Translation of "Silicon monoxide" in German
Silicon
monoxide
is
evaporated
on
to
a
silicon
wafer.
Auf
ein
Siliciumplättchen
wird
Siliciummonoxid
aufgedampft.
EuroPat v2
The
layer
7
can
be,
for
example,
composed
of
silicon
monoxide
or
magnesium
oxide.
Die
Schicht
7
kann
dabei
z.B.
aus
Siliziummonoxid
oder
Magnesiumoxid
bestehen.
EuroPat v2
Besides
metal
as
a
material,
one
might
consider
in
particular
silicon
or
silicon
monoxide.
Neben
Metall
als
Material
kommen
dabei
insbesondere
Silizium
bzw.
Siliziummonoxid
in
Frage.
EuroPat v2
The
resistance
layers
consist
of
chromium
while
the
insulation
layers
may
consist
of
silicon
monoxide
or
silicon
dioxide.
Die
Widerstandsschichten
bestehen
dabei
aus
Chrpm,
während
die
Isolationsschichten
aus
Siliziummonoxid
oder
Siliziumdioxid
bestehen
können.
EuroPat v2
If,
e.g.,
silicon
monoxide
is
vapor
deposited,
the
vapor
deposited
SiOx
layer
absorbs
more
oxygen.
Wird
z.B.
Siliciummonoxid
aufgedampft,
so
nimmt
die
aufgedampfte
SiO
x
-Schicht
noch
Sauerstoff
auf.
EuroPat v2
It
is
also
known
that
silicon
dioxide
reacts
with
liquid
silicon
to
form
volatile
silicon
monoxide.
Es
ist
ferner
bekannt,
daß
Siliciumdioxid
mit
flüssigem
Silicium
zu
flüchtigem
Siliciummonoxid
reagiert.
EuroPat v2
For
example,
according
to
DE-OS
No.
23
37
495
a
plasma
burner
of
silicon
dioxide
is
used
for
producing
silicon
monoxide
as
an
intermediate
product,
which
is
re-oxidized
in
the
presence
of
steam
and
amine,
resulting
in
a
silicic
acid
having
a
remarkably
increased
thickening
effect.
Beispielsweise
wird
nach
DE-OS
23
37
495
mit
Hilfe
eines
Plasmabrenners
aus
Siliciumdioxid,
Siliciummonoxid
als
Zwischenprodukt
erzeugt,
das
nach
Rückoxidation
in
Gegenwart
von
Wasserdampf
und
Amin
in
stark
verdickend
wirkende
Kieselsäure
überführt
wird.
EuroPat v2
The
device
according
to
claim
1,
wherein
the
material
evaporates
by
sublimation
in
a
high
vacuum,
said
material
being
selected
from
the
group
consisting
of
silicon
monoxide,
magnesium
oxide,
mixtures
of
metals
and
their
oxides,
and
chromium
metal.
Reihenverdampfer
nach
Anspruch
1,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
das
zu
verdampfende
Material
eine
im
Hochvakuum
durch
Sublimation
verdampfende
Substanz,
wie
z.B.
Siliziummonoxid,
Magnesiumoxid,
Gemische
von
Metallen
und
deren
Oxiden,
Chrom-Metall
ist.
EuroPat v2
It
is
very
advantageous
if
in
accordance
with
the
invention
the
material
that
is
to
be
evaporated
is
a
substance
that
evaporates
by
sublimation
in
a
high
vacuum,
such
as
silicon
monoxide,
magnesium
oxide,
mixtures
of
metals
and
their
oxides,
chromium
metal.
Sehr
vorteilhaft
ist
es,
wenn
gemäß
der
Erfindung
das
zu
verdampfende
Material
eine
im
Hochvakuum
durch
Sublimation
verdampfende
Substanz,
wie
z.B.
Siliziummonoxid,
Magnesiumoxid,
Gemische
von
Metallen
und
deren
Oxiden,
Chrom-Metall
ist.
EuroPat v2
The
result
of
these
measures
is
an
evaporator
which
reduces
the
thermal
strain
on
the
films
being
coated
to
a
large
extent
while
producing
the
required
coating
thicknesses
of
70
to
120
nanometers,
which
is
able
to
evaporate
silicon
monoxide
even
in
loose,
free-flowing
form
and
which
avoides
the
harmful
ejection
of
hot
particles.
Durch
diese
Maßnahmen
wird
ein
Verdampfer
geschaffen,
welcher
bei
den
gewünschten
Schichtdicken
von
70
bis
120
Nanometer
die
thermische
Belastung
der
zu
bedampfenden
Folien
wesentlich
reduziert,
welcher
Siliziummonoxid
auch
als
loses
Schüttgut
verdampfen
kann
und
welcher
die
schädliche
Spritzerbildung
durch
heiße
Partikel
verhindert.
EuroPat v2
On
the
basis
of
the
series
evaporators
outlined
below,
an
explanation
is
given
of
the
evaporation
and
application
to
plastic
films,
paper
or
metal
strip
of
silicon
monoxide
and
other
materials
and
mixtures
of
such
materials
with
a
similar
evaporation
pressure
level.
Anhand
der
im
Folgenden
beschriebene
Reihenverdampfer
wird
die
Durchführung
von
Bedampfungen
mit
Siliziummonoxid,
aber
auch
von
anderen
Materialien
und
Gemischen
davon
mit
ähnlichem
Dampfdruck
auf
Kunststoff-Folien,
Papier
oder
Metallbändern
erläutert.
EuroPat v2
The
heaters
6
are
not
in
contact
with
the
material
5
being
evaporated--
preferably
silicon
monoxide--in
order
to
avoid
chemical
reactions
between
the
heater
material
and
the
material
5
being
evaporated.
Die
Heizer
6
befinden
sich
nicht
im
Kontakt
mit
dem
zu
verdampfenden
Material
5,
vorzugsweise
Siliziummonoxid,
um
chemische
Reaktionen
zwischen
dem
Heizermaterial
und
dem
zu
verdampfenden
Material
5
zu
vermeiden.
EuroPat v2
Typical
heater
temperatures
for
a
sufficiently
high
evaporation
speed
are
about
1750°
C.
in
the
case
of
silicon
monoxide,
while
the
surface
temperature
of
the
material
5
being
evaporated
reaches
about
1250°
C.
Typische
Heizertemperaturen
für
eine
ausreichend
hohe
Verdampfungsgeschwindigkeit
liegen
im
Falle
von
Siliziummonoxid
bei
ca.
1750°C,
wobei
das
zu
verdampfende
Material
5
eine
Oberflächentemperatur
von
ewtwa
1250°C
annimmt.
EuroPat v2
A
further
advantage
is
that
the
flaking
problem
that
can
arise
when
silicon
monoxide
is
evaporated
does
not
occur
with
this
configuration.
Als
weiterer
Vorteil
erweist
sich,
daß
die
beim
Verdampfen
von
Siliziummonoxid
gefürchtete
Spritzerbildung
bei
dieser
Anordnung
nicht
auftritt.
EuroPat v2
The
invention
does
not
relate
solely
to
the
evaporation
of
silicon
monoxide
or
mixtures
of
silicon
and
silicon
dioxide.
Die
Erfindung
bezieht
sich
nicht
nur
auf
die
Verdampfung
von
Siliziummonoxid,
bzw.
auf
Gemische
von
Silizium
und
Siliziumdioxid.
EuroPat v2
Since
the
emission
figure
of
metals
at
their
evaporation
temperature
is
a
factor
of
2
to
4
lower
than
the
figure
for
silicon
monoxide
or
other
materials
that
do
not
conduct
electricity,
considerably
higher
heater
temperatures
are
necessary
because
of
the
lower
heat
transfer
as
a
result.
Da
die
Emissionszahl
von
Metallen
bei
Verdampfungstemperatur
um
einen
Faktor
2
bis
4
geringer
ist
als
die
von
Siliziummonoxid
oder
anderer
elektrisch
nichtleitenden
Materialien,
sind
wegen
der
daraus
folgenden
geringeren
Wärmeübertragung
durch
die
Strahlungsheizung
wesentlich
höhere
Heizertemperaturen
notwendig.
EuroPat v2
A
magnetic
recording
medium
which
possesses,
on
a
dimensionally
stable
base
which
may
or
may
not
be
provided
with
a
non-magnetic
lower
layer,
a
thin
ferromagnetic
metal
layer
on
which
a
protective
layer
is
applied,
wherein
the
protective
layer
is
in
the
form
of
a
dual
coating
of
chromium
and
silicon
monoxide.
Magnetische
Aufzeichnungsträger,
welche
auf
einem
gegebenenfalls
mit
einer
unmagnetischen
Unterschicht
versehenen
dimensionsstabilen
Trägermaterial
eine
dünne
ferromagnetische
Metallschicht
mit
einer
darauf
aufgebrachten
Schutzschicht
aufweisen,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
die
Schutzschicht
als
eine
Doppelschicht,
bestehend
aus
Chrom
und
Siliciummonoxid,
ausgebildet
ist.
EuroPat v2
The
addition
of
nitrogen
or
argon
proves
to
be
better
depending
on
the
vapor
deposition
of
silicon
monoxide
or
silicon
dioxide.
Je
nach
dem
Aufdampfen
von
Siliciummonoxid
oder
Siliciumdioxid
erweist
sich
die
Zugabe
von
Stickstoff
oder
Argon
als
besser.
EuroPat v2
Silicon
monoxide
is
evaporated
on
to
a
dark-coloured
glass
slide
or
plate,
in
a
thickness
of
from
60
to
70
nm.
Siliciummonoxid
wird
auf
eine
dunkel
eingefärbte
Glasplatte
in
einer
Dicke
von
60
bis
70
nm
durch
Aufdampfen
aufgebracht.
EuroPat v2
The
application
of
the
intermediate
layers
101
and
201
may
be
accomplished,
for
example,
by
cahtode
sputtering
of
pure
SiO2
or
by
vapor
deposition
of
silicon
monoxide
in
an
oxygen-containing
residual
gas
atmosphere.
Das
Aufbringen
dieser
Zwischenschichten
101
und
201
erfolgt
beispielsweise
mittels
Kathodenzerstäubung
durch
Aufstäuben
von
reinem
Si0
2,
oder
durch
Verdampfen
von
Siliziummonoxid
in
sauerstoffhaltiger
Restgasatmosphäre.
EuroPat v2
Arranged
above
the
amorphous
or
microcrystalline
silicon
layer
(4)
is
a
layer
(5)
for
reducing
the
reflection
and
consisting,
for
example,
of
titanium
oxide,
silicon
monoxide,
silicon
dioxide,
tantalum
oxide,
niobium
oxide,
aluminum
oxide,
or
a
single
or
multiple
layer
combination
of
these
materials.
Über
der
amorphen
bzw.
mikrokristallinen
Siliziumschicht
(4)
ist
eine
reflexionsmindernde
Schicht
(5),
die
beispielsweise
aus
Titanoxid,
Siliziummonoxid,
Siliziumdioxid,
Tantaloxid,
Nioboxid,
Aluminiumoxid
bzw.
aus
der
Ein-
oder
Mehrschichtenkombination
dieser
Materialien
bestehen
kann,
angeordnet.
EuroPat v2