Translation of "Abscheiderate" in English
Gleichzeitig
wird
jedoch
auch
die
Abscheiderate
von
Wolfram
auf
der
Siliziumoberfläche
reduziert.
At
the
same
time,
however,
the
deposition
rate
of
tungsten
onto
the
silicon
surface
is
also
reduced.
EuroPat v2
Auch
hier
ergeben
sich
SBT-
und
BST-Schichten
mit
ausgezeichneter
Kantenabdeckung
und
guter
Abscheiderate.
In
this
case
too,
SBT
and
BST
coatings
having
excellent
edge
covering
are
obtained
at
a
good
deposition
rate.
EuroPat v2
Dabei
wird
eine
Abscheiderate
von
5-10
Å/s
erreicht.
A
deposition
rate
of
5-10
Å/s
is
reached.
EuroPat v2
Durch
die
Erfindung
kann
zusätzlich
eine
höhere
Abscheiderate
als
beim
PECVD-Verfahren
erreicht
werden.
The
invention
additionally
permits
a
higher
deposition
rate
than
in
the
PECVD
method.
EuroPat v2
Bei
kleinen
Substratflächen
kann
dabei
eine
homogene
Abscheiderate
erzielt
werden.
If
the
surfaces
of
the
substrate
are
small,
a
homogeneous
deposition
rate
can
be
achieved.
EuroPat v2
Dieses
erfolgt
jedoch
auf
Kosten
der
Höhe
der
Abscheiderate.
This,
however,
also
results
in
a
decrease
in
the
deposition
rate.
EuroPat v2
Dadurch
wird
die
auf
der
Substratscheibe
aufkommende
Abscheiderate
homogenisiert.
The
deposition
rate
arising
on
the
substrate
wafer
is
thereby
homogenized.
EuroPat v2
Die
Abscheiderate
D
ist
jeweils
für
eine
vorgegebene
Verteilung
von
Lochradien
berechnet.
The
deposition
rate
is
respectively
calculated
for
a
prescribed
distribution
of
hole
radii.
EuroPat v2
So
ist
die
Abscheiderate
auf
einem
thermischen
Oxid
niedriger
als
auf
Silizium.
The
deposition
rate
is
thus
lower
on
a
thermal
oxide
than
on
silicon.
EuroPat v2
Dies
erleichtert
das
Einhalten
einer
konstanten
Abscheiderate
und
eines
homogenen
Dichteverlaufes.
This
makes
it
easier
to
maintain
a
constant
deposition
rate
and
a
constant
density.
EuroPat v2
Aufgrund
der
Homogenität
des
Feldes
in
der
Substratebene
ist
die
Abscheiderate
überaus
gleichmäßig.
Thanks
to
the
homogeneity
of
the
field
in
the
substrate
plane,
the
deposition
rate
is
extremely
even.
EuroPat v2
Durch
die
gleichmäßige
Anströmung
wird
demzufolge
die
Abscheiderate
überaus
homogen.
This
even
gas
flow
ensures
that
the
deposition
rate
is
accordingly
extremely
homogeneous.
EuroPat v2
Dadurch
wird
die
Abscheiderate
des
Magnetabscheiders
erhöht.
This
increases
the
separation
rate
of
the
magnetic
separator.
EuroPat v2
Eine
zu
hohe
Geschwindigkeit
des
Produktmassenstroms
senkt
ebenfalls
die
Abscheiderate
des
Magnetabscheiders.
Too
high
a
rate
of
product
mass
flow
likewise
lowers
the
deposition
rate
of
the
magnetic
separator.
EuroPat v2
Die
Abscheiderate
ist
jedoch
gering,
da
die
Abscheidung
durch
atomares
Wachstum
erfolgt.
However,
the
deposition
rate
is
low
since
the
deposition
results
from
atomic
growth.
EuroPat v2
Daher
ist
man
bestrebt,
die
Abscheiderate
nach
Möglichkeit
zu
maximieren.
There
is
therefore
an
effort
to
maximize
the
deposition
rate
if
possible.
EuroPat v2
Limitierungen
ergeben
sich
u.a.
aus
den
Eigenspannungen
und
der
geringen
Abscheiderate.
Among
others,
limitations
result
from
the
residual
stresses
and
the
low
deposition
rate.
EuroPat v2
Die
Abscheiderate
in
einem
Partikelfilter
wird
dadurch
verbessert.
Consequently,
the
deposition
rate
in
a
particle
filter
is
improved.
EuroPat v2
Die
Elektroplattierung
erfolgt
zum
Erzielen
einer
hohen
Abscheiderate
gewöhnlich
mit
hohen
Stromdichten.
The
electroplating
is
usually
done
at
high
current
densities
to
achieve
a
high
deposition
rate.
EuroPat v2
Ziel
ist
die
Aufrechterhaltung
einer
über
den
Reaktionsprozess
konstant
bleibenden
spezifischen
Abscheiderate.
The
aim
is
to
maintain
a
specific
deposition
rate
remaining
constant
over
the
reaction
process.
EuroPat v2
Dabei
ist
jedoch
der
apparative
Aufwand
bei
gleichzeitig
stark
verringerter
Abscheiderate
sehr
hoch.
However,
the
equipment
expenditure
is
here
very
high
at
a
simultaneously
strongly
decreased
deposition
rate.
EuroPat v2
Bei
CVD-Abscheideverfahren
wird
die
Abscheiderate
durch
den
Partialdruck
eines
gasförmigen
Precursors
entscheidend
bestimmt.
In
CVD
deposition,
the
deposition
rate
is
fundamentally
determined
by
the
partial
pressure
of
a
gaseous
precursor.
EuroPat v2
Damit
wird
eine
Abscheiderate
von
ca.
0,1
µm/min
erreicht.
With
this,
a
deposition
rate
of
approx.
0.1
?m/min
is
achieved.
EuroPat v2
Je
geringer
die
Ammoniak-Flussrate
gewählt
wird,
desto
höher
ist
die
Abscheiderate.
The
lower
the
ammonia
flow
rate
is
selected
to
be,
the
higher
the
deposition
rate
becomes.
EuroPat v2
Damit
wird
die
Abscheiderate
von
GaN
auf
dem
Kristallkeim
aus
der
Metallschmelze
erhöht.
The
precipitation
rate
of
GaN
on
the
crystal
seed
from
the
fused
metal
is
raised
in
this
manner.
EuroPat v2
Sie
sind
Glasfaserelementen
in
punkto
Schmutzaufnahmekapazität,
Abscheiderate
und
universeller
Verwendbarkeit
deutlich
unterlegen.
They
are
vastly
inferior
to
glass-fibre
elements
in
terms
of
dirt
retention
capacity,
deposition
rate
and
universality.
ParaCrawl v7.1
Die
Kapazität
solcher
Behälter
verkleinert
sich
mit
der
Verringerung
der
Koaleszenz-
und
Abscheiderate.
The
capacity
of
such
vessels
will
decrease
when
the
rate
of
coalescence
and
separation
decreases.
ParaCrawl v7.1
Die
Längsgleichmäßigkeit
des
Niederschlages
wird
verbessert,
die
Abscheiderate
insgesamt
durch
eine
konstante
Temperaturprofilcharakteristik
erhöht.
The
longitudinal
uniformity
of
the
deposit
is
improved,
and
the
deposition
rate
overall
is
increased
by
constant
temperature
profile
characteristics.
EuroPat v2
Damit
ist
eine
schnellere
und
kostengünstigere
Optimierung
der
Abscheiderate
möglich
als
durch
lange
Versuchsreihen.
An
optimization
of
the
deposition
rate
that
is
faster
and
more
cost-beneficial
than
one
based
on
a
long
series
of
trials
is
thus
possible.
EuroPat v2
Je
nach
dem
gewünschten
maximalen
Tröpfchendurchmesser
kann
die
Abscheiderate
bis
zu
50
%
und
darüber
betragen.
The
separation
rate
can
be
up
to
50%
and
more,
depending
on
the
maximum
droplet
diameter
desired.
EuroPat v2