Translation of "Decompaction" in German
Thus,
the
wavefront
distortion
is
a
measure
of
the
occurrence
of
compaction
or
decompaction.
Die
Wellenfrontverzerrung
ist
somit
ein
Maß
für
das
Auftreten
von
Kompaktierung
oder
Dekompaktierung.
EuroPat v2
A
quartz
glass
blank
of
the
described
type
should
show
little
induced
absorption
and
be
optimized
with
respect
to
compaction
and
decompaction.
Ein
derartiger
Quarzglasrohling
soll
eine
geringe
induzierte
Absorption
aufweisen
und
gleichzeitig
hinsichtlich
Kompaktierung
und
Dekompaktierung
optimiert
sein.
EuroPat v2
Thus,
compaction
and
decompaction
are
defects
that
do
not
necessarily
cause
an
increase
in
radiation-induced
absorption,
but
rather
may
limit
the
serviceable
life
of
an
optical
component.
Kompaktierung
und
Dekompaktierung
sind
somit
Defekte,
die
sich
nicht
zwangsläufig
in
einer
Zunahme
der
strahlungsinduzierten
Absorption
äußeren,
die
aber
die
Lebensdauer
eines
optischen
Bauteils
begrenzen
können.
EuroPat v2
In
addition,
this
type
of
quartz
glass
shows
an
enhanced
decompaction
tendency,
while
at
an
H
2
-content
below
0.1×10
16
molecules/cm
3
the
defect-healing
effect
of
hydrogen
(described
above)
is
so
small
that
there
are
non-tolerable
losses
in
transmission
during
the
appropriate
use
of
the
optical
component.
Außerdem
zeigt
ein
derartiges
Quarzglas
eine
stärkere
Tendenz
zur
Dekompaktierung,
wogegen
bei
einem
H
2
-Gehalt
von
weniger
als
0,1
x
10
16
Molekülen/cm
3
die
oben
erwähnte
defektausheilende
Wirkung
von
Wasserstoff
so
gering
ist,
dass
es
während
des
bestimmungsgemäßen
Einsatzes
des
optischen
Bauteils
zu
nicht
tolerierbaren
Transmissionsverlusten
kommt.
EuroPat v2
The
three
rightmost
columns
of
the
Table
contain
qualitative
entries
indicating
the
occurrence
of
compaction,
decompaction
or
absorption
in
the
individual
blanks.
In
den
drei
letzten
Spalten
der
Tabelle
ist
qualitativ
angegeben,
ob
der
jeweilige
Rohling
Kompaktierung,
Dekompaktierung
oder
induzierte
Absorption
zeigt.
EuroPat v2
For
investigation
of
the
damage
behavior
of
the
samples
in
terms
of
compaction
or
decompaction,
the
samples
were
exposed
to
UV
radiation
of
a
wavelength
of
193
nm
under
variation
of
the
pulse
energy
density,
as
indicated
in
column
8
of
Table
1.
Zur
Klärung
des
Schädigungsverhaltens
der
Proben
hinsichtlich
Kompaktierung
oder
Dekompaktierung
wurden
die
Proben
mit
UV-Strahlung
einer
Wellenlänge
von
193
nm
bestrahlt,
wobei
die
Pulsenergiedichte
variiert
wurde,
wie
in
Spalte
8
von
Tabelle
1
angegeben.
EuroPat v2
In
the
measurements
on
an
optimized
quartz
glass,
shown
as
open
squares,
neither
compaction
nor
decompaction
are
evident.
Messungen
an
einem
optimiertem
Quarzglas
sind
als
offene
Quadrate
dargestellt,
wobei
weder
Kompaktierung
noch
Dekompaktierung
beobachtet
wird.
EuroPat v2
It
is
therefore
the
task
of
the
present
invention
to
provide
a
synthetic
quartz
glass
blank
for
an
optical
component
for
transmission
of
ultraviolet
radiation
of
a
wavelength
of
250
nm
or
shorter
that
shows
a
low
degree
of
induced
absorption
and
at
the
same
time
is
optimized
with
respect
to
its
compaction
and
decompaction
properties.
Der
vorliegenden
Erfindung
liegt
daher
die
Aufgabe
zugrunde,
einen
Rohling
aus
synthetischem
Quarzglas
für
ein
optisches
Bauteil
für
die
Übertragung
ultravioletter
Strahlung
einer
Wellenlänge
von
250
nm
und
kürzer
bereitzustellen,
das
eine
geringe
induzierte
Absorption
aufweist
und
das
gleichzeitig
hinsichtlich
Kompaktierung
und
Dekompaktierung
optimiert
ist.
EuroPat v2
It
has
been
shown
that
the
damage
mechanisms
leading
to
compaction
and
decompaction
are
either
abolished
or
at
least
drastically
reduced
in
an
optical
component
made
from
a
quartz
glass
blank
with
the
properties
described
above.
Es
hat
sich
gezeigt,
dass
ein
optisches
Bauteil,
das
aus
einem
Quarzglas-Rohling
mit
den
oben
genannten
Eigenschaften
gefertigt
wird,
die
Schädigungsmechanismen,
die
zu
Kompaktierung
und
Dekompaktierung
führen,
vermieden
oder
zumindest
deutlich
reduziert
sind.
EuroPat v2
In
contrast,
the
blank
according
to
the
present
invention
is
optimized
with
respect
to
both
compaction
and
decompaction
and
shows
little
induced
absorption
of
short-wavelength
UV
radiation.
Demgegenüber
ist
beim
erfindungsgemäßen
Rohling
das
Quarzglas
sowohl
im
Hinblick
auf
Kompaktierung
als
auch
Dekompaktierung
optimiert,
und
es
weist
gleichzeitig
eine
geringe
induzierte
Absorption
gegenüber
kurzwelliger
UV-Strahlung
auf.
EuroPat v2
In
addition,
this
optimization
provides
for
the
use
of
quartz
glass
manufactured
according
to
the
soot
procedure
in
applications,
in
which
compaction
and
decompaction
comprise
critical
effects
limiting
the
serviceable
life.
Auch
diese
Optimierung
ermöglicht
insbesondere
den
Einsatz
von
nach
dem
Sootverfahren
hergestelltem
Quarzglas
auch
für
Anwendungsfälle,
in
denen
Kompaktierung
und
Dekompaktierung
kritische,
die
Lebensdauer
begrenzende
Effekte
darstellen.
EuroPat v2
Dimensioning
rule
(4)
has
proven
especially
useful
in
the
definition
of
the
OH-content
to
provide
for
both
low
compaction
and
low
decompaction
tendency
at
a
pulse
energy
density
of
less
than
0.03
mJ/cm
2,
preferably
of
less
than
0.01
mJ/cm
2
.
Die
Bemessungsregel
(4)
hat
sich
insbesondere
für
die
Festlegung
des
OH-Gehalts
im
Hinblick
auf
geringe
Kompaktierung
und
gleichzeitig
geringe
Dekompaktierung
bewährt,
wenn
die
Pulsenergiedichte
kleiner
als
0,03
mJ/cm
2,
vorzugsweise
kleiner
als
0,01
mJ/cm
2,
ist.
EuroPat v2
Area
(1)
above
the
curve
corresponds
to
the
area
of
compaction,
while
area
(2)
below
the
curve
corresponds
to
the
area,
in
which
decompaction
is
observed.
Der
Bereich
(1)
oberhalb
der
Kurve
kennzeichnet
den
Bereich,
in
dem
Kompaktierung
auftritt,
und
der
Bereich
(2)
unterhalb
der
Kurve
kennzeichnet
den
Bereich,
in
dem
Dekompaktierung
auftritt.
EuroPat v2
Thus,
both
the
curve
and
this
equation
can
be
used
to
select
for
any
energy
pulse
density
between
0
and
0.15
mJ/cm
2
the
required
OH-content
of
a
quartz
glass
that
is
to
show
neither
compaction
nor
decompaction.
Anhand
der
Kurve
oder
der
vorgenannten
Formel
kann
somit
für
jede
Pulsenergiedichte
zwischen
0
und
0,15
mJ/cm
2
der
OH-Gehalt
ausgewählt
werden,
den
ein
Quarzglas
aufweisen
muss,
damit
es
weder
Kompaktierung
noch
Dekompaktierung
zeigt.
EuroPat v2
Compaction
and
decompaction
were
determined
after
the
irradiation
experiments
by
measuring
the
relative
increase
or
decrease
in
the
refractive
index
of
the
irradiated
area
versus
non-irradiated
area
using
a
commercial
interferometer
(Zygo
GPI-XP)
at
a
wavelength
of
633
nm.
Nach
den
Bestrahlungsversuchen
wurden
Kompaktierung
und
Dekompaktierung
bestimmt,
indem
mit
einem
handelsüblichen
Interferometer
(Zygo
GPI-XP)
bei
einer
Wellenlänge
von
633
nm,
die
relative
Zunahme
bzw.
Abnahme
des
Brechungsindex
im
bestrahlten
Bereich
im
Vergleich
zum
unbestrahlten
Bereich
gemessen
wurde.
EuroPat v2
These
have
an
impact
on
the
optical
transmission
of
the
quartz
glass
obtained
therefrom—typical
OH
absorption
bands
are
for
instance
observed
at
wavelengths
of
2.72
?m,
2.21
?m
or
1.38
?m—and
they
have
an
impact
on
the
resistance
of
quartz
glass
to
short-wave
UV
radiation,
for
example
on
the
damage
patterns
known
as
“compaction”
and
“decompaction”.
Diese
wirken
sich
auf
die
optische
Transmission
des
daraus
erhaltenen
Quarzglases
aus
-
typische
OH-Absorptionsbanden
liegen
beispielsweise
bei
Wellenlängen
von
2,72
µm,
2,21
µm
und
1,38
pm
-
und
sie
haben
Einfluss
auf
die
Beständigkeit
von
Quarzglas
gegenüber
kurzwelliger
UV-Strahlung,
zum
Beispiel
auf
die
als
"Kompaktierung"
und
"Dekompaktierung"
bekannten
Schädigungsmuster.
EuroPat v2
It
has
proven
especially
beneficial
to
have
the
OH-content
of
the
blank
be
in
the
range
of
200
wt-ppm
to
350
wt-ppm,
as
this
OH-content
represents
a
preferred
compromise
between
decompaction
and
compaction
on
the
one
hand
and
the
rapid
damage
process
on
the
other.
Es
hat
sich
als
besonders
günstig
erwiesen,
wenn
der
OH-Gehalt
im
Rohling
im
Bereich
von
200
Gew-ppm
bis
350
Gew-ppm
liegt.
Ein
OH-Gehalt
in
diesem
Bereich
stellt
einen
bevorzugten
Kompromiss
zwischen
Dekompaktierung
und
Kompaktierung
einerseits
und
RDP
andererseits
dar.
EuroPat v2