Translation of "Abscheideprozess" in English
Dies
kann
z.B.
durch
einen
physikalischen
Abscheideprozess,
z.B.
Sputtern
geschehen.
This
may,
for
example,
be
done
by
a
physical
deposition
process,
for
example
sputtering.
EuroPat v2
Der
Abscheideprozess
umfasst
dabei
einen
Absorptionsprozess
und
einen
Desorptionsprozess.
The
separation
process
in
this
case
comprises
an
absorption
process
and
a
desorption
process.
EuroPat v2
Erfindungsgemäß
wird
das
Abgas
aus
dem
ersten
Abscheideprozess
kondensiert.
According
to
the
invention,
the
offgas
from
the
first
deposition
process
is
condensed.
EuroPat v2
Der
nachgeschaltete
Abscheideprozess
liefert
demnach
Silicium
der
gewünschten
höheren
Qualität.
The
downstream
deposition
accordingly
gives
silicon
of
the
desired
higher
quality.
EuroPat v2
Nach
dem
Erreichen
eines
gewünschten
Solldurchmessers
der
Siliciumstäbe
wird
der
Abscheideprozess
beendet.
After
a
desired
setpoint
diameter
of
the
silicon
rods
has
been
reached,
the
deposition
process
is
ended.
EuroPat v2
Der
Abscheideprozess
der
Pufferschicht
41
erfolgt
epitaktisch.
The
deposition
process
of
buffer
layer
41
runs
epitaxially.
EuroPat v2
In
Siemensreaktoren
mit
unterschiedlicher
Anordnung
der
Stäbe
wurde
der
gleiche
Abscheideprozess
gefahren:
The
same
deposition
process
was
run
in
Siemens
reactors
with
different
arrangement
of
the
rods:
EuroPat v2
Der
Abscheideprozess
der
Diamantschicht
wird
bis
zur
gewünschten
Schichtdicke
fortgesetzt
(Fig.
The
diamond
layer
deposition
process
continues
until
the
desired
layer
thickness
has
been
attained
(FIG.
EuroPat v2
Der
Abscheideprozess
erreichte
bei
allen
Chargen
den
Stabenddurchmesser
von
150
mm.
The
deposition
process
reached
the
rod
diameter
of
150
mm
in
all
the
batches.
EuroPat v2
Das
Aufbringen
der
fügefähigen
Schicht
11
erfolgt
beispielsweise
mit
einem
galvanischen
Abscheideprozess.
The
application
of
the
bondable
layer
11
is
carried
out,
for
example,
by
a
galvanic
deposition
process.
EuroPat v2
Ein
langer
Abscheideprozess
bei
der
Epitaxie
entfällt
hierdurch.
This
eliminates
a
long
epitaxial
deposition
process.
EuroPat v2
In
demselben
Abscheideprozess
werden
auch
die
Leitbahnen
5
der
ersten
Leitbahnebene
erzeugt.
The
interconnects
5
of
the
first
interconnect
plane
are
also
produced
in
the
same
deposition
process.
EuroPat v2
Das
beim
Abscheideprozess
verbrauchte
Kupfer
kann
elektrochemisch
über
Kupferanoden
ergänzt
werden.
The
copper
consumed
during
the
deposition
process
can
be
supplemented
electrochemically
via
copper
anodes.
EuroPat v2
Dazu
braucht
man
einen
Abscheideprozess
der
nicht
vollständig
kantenbedeckend
(konform)
ist.
This
requires
a
deposition
process
that
is
not
completely
edge-covering
(conformal).
EuroPat v2
Der
Abscheideprozess
erfolgt
auf
einem
Ge-Wafer
mit
einem
Durchmesser
von
100
mm.
The
deposition
takes
place
on
a
Ge
wafer
with
a
diameter
of
100
mm.
ParaCrawl v7.1
Das
Verfahren
kommt
in
besonders
vorteilhafter
weise
integriert
in
einen
Abscheideprozess
für
Kohlendioxid
zum
Einsatz.
The
method
is
employed
especially
advantageously
when
integrated
into
a
separation
process
for
carbon
dioxide.
EuroPat v2
Granulares
Polysilicium
aus
dem
zweiten
Abscheideprozess
weist
eine
Kohlenstoffkonzentration
von
kleiner
als
50
ppba
auf.
Granular
polysilicon
from
the
second
deposition
process
has
a
carbon
concentration
of
less
than
50
ppba.
EuroPat v2
Das
durch
die
Verbrennung
des
Erdgases
entstehende
Kohlendioxid
wird
in
einem
nachgeschalteten
Abscheideprozess
absorbiert.
The
carbon
dioxide
arising
through
the
combustion
of
the
natural
gas
is
absorbed
in
a
downstream
capture
process.
EuroPat v2
Die
Prozessgase
werden
in
gebildeten
inneren
Hohlraum
4
geleitet,
wo
der
Abscheideprozess
stattfindet.
The
process
gases
are
conducted
into
the
formed
inner
cavity
4
where
the
deposition
process
takes
place.
EuroPat v2
Ein
Sauerstoffüberschuss
beim
Abscheideprozess
führt
jedoch
im
Vergleich
zu
stöchiometrischem
Sauerstoff
zu
einer
geringeren
Abscheiderate.
Excess
oxygen
during
the
deposition
process
results
however
in
a
lower
deposition
rate
as
compared
with
stoichiometric
oxygen.
EuroPat v2
Die
einzustellende
Kohlenstoff-Dotierung
des
Sootkörpers
kann
durch
eine
unvollständige
Verbrennung
der
Siliziumverbindung
im
Abscheideprozess
erreicht
werden.
The
carbon
doping
to
be
set
in
the
soot
body
can
be
achieved
by
way
of
an
incomplete
combustion
of
the
silicon
compound
in
the
deposition
process.
EuroPat v2
Der
Abscheideprozess
erreichte
bei
allen
Chargen
den
gewünschten
Stabenddurchmesser
von
150-160
mm.
The
deposition
process
reached
the
rod
diameter
of
150-160
mm
in
all
the
batches.
EuroPat v2
Der
Abscheideprozess
wird
üblicherweise
durch
die
Vorgabe
von
Stabtemperatur
und
Reaktionsgasstrom
bzw.
-Zusammensetzung
gesteuert.
The
deposition
process
is
typically
controlled
by
the
setting
of
rod
temperature
and
reaction
gas
flow
rate
and
composition.
EuroPat v2
Hier
wird
Wasserstoff
von
den
anderen
Bestandteilen
des
Gasstromes
abgetrennt
und
wieder
dem
Abscheideprozess
zugeführt.
Here,
hydrogen
is
separated
from
the
other
constituents
of
the
gas
stream
and
sent
back
to
the
deposition
operation.
EuroPat v2
Zwar
werden
alle
Chlorsilane
für
den
Abscheideprozess
erhalten,
jedoch
sinkt
die
Qualität
des
abgeschiedenen
Siliciums.
Although
all
chlorosilanes
are
obtained
for
the
deposition
operation,
the
quality
of
the
silicon
deposited
falls.
EuroPat v2