Translation of "Scheibenstapel" in English
Der
Scheibenstapel
ähnelt
Aufzeichnungen
auf
einem
Rekordwechsler
mit
der
Membran
auf
jeder
Seite.
The
disc
stack
resembles
records
on
a
record
changer
with
membrane
on
each
side.
Top
Figure
3
ParaCrawl v7.1
Innerhalb
dieses
Rohrabschnitts
33
sind
die
Scheibenstapel
angeordnet.
The
disk
stack
is
arranged
within
this
tube
section
33
.
EuroPat v2
Es
können
somit
mit
nur
zwei
Werkzeugen
Scheibenstapel
praktisch
beliebiger
Größe
hergestellt
werden.
Thus,
one
may
manufacture
disk
stacks
of
practically
any
size
with
only
two
tools.
EuroPat v2
Der
Kondensator
80
ist
dabei
im
Wesentlichen
durch
den
Scheibenstapel
93
gebildet.
The
condenser
80
here
is
substantially
formed
by
the
plate
stack
93
.
EuroPat v2
Die
Figur
7
zeigt
nun
einen
Kondensator
70,
welcher
aus
einem
Scheibenstapel
87
besteht.
FIG.
7
then
shows
a
condenser
70
which
consists
of
a
plate
stack
87
.
EuroPat v2
Vorteilhafterweise
können
die
Rohre
hier
in
einem
einzigen
Arbeitsschritt
mit
dem
Scheibenstapel
verlötet
werden.
Here,
the
tubes
can
advantageously
be
brazed
to
the
plate
stack
in
a
single
working
step.
EuroPat v2
An
der
Schmalseite
21
ist
der
Scheibenstapel
2
jeweils
von
einem
Rahmen
13,
14
gefasst.
At
the
narrow
side
21,
the
plate
stack
2
is
bordered
in
each
case
by
a
frame
13,
14
.
EuroPat v2
Hierbei
wird
der
liegende
Scheibenstapel
33a
auf
einem
Transportband
43
abgelegt
und
in
Pfeilrichtung
44
abtransportiert.
This
way,
the
resting
stack
of
slices
33a
is
moved
to
a
transport
conveyor
43
and
transported
in
direction
of
arrow
44.
EuroPat v2
In
der
Ausführungsform,
in
der
der
Scheibenstapel
direkt
auf
dem
Stempel
6
der
Vorschubeinheit
3
ruht,
werden
vorteilhaft
in
diesem
Fall
auch
die
Seitenplatten
7
und
der
Stempel
6
auswechselbar
oder
verstellbar
ausgeführt.
In
the
embodiment
in
which
the
wafer
stack
rests
directly
on
the
plunger
6
of
the
feed
unit
3,
the
side
plates
7
and
the
plunger
6
are
also
advantageously
constructed
in
this
case
so
as
to
be
replaceable
or
adjustable.
EuroPat v2
Werden
die
Scheibenstapel
in
einer
Scheibenhalterung
eingeführt,
so
wird
vorteilhaft
eine
rechteckige
Ausformung
des
Scheibenmagazins
gewählt,
da
die
Scheibenhalterung
individuell
der
jeweiligen
Scheibenform
angepaßt
werden
kann.
If
the
wafer
stack
is
introduced
in
a
wafer
holding
device,
a
rectangular
shape
is
advantageously
chosen
for
the
wafer
magazine
since
the
wafer
holding
device
can
be
individually
matched
to
the
particular
shape
of
the
wafers.
EuroPat v2
Das
verbleibende
Ende
des
Rohres
19
ist
mit
dem
angeschraubten
Anschlußstutzen
18b
abgeschlossen,
der
zusammen
mit
einem
Einlegestück
24
dazu
dient,
den
Scheibenstapel
vorzuspannen,
um
radiale
Kapillarspalten
an
den
Berührungsflächen
der
Scheiben
auszuschließen.
The
remaining
end
of
the
tube
19
is
closed
off
by
the
connector
18b
which
is
screwed
on
and
which,
together
with
the
insert
24,
serves
to
pre-stress
the
staggered
disks
21,
22
in
order
to
prevent
radial
capillary
slits
at
the
contact
surfaces
of
the
disks
21,
22.
EuroPat v2
Der
Scheibenstapel
1
wird
in
ein
Scheibenmagazin
2
eingebracht,
das
mit
einer
Vorschubeinheit
3
versehen
ist,
um
die
oberste
Scheibe
4
in
den
Bereich
des
Vereinzelungsdüsensystems
5
zu
bringen.
The
wafer
stack
1
is
introduced
into
a
wafer
magazine
2,
which
is
provided
with
a
feed
unit
3
in
order
to
bring
the
uppermost
wafer
4
into
the
range
of
the
separating
nozzle
system
5.
EuroPat v2
In
einer
anderen
möglichen
Ausführungsform
werden
die
Scheibenstapel
jedoch
in
einen
Behälter
eingebracht,
der
dann
in
das
Scheibenmagazin
der
Vereinzelungsvorrichtung
eingesetzt
wird
und
auf
dem
Stempel
der
Vorschubeinheit
ruht.
In
another
embodiment,
however,
the
wafer
stack
is
introduced
into
a
container
which
is
then
inserted
into
the
wafer
magazine
of
the
separating
apparatus
and
rests
on
the
plunger
of
the
feed
unit.
EuroPat v2
Beispielweise
kann
das
Düsensystem
immer
dann
mit
Fluid
beaufschlagt
werden,
wenn
der
Scheibenstapel
eine
bestimmte
Grenzhöhe
im
Scheibenmagazin
überschritten
hat.
For
example,
the
nozzle
system
can
be
fed
with
fluid
whenever
the
wafer
stack
has
exceeded
a
certain
limiting
height
in
the
wafer
magazine.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
eine
Vorrichtung
zum
Vereinzeln
von
scheibenförmigen
Werkstücken,
insbesondere
Halbleiterscheiben,
von
einem
Scheibenstapel.
The
present
invention
relates
to
an
apparatus
for
separating
disk-type
workpieces,
in
particular
semiconductor
wafers,
from
a
wafer
stack.
EuroPat v2
Die
Aufgabe
der
Erfindung
lag
daher
darin,
eine
Vorrichtung
anzugeben,
die
diese
Nachteile
vermeidet
und
insbesondere
ein
automatisches
Abheben
der
Scheiben
vom
Scheibenstapel
ohne
mechanische
Berührung
sowie
gegebenenfalls
den
Transport
der
vereinzelten
Scheiben
zu
einem
Scheibenmagazin
(Horde)
und
die
schonende
Einbringung
in
die
Horde
gestattet.
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
It
is
an
object
of
the
present
invention
to
provide
an
apparatus
which
avoids
these
disadvantages
and
makes
it
possible
to
lift
the
wafers
automatically
off
the
wafer
stack
without
mechanical
contact
and
also,
optionally,
to
convey
the
separated
wafers
to
a
wafer
magazine
(tray)
and
introduce
them
without
damage
into
the
tray.
EuroPat v2
Es
hat
sich
gezeigt,
daß
auf
diese
Art
und
Weise
direkt
nach
der
Vereinzelung
der
scheibenförmigen
Werkstücke
aus
einem
Scheibenstapel
eine
ganze
Behandlungsstraße
aufgebaut
werden
kann,
in
denen
die
Scheiben
nacheinander
mit
wechselnden
Fluiden
beschickte
Vorrichtungen
durchlaufen
und
somit
hintereinander
beispielsweise
geätzt,
gespült,
gereinigt,
getrocknet
oder
anderen
naßchemischen
Verfahren
unterworfen
werden
können.
It
has
been
found
that
in
this
way,
it
is
possible
to
build
up,
immediately
after
separating
the
disk-type
workpieces
from
a
wafer
stack,
an
entire
treatment
line
in
which
the
wafers
consecutively
pass
through
apparatuses
fed
with
alternating
fluids
and
can
consequently,
for
example,
be
successively
etched,
rinsed,
cleaned
and
dried,
or
subjected
to
other
wet-chemical
processes.
EuroPat v2
Die
Nuten
24
bilden
Flächen
28,
an
denen
Mikroorganismen
haften,
so
dass
die
beiden
Scheibenstapel
16
und
17
eine
Vielzahl
von
Kanälen
mit
einer
vergleichsweise
großen
aktiven
Oberfläche
bei
geringer
Baugröße
bilden.
The
grooves
27
form
surfaces
28
on
which
the
microorganisms
adhere
so
that
the
two
disk
stacks
16
and
17
form
a
multitude
of
channels
with
a
comparatively
large
active
surface
with
a
small
constructional
size.
EuroPat v2
Die
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung
lag
darin,
eine
Vorrichtung
zum
Vereinzeln
gestapelter
Scheiben
anzugeben,
die
die
genannten
Nachteile
vermeidet
und
insbesondere
ein
automatisches
Abheben
der
Scheiben
vom
Scheibenstapel
ohne
mechanische
Berührung
sowie
gegebenenfalls
den
Transport
der
vereinzelten
Scheiben
zu
einem
Scheibenmagazin
(Horde)
und
die
schonende
Einbringung
in
die
Horde
gestattet.
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
It
is
an
object
of
the
present
invention
to
provide
an
apparatus
which
avoids
these
disadvantages
and
makes
it
possible
to
lift
the
wafers
automatically
off
the
wafer
stack
without
mechanical
contact
and
also,
optionally,
to
convey
the
separated
wafers
to
a
wafer
magazine
(tray)
and
introduce
them
without
damage
into
the
tray.
EuroPat v2
Bekannt
ist
auch
der
Aufbau
aus
mehreren
hintereinanderliegenden
Scheiben,
wobei
in
den
einzelnen
Scheiben
angebrachte
Nuten
im
Scheibenstapel
Kanäle
bilden.
Further
known
is
a
structure
made
up
of
a
plurality
of
disks
disposed
behind
each
other,
with
grooves
applied
in
the
individual
disks
constituting
ducts
in
the
disk
stack.
EuroPat v2
Um
die
Größe
der
Stirnflächen
weiter
zu
reduzieren,
kann
man
die
inneren
Ränder
der
Lamellenscheiben
62
schneidenähnlich
zuschärfen,
wie
in
Figur
3
bei
70
angedeutet,
wobei
im
Scheibenstapel
die
angewinkelte
Seite
der
Anschärfung
70
zu
der
Löscheinheit
14
weist.
In
order
to
reduce
the
size
of
the
front
faces
further,
the
internal
edges
of
the
lamellar
discs
62
can
be
sharpened
like
knife-edges,
as
indicated
at
70
in
FIG.
3,
with
the
angled
side
of
the
sharpening
70
in
the
disc
stack
pointing
towards
the
erasing
unit
14
.
EuroPat v2
Aus
diesem
Grunde
sind
auch
die
Wandungen
der
Bohrungen
82
auf
der
dem
Reaktionsraum
zugewandten
Seite
lediglich
bis
etwa
zur
Hälfte
der
axialen
Länge
der
Scheibenstapel
vorgezogen.
For
this
reason,
the
walls
of
the
bores
82
on
the
side
facing
the
reaction
chamber
are
also
extended
forward
only
as
far
as
approximately
half
the
axial
length
of
the
stack
of
disks.
EuroPat v2
Die
vorstehend
erwähnten
hohen
Schnittgeschwindigkeiten
machen
es
-
und
dies
gilt
unabhängig
vom
Messertyp
und
von
der
Antriebsart
-
erforderlich,
dass
in
bestimmten
Betriebssituationen,
insbesondere
bei
einem
portionsweisen
Aufschneiden
von
Produkten,
so
genannte
Leerschnitte
durchgeführt
werden,
in
denen
sich
das
Messer
weiterhin
bewegt,
d.h.
seine
Schneidbewegung
ausführt,
dabei
jedoch
nicht
in
das
Produkt,
sondern
"ins
Leere"
schneidet,
damit
vorübergehend
keine
Scheiben
vom
Produkt
abgetrennt
werden
und
diese
"Schneidpausen"
dazu
genutzt
werden
können,
eine
mit
den
zuvor
abgetrennten
Scheiben
gebildete
Portion,
beispielsweise
einen
Scheibenstapel
oder
geschindelt
angeordnete
Scheiben,
abzutransportieren.
The
above-mentioned
high
cutting
speeds
make
it
necessary—and
this
applies
independently
of
the
type
of
blade
and
of
the
type
of
drive—that,
in
particular
with
a
portion-wise
slicing
of
products,
so-called
blank
cuts
are
carried
out
in
which
the
blade
continues
to
move,
i.e.
carries
out
its
cutting
movement,
but
does
not
cut
into
the
product
in
so
doing,
but
rather
cuts
into
space
so
that
temporarily
no
slices
are
cut
off
from
the
product
and
these
“cutting
breaks”
can
be
used
to
transport
away
a
portion
formed
with
the
previously
cut
off
slices,
for
example
a
slice
stack
or
slices
arranged
overlapping.
EuroPat v2
Wärmetauscher
nach
einem
der
vorhergehenden
Ansprüche,
dadurch
gekennzeichnet,
dass
der
Kühlmittelsammelkanal
als
Flansch
ausgebildet
ist,
der
aus
einem
den
Scheibenstapel
zumindest
teilweise
umgreifenden
Blech,
oder
Gussteil
oder
Kunststoffteil
gebildet
ist
und
eine
Dichtfläche
zur
Verbindung
mit
dem
Verbindungsmittel
aufweist.
The
heat
exchanger
according
to
claim
1,
wherein
the
at
least
one
coolant
collecting
channel
is
shaped
as
a
flange,
which
is
formed
from
a
metal
sheet,
at
least
partially
encompassing
the
plate
stack,
or
a
cast
part
or
a
plastic
part
and
has
a
sealing
surface
for
connection
to
the
connector.
EuroPat v2
Zur
Verbesserung
der
Tauscherleistung,
somit
auch
zur
Verkleinerung
der
Baugröße
bei
vorgegebener
Tauscherleistung,
kann
der
Scheibenstapel
104
und
auch
der
Deckel
105
aus
einem
ferritischen
Stahl
bestehen.
In
order
to
improve
the
exchanger
capacity,
and
therefore
also
in
order
to
reduce
the
installation
size
for
a
given
exchanger
capacity,
the
plate
stack
104
and
also
the
cover
105
can
be
composed
of
a
ferritic
steel.
EuroPat v2