
of
the
actual
rotational
position
from
the
nominal
rotational
position,
which
is
output
by
the
rotational
position
measurement
system.
EuroPat v2
Eine
Aufgabe
der
Erfindung
ist
die
Bereitstellung
eines
Prüfkörpers,
womit
Drehfehler
einer
Drehvorrichtung
mit
hoher
Präzision
und
mit
möglichst
geringem
Zeitaufwand
ermittelbar
sind.
One
object
of
the
invention
lies
in
the
provision
of
a
test
body,
by
means
of
which
rotational
errors
of
a
rotational
device
are
establishable
with
high
precision
and
with
as
little
time
outlay
as
possible.
EuroPat v2
Mit
den
Abweichungen
der
realen
Drehbewegung
von
der
idealen
oder
gewünschten
Drehbewegung
bezüglich
Bewegungs-Freiheitsgraden,
also
translatorischen
und
rotatorischen
Freiheitsgraden,
können
Drehfehler
ermittelt
werden.
Rotational
errors
can
be
established
from
the
deviations
of
the
real
rotational
movement
from
the
ideal
or
desired
rotational
movement
in
respect
of
degrees
of
freedom
of
movement,
i.e.
translational
and
rotational
degrees
of
freedom.
EuroPat v2