Translation of "Fotolack" in English
Als
Ätzmaske
ist
für
ein
solches
Verfahren
eine
Maske
aus
Fotolack
geeignet.
A
mask
composed
of
photo
lacquer
is
suitable
as
an
etching
mask
in
the
practices
of
such
a
method.
EuroPat v2
Nach
dem
Beschichten
wird
der
Fotolack
getrocknet.
After
coating,
the
photo-sensitive
lacquer
is
dried.
EuroPat v2
Anschließend
werden
die
Metallstrukturen
galvanoplastisch
aufgebracht
und
der
verbleibende
Fotolack
entfernt.
Subsequently
the
metal
structures
are
galvano-plastically
applied
and
the
remaining
photoresist
is
removed.
EuroPat v2
Auf
diese
Weise
wird
das
Dielektrikum
10
durch
den
Fotolack
11
planarisiert.
The
dielectric
10
is
planarized
by
the
photoresist
in
this
way.
EuroPat v2
Analog
Beispiel
1
wird
folgender
bekannter
Fotolack
hergestellt:
The
following,
known
photoresist
is
prepared
analogously
to
Example
1:
EuroPat v2
Als
Ätzmaske
kann
Fotolack
oder
eine
in
Lift-off-Technik
abgeschiedene
dritte
Metallstruktur
dienen.
Photoresist
or
a
third
metal
structure
deposited
in
a
lift-off
technique
can
serve
as
etching
mask.
EuroPat v2
Nachdem
der
nicht-aktive
Bereich
geätzt
ist,
werden
die
Fotolack-
und
ARC-Schichten
entfernt.
After
the
nonactive
region
has
been
etched,
the
photoresist
and
ARC
layers
are
removed.
EuroPat v2
Der
Fotolack
wird
anschließend
in
einem
Sauerstoff-Plasma
durch
Veraschen
entfernt.
The
photoresist
is
subsequently
removed
by
ashing
in
an
oxygen
plasma.
EuroPat v2
Dazu
ist
zum
Beispiel
ein
Fotolack
auf
Diazochinon/Novolak-Basis
geeignet.
To
this
end,
for
example,
a
photoresist
based
on
diazoquinone/Novolak
is
suitable.
EuroPat v2
Danach
wurde
auf
der
Basisschicht
9
eine
Schicht
aus
Fotolack
10
aufgebracht.
Then
a
photoresist
layer
10
was
provided
on
the
base
layer
9
.
EuroPat v2
Der
Fotolack
wird
durch
Belichtung
entfernt.
The
photoresist
is
removed
by
exposure.
EuroPat v2
Die
so
strukturierte
Fotolack-
bzw.
dielektrische
Schicht
dient
als
Maske
für
den
Implantationsschritt.
The
photoresist
or
dielectric
layer
structured
in
this
way
serves
as
a
mask
for
the
implantation
step.
EuroPat v2
Dadurch
kann
der
Fotolack
an
den
belichteten
Stellen
abgelöst
werden.
As
a
result,
the
photoresist
can
be
removed
in
the
exposed
parts.
EuroPat v2
Als
Ätzmaske
für
ein
solches
Verfahren
ist
eine
Maske
aus
Fotolack
geeignet.
A
mask
of
photoresist
is
suitable
as
etching
mask
for
such
a
procedure.
EuroPat v2
Auf
der
Substratoberfläche
wird
zunächst
eine
ganzflächige
Beschichtung
mit
derartigem
Fotolack
vorgenommen.
A
surface-wide
coating
with
such
a
photoresist
is
first
undertaken
on
the
substrate
surface.
EuroPat v2
Dazu
kann
ein
Streifen
Metallblech
allseitig
mit
einem
Fotolack
beschichtet
werden.
To
achieve
this,
a
strip
of
sheet
metal
can
be
coated
with
photoresist
on
all
sides.
EuroPat v2
Dieser
Fotolack
ist
vorzugsweise
SU8,
dessen
getrocknete
Schichten
hydrophob
sind.
The
photoresist
SU-8
is
preferred,
because
its
cured
layers
are
hydrophobic.
EuroPat v2
Diese
wird
im
Schritt
106
durch
Aufschleudern
von
Fotolack
erneut
beschichtet.
The
latter
is
coated
again
by
spin
coating
with
photoresist,
in
step
106
.
EuroPat v2
Gemäß
Figur
5A
ist
auf
dem
Träger
3
strukturiert
ein
Fotolack
9
aufgebracht.
In
accordance
with
FIG.
5A,
a
photoresist
9
is
applied
on
the
carrier
3
in
patterned
fashion.
EuroPat v2
Der
Fotolack
kann
aber
auch
mit
dem
Ätzresist
überlappen.
The
photoresist
can
also,
however,
overlap
with
the
etch
resist.
EuroPat v2
In
einer
erfindungsgemäßen
Ausführungsform
wird
der
Pulverlack
zusätzlich
zum
Fotolack
verwendet.
The
powder
coating
material
may
be
used
in
addition
to
the
photoresist.
EuroPat v2
Der
Fotolack
wird
in
einem
Ofen
oder
auf
einer
Heizplatte
ausgehärtet.
The
photoresist
is
cured
in
a
furnace
or
on
a
heating
plate.
EuroPat v2
In
Analogie
zum
Fotolack
erfolgt
die
chemische
Veränderung
durch
den
lokalen
Elektronenstrom.
In
analogy,
with
the
photoresist,
the
chemical
modification
takes
place
by
local
electron
flow.
EuroPat v2