Translation of "Oxynitride" in German

Layer 10 may instead comprise silicon oxynitride.
Die Maskenschicht 10 kann stattdessen auch aus Silicium-Oxinitrid bestehen.
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In addition, silicon nitride could be replaced by silicon oxynitride or another masking material.
Ferner könnte Siliciumnitrid durch Silicium-Oxinitrid oder ein anderes Maskenmaterial ersetzt werden.
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Buffered hydrofluoric acid attacks silicon dioxide but does not substantially attack either silicon nitride or silicon oxynitride.
Gepufferte Fluorwasserstoffsäure ätzt Siliciumdioxid, greift aber kaum Siliciumnitrid oder Siliciumoxynitrid an.
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Silicon oxynitride tends to cause higher defect densities than silicon dioxide.
Siliciumoxynitrid hat die Eigenschaft, höhere Störstellendichten als Siliciumdioxid zu erzeugen.
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In the process, an oxynitride is formed on the surface of the layer.
Dabei bildet sich ein Oxinitrid auf der Oberfläche der Schicht.
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Furthermore, oxynitride may also be used as a diffusion barrier.
Weiterhin kann auch Oxynitrid als Diffusionsbarriere eingesetzt werden.
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The hard mask can contain silicon nitride, silicon oxynitride or silicon oxide.
Die Hartmaske kann Siliziumnitrid, Siliziumoxinitrid oder Siliziumoxid aufweisen.
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A conversion of silicon oxide into silicon oxynitride is therefore possible, for example.
So kann z.B. eine Umwandlung von Siliziumoxid in Siliziumoxynitrid erfolgen.
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Such a carrier is, for example, a silicon-carrier chip with applied oxide or oxynitride layer.
Ein solcher Träger ist beispielsweise ein Silicium-Trägerchip mit aufgebrachter Oxyd- oder Oxynitridschicht.
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Also for that purpose, a silicon oxynitride is deposited in both instances.
Auch hierfür wurde in beiden Fällen ein Siliziumoxynitrid abgeschieden.
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The thin dielectric layer is preferably composed of an oxide, nitride or oxynitride.
Vorzugsweise besteht die dünne dielektrische Schicht aus einem Oxid, Nitrid oder Oxynitrid.
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The hard-material coating used may advantageously be titanium niobium nitride or titanium niobium oxynitride.
Vorteilhaft kann als Hartstoffbeschichtung Titan-Niobnitrit oder auch Titan-Nioboxynitrid eingesetzt werden.
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By way of example, the passivation layer contains a silicon nitride, a silicon oxide or a silicon oxynitride.
Beispielsweise enthält die Passivierungsschicht ein Siliziumnitrid, ein Siliziumoxid oder ein Siliziumoxinitrid.
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The gate dielectric layer 58 comprises oxynitride or some other high-k material.
Die Gatedielektrikumschicht 58 besteht bspw. aus Oxynitrid oder einem anderen high-k-Material.
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A second curve 404 shows the way in which the amount of oxygen in the silicon oxynitride layers produced is dependent on these flow rates.
Eine zweite Kurve 404 zeigt die Abhängigkeit des Sauerstoff-Beitrags in den hergestellten Siliziumoxinitrid-Schichten.
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A third curve 405 shows the amount of the nitrogen component in the silicon oxynitride layers.
Eine dritte Kurve 405 zeigt den Beitrag der Stickstoff-Komponente in den Siliziumoxinitrid-Schichten.
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As an alternative, an oxynitride layer is only produced on the sidewalls of the fin 12 .
Alternativ wird nur an den Seitenwänden der Finne 12 eine Oxynitridschicht erzeugt.
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The inventively applied Oxynitride layers were up to now produced with the schematically shown apparatus, thereby predominantly from Hafnium-0xynitride.
Die erfindungsgemässen Oxinitridschichten wurden bis anhin mit der dargestellten Anlage hergestellt, dabei schwergewichtig Hafnium-Oxinitrid.
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For example, chrome or alumina could be utilized in place of silicon nitride, and molybdenum could replace silicon oxynitride.
Beispielsweise kann Chrom oder Aluminium anstelle von Siliciumnitrid und Molybdän anstelle von Siliciumoxynitrid verwendet werden.
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The thin dielectric layer 35 is in this case composed of an oxide, nitride or an oxynitride.
Die dünne dielektrische Schicht 35 besteht dabei aus einem Oxid, Nitrid oder einem Oxynitrid.
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Suitable materials for the dielectric mirror layer are, for example, glass, silicon oxide, silicon nitride or silicon oxynitride.
Geeignete Materialien für die dielektrische Spiegelschicht sind beispielsweise Glas, Siliziumoxid, Siliziumnitrid oder Siliziumoxinitrid.
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The antimicrobial agent can be an oxide, an oxynitride, or a nitride in this case.
Das antimikrobielle Mittel kann dabei ein Oxid, ein Oxinitrid oder ein Nitrid sein.
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The cocatalyst layer may, for example, be an oxide layer, a nitride layer or oxynitride layer.
Bei der Cokatalysatorschicht kann es sich z.B. um eine Oxidschicht, eine Nitridschicht oder Oxynitridschicht handeln.
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