Translation of "Astigmatisch" in English
Die
Strahlung
wird
astigmatisch,
wodurch
eine
Reduzierung
des
gemeinsamen
Überlapps
eintritt.
The
beam
becomes
astigmatic
whereby
a
reduction
in
the
common
overlap
occurs.
EuroPat v2
Die
zugeteilten
Brennweiten
sind
daher
verschieden,
die
Linse
wirkt
astigmatisch.
The
allocated
focal
lengths
are
therefore
different,
and
the
lens
has
an
astigmatic
effect.
EuroPat v2
Bei
besonderen
Ausführungsformen
können
die
Diodenlinsen
astigmatisch
sein
und/oder
das
Linsensystem
aus
Zylinderlinsen
bestehen.
In
special
embodiments
it
is
possible
for
the
diode
lenses
to
be
astigmatic
and/or
the
lens
system
to
consist
of
cylinder
lenses.
EuroPat v2
Gemäß
der
Erfindung
können
die
Diodenlinsen
astigmatisch
sein
und/oder
das
Linsensystem
aus
Zylinderlinsen
bestehen.
The
diode
lenses
can
according
to
the
invention
be
astigmatic
and/or
the
lens
system
can
consist
of
cylinder
lenses.
EuroPat v2
Gemäß
bevorzugter
Ausführungsformen
können
die
Diodenlinsen
astigmatisch
sein
und/oder
das
Linsensystem
aus
Zylinderlinsen
bestehen.
The
diode
lenses
can
according
to
the
invention
be
astigmatic
and/or
the
lens
system
can
consist
of
cylinder
lenses.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
eine
Hochstrom-Elektronenquelle
kleiner
Energiebreite,
insbesondere
für
einen
Elektronenstrahlschreiber,
mit
einem
Strahlerzeugungssystem,
aus
Kathode
und
weiteren
Elektroden
von
denen
eine
als
gehnelt-Elektrode
die
aus
der
Kathode
austretenden,
noch
geringe
Geschwindigkeiten
aufweisenden
Elektronen
astigmatisch
in
eine
linienförmige
Kreuzungslinie
(cross-over)
fokussiert.
The
present
invention
relates
to
high
current
electron
sources
having
a
narrow
energy
band
such
as
are
employed
in
electron
beam
printing
devices,
and
particularly
to
such
an
electron
source
having
a
beam
generating
system
consisting
of
a
cathode
and
focusing
electrodes
and
an
anode
wherein
at
least
one
electrode
astigmatically
focuses
the
electrons
in
the
range
of
lower
velocities
in
at
least
one
crossover.
EuroPat v2
Weil
in
der
optischen
Abtastvorrichtung
im
Strahlengang
des
mittleren
Lichtstrahls
L1
eine
astigmatisch
wirkende
Kollimatorlinse
vorgesehen
ist,
ist
der
mittlere
Lichtstrahl
L1
bei
genauer
Fokussierung
auf
dem
großen
Quadrat,
das
aus
den
Photodioden
A,
B,
C
und
D
gebildet
wird,
kreisförmig,
während
er
bei
Defokussierung
Ellipsenform
annimmt.
Since
an
astigmatic
collimator
lens
is
positioned
in
the
path
of
the
main
beam
L1
in
the
optical
pick-up,
the
beam
will
be
circular
when
precisely
focused
on
the
large
square
that
comprises
photodiodes
A,
B,
C,
and
D
and
will
be
elliptical
when
it
is
out
of
focus.
EuroPat v2
Spaltprojektor
nach
einem
der
Ansprüche
1
bis
9,
dadurch
gekennzeichnet,
dass
die
Diodenlinse
(12)
astigmatisch
sind.
The
slit
projector
according
to
claim
1,
the
diode
lenses
are
astigmatic.
EuroPat v2
Gerät
nach
einem
der
Ansprüche
10
bis
19,
dadurch
gekennzeichnet,
dass
das
Linsensystem
(23)
astigmatisch
ist.
The
device
according
to
claim
10,
wherein
the
lens
system
is
astigmatic.
EuroPat v2
Gegenüber
der
astigmatisch
erzeugten
Bildlinie
SBL
von
Figur
19
oder
auch
FC0
von
Figur
17
sind
insbesondere
Lichtflecke
einer
vorgebbaren,
beliebigen
Längserstreckung
in
z-Richtung
(in
der
z,y-Ebene
betrachtet)
erzeugbar.
Compared
to
the
astigmatically
generated
image
line
SBL
of
FIG.
19
or
FC0
of
FIG.
17
as
well,
light
spots
having
a
prescribable,
arbitrary
longitudinal
extent
in
the
z-direction
(viewed
in
the
z,
y-plane)
can
be
particularly
produced.
EuroPat v2
Gegenüber
der
astigmatisch
erzeugten
Bildlinie
SBL
von
Figur
19
oder
auch
FC0
von
Figur
17
sind
insbesondere
Lichtflecke
ermöglicht,
die
ihr
gegenüber
in
der
z,y-Ebene
betrachtet
eine
wesentlich
größere
Ausdehnung
in
z-Richtung
aufweisen.
Compared
to
the
astigmatically
produced
image
line
SBL
of
FIG.
19
or
FC0
of
FIG.
17
as
well,
light
spots
that
have
a
significantly
greater
expanse
in
the
z-direction
viewed
in
the
z,
y-plane
in
comparison
thereto
are
particularly
enabled.
EuroPat v2
In
dieser
Patentschrift
ist
weiter
erwähnt,
dass
das
auf
diese
Weise
erzeugte
Fokussierlinsenfeld
dennoch
astigmatisch
ist
und
die
Elektronenstrahlen
mehr
vertikal
als
horizontal
fokussiert
werden.
It
is
stated
in
the
Patent
Specification
that
the
focusing
lens
field
generated
in
this
manner
is
still
astigmatic
and
the
electron
beams
are
focused
vertically
more
strongly
than
horizontally.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
eine
Hochstrom-Elektronenquelle
kleiner
Energiebreite,
insbesondere
für
einen
Elektronenstrahlschreiber,
mit
einem
aus
Kathode
und
weiteren
Elektroden
bestehenden
Strahlerzeugungssystem,
wobei
mindestens
eine
Elektrode
so
ausgebildet
ist,
daß
die
Elektronen
im
Bereich
geringer
Geschwindigkeiten
astigmatisch
in
mindestens
eine
Kreuzungslinie
(cross-over)
fokussiert
sind.
The
present
invention
relates
to
high
current
electron
sources
having
a
narrow
energy
band
such
as
are
employed
in
electron
beam
printing
devices,
and
particularly
to
such
an
electron
source
having
a
beam
generating
system
consisting
of
a
cathode
and
focusing
electrodes
and
an
anode
wherein
at
least
one
electrode
astigmatically
focuses
the
electrons
in
the
range
of
lower
velocities
in
at
least
one
crossover.
EuroPat v2
Betrachtet
man
nun
die
Abbildung
eines
axialen
Objekts
(also
eines
Objekts
auf
der
optischen
Achse)
mittels
eines
anamorphotischen
optischen
Elements,
so
stellt
man
fest,
dass
diese
Abbildung
paraxial
astigmatisch
ist.
If
the
imaging
of
an
axial
object
(that
is
to
say
of
an
object
on
the
optical
axis)
by
means
of
an
anamorphic
optical
element
is
considered,
then,
it
is
established
that
this
imaging
is
paraxially
astigmatic.
EuroPat v2
Solche
Zylinderoptiken
sind
im
idealen
Sinne
astigmatisch,
d.h.
sie
erzeugen
nur
in
Ebenen
senkrecht
zu
ihrer
Zylinderachse
optische
Abbildungen.
Such
cylindrical
optical
systems
are
astigmatic
in
the
ideal
sense,
that
is
to
say
they
produce
only
optical
imaging
in
planes
perpendicular
to
their
cylinder
axis.
EuroPat v2
Allerdings
kann
die
Abbildung
eines
extraaxialen
Objekts
(also
eines
Objekts,
welches
nicht
axial
ist)
mittels
eines
rotationssymmetrischen
optischen
Elements
wegen
vorhandener
Abberationen
astigmatisch
sein.
However,
the
imaging
of
an
abaxial
object
(that
is
to
say
an
object
which
is
not
axial)
by
means
of
a
rotationally
symmetrical
optical
element
can
be
astigmatic
owing
to
aberrations
present.
EuroPat v2
Da
die
von
den
Laserdioden
emittierten
Laserstrahlen
nicht
die
Form
von
geometrisch
exakten
Linien
(Z-Richtung)
besitzen,
sondern
aufgrund
der
im
Allgemeinen
asymmetrischen
Form
der
aktiven
Emitterregion
sowohl
in
X-Richtung
und
in
Y-Richtung
unterschiedliche
Strahlaufweitung
aufweisen
können
und
der
Ausgangsstrahl
zusätzlich
auch
astigmatisch
sein
kann,
wodurch
sich
die
Strahltaillen
bezüglich
der
X-Richtung
und
der
Y-Richtung
an
unterschiedlichen
Stellen
befinden,
entsteht
eine
zwangsläufige
Strahlaufweitung,
der
jedoch
durch
geeignete
optische
Bauelemente
entgegen
gewirkt
werden
kann.
Because
the
laser
beams
emitted
by
the
laser
diodes
do
not
have
the
form
of
a
geometrically
correct
line
(z-direction)
but,
due
to
the
generally
asymmetric
form
of
the
active
emitter
region,
can
have
different
beam
widening
in
both
the
x-direction
and
in
the
y-direction,
and
additionally,
the
output
beam
can
be
astigmatic,
with
the
result
that
the
beam
waists
regarding
the
x-direction
and
the
y-direction
are
located
at
different
positions,
an
inevitable
beam
widening
is
produced,
which
can
be
counteracted
by
appropriate
optical
component
parts.
EuroPat v2
Da
die
von
den
Laserdioden
emittierten
Laserstrahlen
nicht
die
Form
einer
geometrisch
exakten
Linie
(Z-Richtung)
besitzen
sondern
aufgrund
der
im
Allgemeinen
asymmetrischen
Form
der
aktiven
Emitterregion
sowohl
in
X-Richtung
und
in
Y-Richtung
unterschiedliche
Strahlaufweitung
aufweisen
können
und
der
Ausgangsstrahl
zusätzlich
auch
astigmatisch
sein
kann,
wodurch
sich
die
Strahltaillen
bezüglich
der
X-Richtung
und
der
Y-Richtung
an
unterschiedlichen
Stellen
befinden,
entsteht
eine
zwangsläufige
Strahlaufweitung,
der
jedoch
durch
an
späterer
Stelle
beschriebene
Maßnahmen
entgegen
gewirkt
werden
kann.
Because
the
laser
beams
emitted
by
the
laser
diodes
do
not
have
the
form
of
a
geometrically
correct
line
(z-direction)
but,
due
to
the
generally
asymmetric
form
of
the
active
emitter
region,
can
have
different
beam
widening
in
both
the
x-direction
and
in
the
y-direction,
and
additionally,
the
output
beam
can
be
astigmatic,
with
the
result
that
the
beam
waists
regarding
the
x-direction
and
the
y-direction
are
located
at
different
positions,
an
inevitable
beam
widening
is
produced,
which
can
be
counteracted
by
measures
that
will
be
described
later.
EuroPat v2
Im
Beleuchtungsstrahlengang
der
Beleuchtungseinrichtung
19
in
Fig.2
ist
hier
zusätzlich
auch
noch
ein
zweites
astigmatisch
wirkendes
optisches
Element,
hier
beispielhaft
als
zweites
zylinderoptisches
Element
33
ausgestaltet,
angeordnet.
Arranged
additionally
in
the
illumination
beam
path
of
the
illumination
device
19
in
FIG.
2
is
a
second
astigmatically
acting
optical
element,
which
is
here,
for
example,
a
second
cylindrical
optical
element
33
.
EuroPat v2
Statt
eines
zylinderoptischen
Elements
33
mit
mindestens
einer
Zylinderlinse
lassen
sich
auch
astigmatisch
wirkende
Elemente
mit
Powell-Linsen
verwenden.
Instead
of
a
cylindrical
optical
element
33
with
at
least
one
cylindrical
lens,
astigmatically
acting
elements
with
Powell
lenses
can
be
used
as
well.
EuroPat v2
Dabei
kann
es
von
Vorteil
sein,
daß
die
Beleuchtungseinrichtung
ein
im
Beleuchtungsstrahlengang
oder
im
weiteren
Beleuchtungsstrahlengang
angeordnetes,
astigmatisch
wirkendes
optisches
Element,
bevorzugt
ein
zylinderoptisches
Element
zur
korrekten
Abbildung
des
Umschaltspiegels
oder
des
Abtastspiegels
in
eine
Pupillenebene
umfaßt.
Herein
it
may
be
of
advantage
that
the
illumination
device
comprises
an
astigmatically
acting
optical
element,
preferably
a
cylindrical
optical
element,
arranged
in
the
one
illumination
beam
path
or
in
the
other
illumination
beam
path
and
intended
for
the
correct
imaging
of
the
switching
mirror
or
of
the
scanning
mirror
onto
a
pupil
plane.
EuroPat v2
Während
der
eine
der
beiden
Spiegel
korrekt
in
die
Pupillenebene
abgebildet
wird,
ist
die
Abbildung
des
anderen
Spiegels
ohne
ein
solches
zusätzliches
astigmatisch
wirkendes
Element
nicht
korrekt,
es
handelt
sich
als
um
eine
Korrekturoptik
zur
korrekten
Abbildung
beider
Spiegel.
Whereas
the
one
of
the
two
mirrors
is
correctly
imaged
onto
the
pupil
plane,
the
imaging
of
the
other
mirror
would
not
be
correct
without
such
an
additional
astigmatically
acting
element;
this,
then,
is
an
optical
correction
system
for
the
correct
imaging
of
both
mirrors.
EuroPat v2
Zusätzlich
kann
dann
auch
ein
zweites
astigmatisch
wirkendes
optisches
Element,
welches
ebenfalls
als
zylinderoptisches
Element
ausgestaltet
sein
kann,
im
Beleuchtungsstrahlengang
angeordnet
sein.
In
addition,
then,
a
second
astigmatically
acting
optical
element,
which
also
may
be
configured
as
a
cylindrical
optical
element,
may
be
arranged
in
the
illumination
beam
path.
EuroPat v2
Dabei
kann
es
von
Vorteil
sein,
daß
die
Beleuchtungseinrichtung
ein
im
Beleuchtungsstrahlengang
oder
im
weiteren
Beleuchtungsstrahlengang
angeordnetes,
astigmatisch
wirkendes
optisches
Element,
bevorzugt
ein
zylinderoptisches
Element
zur
korrekten
Abbildung
des
Abtastspiegels
oder
des
Umschaltspiegels
bzw.
des
weiteren
Abtastspiegels
in
eine
Pupillenebene
umfaßt.
Herein
it
can
be
of
advantage
that
the
illumination
device
comprises
an
astigmatically
acting
optical
element,
preferably
a
cylindrical
optical
element,
which
is
arranged
in
the
one
illumination
beam
path
or
in
the
other
illumination
beam
path
and
serves
to
correctly
image
the
scanning
mirror,
the
switching
mirror
or
the
other
scanning
mirror
onto
a
pupil
plane.
EuroPat v2