Translation of "Ätzprozess" in English
Die
Anschlußöffnungen
128A
werden
auf
bekannte
Weise
durch
Niederschlag
und
photolithographischen
Ätzprozess
geöffnet.
The
terminal
vias
128A
are
opened
by
known
deposition,
photolithographic
and
chemical
etching
processes.
EuroPat v2
Das
lonenätzen
mit
Argonionen
ist
ein
Ätzprozess
mit
niedriger
Ätzrate
und
geringer
Selektivität.
Etching
with
argon
ions
is
an
etching
process
with
low
etching
rate
and
small
selectivity.
EuroPat v2
Die
aSiN-und
aSi-Schicht
kann
gegebenenfalls
mit
einem
Ätzprozess
entfernt
werden.
The
aSiN
layer
and
aSi
layer
may
optionally
be
removed
with
an
etching
process.
EuroPat v2
Hierzu
wird
vorzugsweise
ein
Ätzprozess
mit
hoher
Selektivität
gegenüber
der
Oxidschicht
gewählt.
For
this
purpose,
an
etching
process
with
high
selectivity
with
respect
to
the
oxide
layer
is
preferably
chosen.
EuroPat v2
In
einem
anschliessenden
Ätzprozess
werden
die
Substrate
dann
strukturiert
und
zu
Displays
weiterverarbeitet.
In
a
subsequent
etching
step
the
substrates
are
then
structured
and
processed
further
to
displays.
EuroPat v2
Es
ist
sehr
widerstandsfähig
und
zuverlässig
in
diesem
Ätzprozess.
It's
very
robust
and
reliable
with
this
etching
process.
ParaCrawl v7.1
Lithotine
wird
auch
im
zweiten
Ätzprozess
der
Lithographie
verwendet.
Lithotine
is
also
used
in
the
second
etch
process
of
lithography.
ParaCrawl v7.1
Plasmaaktivierung
von
PTFE
ist
möglich
(Ätzprozess).
PTFE
can
be
activated
with
plasma.
(Etching
process.)
ParaCrawl v7.1
Es
kann
großflächige
Wellenleitervorrichtungen
auf
dem
Siliziumsubstrat
durch
einen
Ätzprozess
bearbeiten.
It
can
process
large-scale
waveguide
devices
on
the
silicon
substrate
by
etching
process.
ParaCrawl v7.1
Die
Aussparungen
174
und
176
werden
dann
in
einem
Ätzprozess
erzeugt.
The
cutouts
174
and
176
are
then
produced
in
an
etching
process.
EuroPat v2
Im
Extremfall
ist
ein
Ätzprozess
in
einer
Schicht
nicht
mehr
möglich.
In
an
extreme
case,
an
etching
process
in
a
layer
is
no
longer
possible.
EuroPat v2
Daraufhin
werden
die
Sensorelemente
definiert
und
die
Oxidschicht
OX
in
einem
Ätzprozess
entfernt.
The
sensor
elements
are
then
defined,
and
oxide
layer
OX
is
removed
in
an
etching
process.
EuroPat v2
Die
erste
Schicht
wird
durch
einen
Ätzprozess
strukturiert.
The
first
layer
is
structured
by
an
etching
process.
EuroPat v2
Der
Ätzprozess
sorgt
allerdings
dafür,
dass
die
Teilekanten
extrem
scharf
werden.
The
etching
process,
however,
makes
the
part
edges
extremely
sharp.
EuroPat v2
Die
zweite
Spacer-Schicht
409
wird
nun
durch
einen
nasschemischen
Ätzprozess
entfernt.
The
second
spacer
layer
409
is
now
removed
in
a
wet
chemical
etching
process.
EuroPat v2
Der
Ätzprozess
zur
Freilegung
der
Speicherbauelemente
ist
vielmehr
selbstjustierend.
Rather,
the
etching
process
for
uncovering
the
memory
components
is
self-aligning.
EuroPat v2
Das
Entfernen
kann
beispielsweise
durch
einen
Ätzprozess
ausgeführt
werden.
Removing
may
exemplarily
be
performed
by
an
etching
process.
EuroPat v2
In
Figur
13
ist
der
Körper
81
nach
dem
Ätzprozess
zu
sehen.
FIG.
13
reveals
the
body
81
after
the
etching
process.
EuroPat v2
Für
das
vorliegende
Verfahren
wurde
ein
zweistufiger
Ätzprozess
mit
folgenden
Ätzparametern
eingestellt:
For
the
present
method
a
two-stage
etching
process
with
the
following
etching
parameters
was
set:
EuroPat v2
Das
kann
beispielsweise
durch
einen
Ätzprozess
erfolgen.
This
can
be
effected
by
an
etching
process,
for
example.
EuroPat v2
Die
transmittierende
Schicht
wird
innerhalb
des
Trennbereichs
mit
einem
Ätzprozess
entfernt.
The
transmissive
layer
may
be
removed
within
the
separating
region
by
an
etching
process.
EuroPat v2
Bei
dem
Ätzprozess
kann
es
sich
beispielsweise
um
trockenchemisches
oder
nasschemisches
Ätzen
handeln.
The
etching
process
can
be
dry-chemical
or
wet-chemical
etching,
for
example.
EuroPat v2
Im
Folgenden
wird
der
Materialabtrag
durch
einen
elektrisch
gesteuerten
Ätzprozess
durchgeführt.
Hereinafter,
the
material
removal
is
carried
out
by
means
of
an
electrically
controlled
etching
process.
EuroPat v2
Nach
dem
Ätzprozess
verbleibt,
wie
in
Fig.
After
the
etching
process,
as
can
be
seen
in
FIG.
EuroPat v2
Dies
erfolgt
bevorzugt
durch
einen
Ätzprozess
oder
einen
Fräsprozess.
This
is
preferably
implemented
through
an
etching
process
or
a
milling
process.
EuroPat v2
Auch
ein
chemischer
Prozess,
insbesondere
ein
Ätzprozess,
kann
Anwendung
finden.
A
chemical
process,
particularly
an
etching
process,
may
also
be
used.
EuroPat v2
Die
Maskenschicht
wird
vorzugsweise
nach
dem
Ätzprozess
abgelöst.
The
mask
layer
is
preferably
stripped
away
after
the
etching
process.
EuroPat v2