Translation of "Vitreous silica" in German
The
vitreous
fused
silica
16
is
pulled
downwardly
as
indicated
by
arrow
17.
Das
Quarzglas
16
wird,
wie
durch
Pfeil
17
angedeutet,
nach
unten
abgezogen.
EuroPat v2
BACKGROUND
It
has
already
been
proposed
that
semiconductor
substrates
be
transported
automatically
into
and
out
of
heat
treatment
furnaces,
which
are
generally
tubular
furnaces,
with
the
aid
of
transport
devices
which
feed
the
semiconductor
substrates,
contained
in
magazines
of
glass
or
ceramic,
normally
vitreous
silica,
horizontally
into
and
out
of
the
furnaces.
Es
wurde
bereits
vorgeschlagen,
Halbleitersubstrate
automatisch
in
und
aus
Wärmebehandlungsöfen,
die
im
allgemeinen
Rohröfen
sind,
mit
Hilfe
von
Transportvorrichtungen
zu
transportieren,
die
die
in
Magazinen
aus
Glas
oder
Keramik,
normalerweise
aus
Quarzglas,
eingesetzten
Halbleitersubstrate
in
horizontaler
Richtung
in
und
aus
den
Öfen
befördern.
EuroPat v2
In
order
to
assure
the
best
possible
drying
action,
it
has
been
found
desirable
for
the
inner
tube,
the
outer
tube
and
the
protective
tube
to
consist
of
transparent
vitreous
silica,
at
least
in
the
heated
zones.
Um
eine
möglichst
gute
Trocknung
zu
gewährleisten,
hat
es
sich
bewährt,
daß
das
Innenrohr,
das
Außenrohr
und
das
Schutzrohr
wenigstens
im
Bereich
der
beheizten
Zonen
aus
Quarzglas
besteht,
das
für
Infrarotstrahlung
besonders
gut
durchlässig
ist.
EuroPat v2
A
method
in
accordance
with
claim
-,1
which
includes,
after
the
tube
or
rod
of
vitreous
fused
silica
has
cooled,
removing
its
outer
layer
to
a
depth
of
2
mm.
Verfahren
nach
einem
oder
mehreren
der
vorhergehenden
Ansprüche,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
nach
Erkalten
des
Rohres
oder
Stabes
aus
Quarzglas
dessen
Außenschicht
bis
zu
einer
Dicke
von
2
mm
abgetragen
wird.
EuroPat v2
Component
for
the
transmission
of
light
of
high
energy
density
with
a
wavelength
between
250
nm
and
400
nm,
made
of
synthetic,
high-purity
fused
vitreous
silica,
with
a
light
input
section
having
a
light
entry
surface,
a
light
output
section
having
a
light
exit
surface,
and
a
light
transmission
section
disposed
between
the
light
input
section
and
the
light
output
section,
wherein
the
fused
silica
has
a
hydroxyl
ion
content
in
the
range
between
50
ppm
and
1200
ppm
and
an
under-stoichiometric
content
of
oxygen.
Bauteil
für
die
Übertragung
von
Licht
hoher
Energiedichte
mit
einer
Wellenlänge
zwischen
250
nm
und
400
nm,
aus
synthetischem,
hochreinem
Quarzglas,
mit
einem,
eine
Lichteintrittsfläche
aufweisenden
Lichteinkoppelbereich,
einem,
eine
Lichtaustrittsfläche
aufweisenden
Lichtauskoppelbereich
und
einer
zwischen
Lichteinkoppelbereich
und
Lichtauskoppelbereich
angeordneten
Lichtübertragungsstrecke,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
das
Quarzglas
einen
Hydroxylionengehalt
im
Bereich
zwischen
50
ppm
und
1200
ppm
und
einen
unterstöchiometrischen
Gehalt
an
Sauerstoff
aufweist.
EuroPat v2
Component
according
to
claim
1
wherein
the
fused
vitreous
silica
has
a
hydroxyl
ion
content
of
less
than
600
ppm,
and
the
under-stoichiometric
content
of
oxygen
is
such
that
the
fused
silica
has
an
absorption
band
with
a
maximum
in
the
wavelength
range
of
240
nm
to
250
nm
with
an
intensity
of
more
than
0.1
dB/m.
Bauteil
nach
Anspruch
1,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
das
Quarzglas
einen
Hydroxylionengehalt
von
weniger
als
600
ppm
aufweist
und
der
unterstöchiometrische
Gehalt
an
Sauerstoff
derart
ist,
daß
das
Quarzglas
eine
Absorptionsbande
(5)
mit
einem
Maximum
im
Wellenlängenbereich
von
240
nm
bis
250
nm
mit
einer
Intensität
von
mehr
als
0,1
dB/m
aufweist.
EuroPat v2
Component
according
to
claim
1
wherein
the
fused
vitreous
silica
has
a
hydroxyl
ion
content
of
at
least
200
ppm.
Bauteil
nach
Anspruch
1
oder
2,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
das
Quarzglas
einen
Hydroxylionengehalt
von
mindestens
200
ppm
aufweist.
EuroPat v2
Component
according
to
claim
8
wherein
the
jacket
material
contains
fused
vitreous
silica
doped
with
at
lest
one
of
fluorine
and
boron.
Bauteil
nach
Anspruch
8,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
das
Mantelmaterial
mit
Fluor
und/oder
Bor
dotiertes
Quarzglas
enthält.
EuroPat v2
The
invention
relates
to
a
method
for
the
continuous
production
of
a
tube
or
rod
of
vitreous
fused
silica
by
heating
particulate
silicon
dioxide
to
softening
temperature
in
a
crucible
of
a
high-melting
material,
especially
one
which
consists
substantially
of
tungsten
or
molybdenum,
having
a
bottom
outlet
in
which
a
shaping
tool
is
disposed,
and
by
continuously
drawing
the
softened
silicon
dioxide
downwardly
through
an
annular
space
formed
between
the
bottom
outlet
and
the
shaping
tool,
while
a
hydrogen-containing
atmosphere
is
sustained
in
the
crucible
above
the
silicon
dioxide
and
in
the
space
below
the
crucible
adjoining
the
shaping
region.
Die
Erfindung
bezieht
sich
auf
ein
Verfahren
zur
kontinuierlichen
Herstellung
eines
Rohres
oder
Stabes
aus
Quarzglas
durch
Erhitzen
von
teilchenförmigem
Siliziumdioxid
auf
Erweichungstemperatur
in
einem
Tiegel
aus
hochschmelzendem
Werkstoff,
insbesondere
aus
im
wesentlichen
Wolfram
oder
Molybdän,
mit
Bodenausflußöffnung,
in
der
ein
Formwerkzeug
angeordnet
ist,
und
kontinuierliches
Abziehen
des
erweichten
Siliziumdioxids
nach
unten
durch
den
zwischen
Bodenausflußöffnung
und
Formwerkzeug
gebildeten
Ringraum,
wobei
im
Tiegel
oberhalb
des
Siliziumdioxids
und
im
Raum,
der
sich
an
den
Formgebungsbereich
unterhalb
des
Tiegels
anschließt,
eine
wasserstoffhaltige
Atmosphäre
aufrechterhalten
wird.
EuroPat v2
The
vitreous
fused
silica
tubes
thus
produced
are
free
of
air
bubbles
and
very
clear,
and
they
are
characterized
by
uniform
wall
thicknesses.
Die
so
hergestellten
Quarzglasrohre
sind
frei
von
Lufteinschlüssen
und
sehr
klar
und
zeichnen
sich
durch
gleichmäßige
Wandstärken
aus.
EuroPat v2
It
is
an
object
of
the
invention
to
provide
a
method
for
the
continuous
production
of
rods
or
tubes
of
vitreous
fused
silica
whose
content
of
lithium
impurities
is
reduced
to
levels
on
the
order
of
1/10
ppm
and
less.
Die
Erfindung
hat
sich
daher
die
Aufgabe
gestellt,
ein
Verfahren
zur
kontinuierlichen
Herstellung
von
Rohren
oder
Stäben
aus
Quarzglas
zu
schaffen,
deren
Gehalt
an
Lithium-Verunreinigungen
auf
Werte
in
der
Größenordnung
von
1/10
ppm
und
weniger
vermindert
ist.
EuroPat v2
After
the
rod
or
tube
of
vitreous
fused
silica
has
cooled,
its
outer
layer
is
preferably
removed
to
a
depth
of
2
mm.
Nach
dem
Erkalten
des
Rohres
oder
Stabes
aus
Quarzglas
wird
vorzugsweise
dessen
Außenschicht
bis
zu
einer
Dicke
von
2
mm
abgetragen.
EuroPat v2
A
component
for
the
transmission
of
light
of
high
energy
density
with
a
wavelength
between
250
nm
and
400
nm
is
made
of
synthetic,
high-purity
fused
vitreous
silica
having
a
hydroxyl
ion
content
in
the
range
between
50
ppm
and
1200
ppm
and
an
under-stoichiometric
content
of
oxygen
for
the
achievement
of
a
minimal
transmission
variation
in
the
transmission
of
the
light.
Es
wird
ein
Bauteil
für
die
Übertragung
von
Licht
hoher
Energiedichte
mit
einer
Wellenlänge
zwischen
250
nm
und
400
nm
aus
synthetischem,
hochreinem
Quarzglas
beschrieben,
bei
dem
zur
Erzielung
einer
möglichst
geringen
Transmissionsänderung
bei
der
Übertragung
des
Lichtes,
das
Quarzglas
einen
Hydroxylionengehalt
im
Bereich
zwischen
50
ppm
und
1200
ppm
und
einen
unterstöchiometrischen
Gehalt
an
Sauerstoff
aufweist.
EuroPat v2
As
an
example,
this
involves
silicic
acid
modifications
based
on
quartz,
crystobalite
and
vitreous
fused
silica
and
produced
by
treating
crystalline
silicic
acid
modifications
with
epoxy
silanes.
Es
handelt
sich
dabei
beispielsweise
um
Kieselsäuremodifikationen
auf
der
Basis
von
Quarz,
Cristobalit
und
Quarzgut,
die
hergestellt
werden
durch
Behandlung
der
kristallinen
Kieselsäuremodifikationen
mit
Epoxisilanen.
EuroPat v2
These
are,
for
example,
silane-modified
silicic
acid
modifications
based
on
quartz,
cristobalite
and
vitreous
fused
silica.
Es
handelt
sich
dabei
beispielsweise
um
silanmodifizierte
Kieselsäure-Modifikationen
auf
der
Basis
von
Quarz,
Cristobalit
und
Quarzgut.
EuroPat v2
Preferred
substrates
are
those
consisting
of
glass,
vitreous
silica,
graphite,
metal
or
silicon
or
consisting
of
a
coat
of
silicon,
of
indium
tin
oxide,
of
ZnO:F,
of
ZnO:Al
or
of
SnO
2:F
on
a
heat-compatible
support.
Bevorzugt
sind
Substrate
bestehend
aus
Glas,
Quarzglas,
Graphit,
Metall,
Silicium
oder
bestehend
aus
einer
auf
einem
hitzeverträglichen
Träger
befindlichen
Silicium-,
Indiumzinnoxid-,
ZnO:F-,
ZnO:Al-
oder
SnO
2:F-Schicht.
EuroPat v2