Translation of "Aufdampfanlage" in English
Anschließend
wurde
in
einer
Aufdampfanlage,
unter
Ultrahochvakuumbedingungen,
das
Co
aufgedampft.
In
a
vapor
deposition
apparatus
under
ultra
high
vacuum
conditions,
Co
is
deposited.
EuroPat v2
Die
Aufdampfanlage
wird
bis
zu
einem
Druck
von
1x10
-5
mbar
evakuiert.
The
vapor-deposition
unit
is
evacuated
to
a
pressure
of
1×10
?5
mbar.
EuroPat v2
Nach
dem
Abkühlen
werden
die
beschichteten
Substrate
der
Aufdampfanlage
entnommen.
After
cooling,
the
coated
substrates
are
removed
from
the
vapor-deposition
unit.
EuroPat v2
Für
Spezialanwendungen
steht
eine
Aufdampfanlage
für
die
Rückseitenmetallisierung
bereit.
A
high
vacuum
coating
plant
for
the
back
metalization
is
available
for
special
applications.
ParaCrawl v7.1
Die
dafür
eingesetzte
Aufdampfanlage
(Edwards)
ist
in
einer
Inertgas-Glovebox
(Braun)
integriert.
The
vapour
deposition
system
(Edwards)
used
for
this
step
is
built
into
an
inert
gas
glove
box
(Braun).
EuroPat v2
Die
Aufdampfanlage
wird
bis
zu
einem
Druck
von
1
mPa
(1x10
-5
mbar)
evakuiert.
The
vapor-deposition
unit
is
evacuated
to
a
pressure
of
1×10
?5
mbar.
EuroPat v2
In
einer
handelsüblichen
Aufdampfanlage
werden
auf
einen
Objektträger
aus
Glas
mit
zwei
getrennten
Elektronenstrahlkanonen
gleichzeitig
Samarium
und
Kobalt
aufgedampft.
Samarium
and
cobalt
are
simultaneously
deposited
by
means
of
two
separate
electron
beam
guns
on
a
microscope
slide
in
a
commercial
vacuum-metallizing
apparatus.
EuroPat v2
Beispielsweise
kann
das
Sputterätzen
und
das
Ausheizen
in
der
Aufdampfanlage
erfolgen,
in
der
anschließend
die
Metallschichten
für
die
Deckelektrode
aufgedampft
werden.
For
example,
the
sputtering
etching
and
the
expulsion
heating
may
take
place
in
the
vapour
deposition
apparatus
in
which
subsequently
the
metal
layers
for
the
covering
electrode
are
vapour
deposited.
EuroPat v2
Außerdem
ist
es
vorteilhaft,
die
Schwenkachse
vakuumdicht
aus
der
Aufdampfanlage
herauszuführen
und
mit
einem
mechanischen
Antrieb
außerhalb
der
Anlage
zu
versehen.
Besides
it
is
advantageous
to
bring
the
moveable
shaft
out
of
the
vapor
coating
plant
in
hermetically
sealed
manner
and
to
provide
it
with
a
mechanical
drive
outside
the
plant.
EuroPat v2
Die
thermische
Trennschicht
wird
analog
zu
den
oben
geschilderten
Verfahren
in
einer
analogen
oder
gleichen
Aufdampfanlage
aufgebracht.
The
thermal
separating
layer
is
applied
analogously
to
the
above
described
methods
in
an
analogous
or
identical
vapor
deposition
installation.
EuroPat v2
Figur
1
zeigt
eine
schematische
Darstellung
einer
beispielsweisen
Aufdampfanlage
zur
Durchführung
der
erfindungsgemäßen
hochverschleißfesten
Beschichtung
mit
wechselnden
Materialkonzentrationen.
FIG.
1
shows
by
example
a
schematic
representation
of
vapor
deposition
installation
for
creating
the
highly
wear-resistant
coating
with
alternating
material
concentrations
according
to
the
invention.
EuroPat v2
In
einer
Variante
der
Aufdampfanlage
sind
die
Halterungen
der
Grundkörper
gegeneinander
und
gegenüber
der
Vakuumkammer
19
isoliert.
In
a
variant
of
the
vapor
deposition
installation
the
holders
of
the
basic
bodies
are
insulated
with
respect
to
each
other
and
with
respect
to
the
vacuum
chamber
19.
EuroPat v2
Figur
3
zeigt
eine
schematische
Darstellung
einer
beispielsweisen
Aufdampfanlage
zur
Erzeugung
einer
dekorativen
Beschichtung
mit
dem
erfindungsgemäßen
Verfahren.
FIG.
3
is
a
schematic
representation
of
a
vapor
deposition
installation
by
example
for
the
generation
of
a
decorative
coating
with
the
method
according
to
the
invention.
EuroPat v2
Die
Aufdampfanlage
hat
eine
Vakuumkammer
19
mit
einem
Evakuierungsanschluß
20
und
eine
Glühkathodenkammer
21
mit
einer
Glühkathode
22,
die
über
eine
Öffnung
25
mit
der
Vakuumkammer
19
verbunden
ist.
The
vapor
deposition
installation
has
a
vacuum
chamber
19
with
an
evacuation
port
20
and
a
thermionic
cathode
chamber
21
with
a
thermionic
cathode
22
which
is
connected
via
an
opening
25
with
the
vacuum
chamber
19.
EuroPat v2
Nach
dem
Abschalten
der
Elektronenstrahlkanone
und
Abkühlung
des
Verdampfgutes
wird
nach
15
Minuten
die
Kammer
der
Aufdampfanlage
belüftet
und
der
beschichtete
Formkörper
entnommen.
15
Minutes
after
the
electron
beam
gun
has
been
switched
off
and
the
deposited
substance
has
cooled
down,
the
chamber
of
the
vapour
deposition
installation
is
ventilated
and
the
coated
body
is
removed.
EuroPat v2
Bei
der
Unterbrechung
des
Vakuums
zwecks
Neubeschickung
der
Verdampfer
kommt
erschwerend
hinzu,
daß
ein
mehrfaches
Auspumpen
der
Aufdampfanlage
unwirtschaftlich
ist.
In
breaking
the
vacuum
for
the
purpose
of
new
loading
of
the
evaporator
there
is
the
difficulty
that
a
multiple
pumping
out
of
the
vapor
coating
plant
is
uneconomical.
EuroPat v2
Falls
die
Aufdampfanlage
mehrere
Verdampfer
besitzt,
ist
es
von
Vorteil,
jedem
Verdampfer
eine
eigene
Beschikkungsrolle
zuzuordnen,
die
entweder
auf
der
gleichen
oder
auf
verschiedenen
Achsen
sitzen.
In
case
the
vapor
coating
plant
has
several
evaporators
it
is
of
advantage
to
arrange
for
each
evaporator
its
own
loading
roll
which
either
rest
on
the
same
or
on
different
shafts.
EuroPat v2
In
einer
Aufdampfanlage
wie
beschrieben
in
Figur
1
wurde
eine
lackierte
und
eine
nicht
lackierte
CR
39
Linse
mit
einer
plasmapolymerisierten
Schichtkombination
versehen
und
danach
mit
einer
aufgedampften
Antireflexentspiegelung
beidseitig
beschichtet.
A
lacquered
and
a
non
lacquered
CR
39
lens
where
coated
within
a
coating
apparatus
as
described
in
FIG.
1
with
a
plasma
polymerized
layer
combination
and
then
coated
on
both
sides
with
an
evaporated
anti
reflection
coating.
EuroPat v2
Die
Aufdampfanlage
21
ist
dabei
in
Seitenansicht
von
vorne
dargestellt,
mit
entfernter
Frontöffnung,
damit
der
kalottenartige
Substrathalter
19
sichtbar
ist.
The
vapor
deposition
installation
21
is
therein
depicted
in
lateral
view
from
the
front
with
the
front
opening
removed
so
that
the
vault-like
substrate
holder
19
is
visible.
EuroPat v2
Schematisch
dargestellt,
umfasst
die
Aufdampfanlage
21
eine
Auslassöffnung
25,
welche
beispielsweise
zu
einer
Vakuumpumpe
27
führt,
mittels
welcher
der
Bearbeitungsraum
23
evakuiert
werden
kann.
Depicted
schematically,
the
vapor
deposition
installation
21
comprises
an
outlet
opening
25
which
leads
for
example
to
a
vacuum
pump
27
by
means
of
which
the
working
volume
23
can
be
evacuated.
EuroPat v2
Nach
der
Wendeoperation
wird
der
Einschwenkmechanismus
33
durch
den
Absenkmechanismus
37
wieder
zurückgezogen,
und
der
Beschichtungsvorgang
in
der
Aufdampfanlage
kann
seine
Fortsetzung
finden.
After
the
rotation
operation,
the
angled
mechanism
33
is
again
retracted
by
the
lowering
mechanism
37
and
the
coating
process
in
the
vapor
deposition
installation
can
be
continued.
EuroPat v2
Als
solches
wird
beispielsweise
Aluminium
in
einer
Schichtdicke
von
etwa
200
bis
500
nm
in
einer
Aufdampfanlage
mit
einer
Elektronenstrahlkanone
innerhalb
einer
Zeit
von
etwa
200
Sekunden
ohne
Substratheizung
aufgedampft.
Aluminum,
as
an
example,
is
evaporated
with
a
layer
thickness
of
about
200-500
nm
in
an
evaporation
system
with
an
electron
beam
gun
in
about
200
seconds.
EuroPat v2
Die
so
hergestellten
Bildchen
werden
auf
eine
drehbare
Vorrichtung
montiert
und
in
den
Bedampfungsraum
einer
Aufdampfanlage
eingesetzt.
The
thus
produced
pictures
were
mounted
on
a
rotatable
device
and
inserted
in
the
vaporization
space
of
a
vapor
deposition
apparatus.
EuroPat v2
In
einer
handelsüblichen
Aufdampfanlage
werden
auf
eine
Objektträger
aus
Glas
mit
zwei
getrennten
Elektronenstrahlkanonen
gleichzeitig
Samarium
und
Kobalt
aufgedampft.
Samarium
and
cobalt
are
simultaneously
deposited
by
means
of
two
separate
electron
beam
guns
on
a
microscope
slide
in
a
commercial
vacuum-metallizing
apparatus.
EuroPat v2
Es
wird
wie
in
Beispiel
6
beschrieben
verfahren,
mit
dem
Unterschied,
daß
die
Glasplatten
durch
einen
in
die
Aufdampfanlage
eingebauten
Elektromotor
während
des
Bedampfens
in
eine
konzentrische
Drehbewegung
mit
20
Upm
versetzt
werden.
The
procedure
described
in
Example
6
is
followed,
except
that
the
glass
plates
are
caused
to
rotate
at
20
rpm,
by
means
of
an
electric
motor
installed
in
the
vacuum-metallizing
apparatus,
during
deposition.
EuroPat v2
Beispielsweise
kann
das
Sputterätzen
und
das
Ausheizen
in
der
Aufdampfanlage
erfolgen,
in
der
anschliessend
die
Metallschichten
für
die
Deckelelektrode
aufgedampft
werden.
For
example,
the
sputtering
etching
and
the
expulsion
heating
may
take
place
in
the
vapour
deposition
apparatus
in
which
subsequently
the
metal
layers
for
the
covering
electrode
are
vapour
deposited.
EuroPat v2