Translation of "Chlorine trifluoride" in German

An etching gas in non-plasma dry chemical etching processes may be chlorine trifluoride (ClF 3).
Ein bevorzugtes Ätzgas in plasmalosen trockenchemischen Ätzprozessen ist Chlortrifluorid (ClF 3).
EuroPat v2
At higher temperatures and pressures, PTFE reacts with elemental fluorine and chlorine trifluoride.
Bei höheren Temperaturen und Drücken reagiert PTFE mit elementarem Fluor- und Chlortrifluorid.
ParaCrawl v7.1
ML8.d.3 does not apply to chlorine trifluoride (CAS 7790-91-2).
Unternummer ML8d3 erfasst nicht Chlortrifluorid (CAS-Nr. 7790-91-2).
DGT v2019
ML8.d.3 does not control chlorine trifluoride.
Unternummer ML8d3 erfasst nicht Chlortrifluorid.
TildeMODEL v2018
Chlorine trifluoride is normally stored in pressurized gas bottles which contain the substance in a liquefied form.
Chlortrifluorid wird üblicherweise in Druckgasflaschen, die die Substanz in verflüssigter Form beinhalten, bevorratet.
EuroPat v2
Additional chlorine gas was fed to the formed chlorine trifluoride into gas inlet 20 via mass flow regulator 23 .
Zusätzliches Chlorgas wurde dem gebildeten Chlortrifluorid über den Massenregler 23 in den Gaseinlass 20 zugeführt.
EuroPat v2
In another specific embodiment, the gases selected from the group including Cl 2 and/or HCl may be supplied to the process chamber separately from the formed chlorine trifluoride.
In einer weiteren Ausführungsform können die Gase ausgewählt aus der Gruppe umfassend Cl 2 und/oder HCl der Prozesskammer getrennt von dem gebildeten Chlortrifluorid zugeführt werden.
EuroPat v2
The method of claim 1, wherein the gas including at least one of Cl 2 and HCl is supplied to a process chamber separately from chlorine trifluoride.
Verfahren nach einem der einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gas ausgewählt aus der Gruppe umfassend Cl 2 und/oder HCl der Prozesskammer (10) getrennt von dem gebildeten Chlortrifluorid zugeführt wird.
EuroPat v2
Since liquid ClF 3 is extremely reactive and, as a strong oxidizer, very hazardous, and since unintended release may cause severe damage, chlorine trifluoride is avoided by many users despite its advantageous properties.
Da die Flüssigkeit ClF 3 äußerst reaktiv und als starkes Oxidationsmittel sehr gefährlich ist, und bei einer ungewollten Freisetzung große Schäden anrichten kann, wird Chlortrifluorid trotz seiner vorteilhaften Eigenschaften von vielen Nutzern gemieden.
EuroPat v2
Etching system 5 is provided with a device 6 for generating chlorine trifluoride (ClF 3).
Die Ätzanlage 5 ist mit einer Vorrichtung 6 zur Erzeugung von Chlortrifluorid (ClF 3) versehen.
EuroPat v2
Systems associated with devices for generating chlorine trifluoride are disclosed in Patent Specification DE 102 29 037 A1 to which reference is hereby made.
Anlagen, verbunden mit Vorrichtungen zur Erzeugung von Chlortrifluorid sind in der Patentschrift DE 102 29 037 A1 offenbart, auf die hiermit Bezug genommen wird.
EuroPat v2
The chlorine and/or HCl may be added to the formed chlorine trifluoride by feeding them into gas inlet 20 via mass flow regulator 23 .
Hierbei ist bevorzugt, dass Chlor und/oder HCl dem gebildeten Chlortrifluorid zugesetzt werden, indem diese gesteuert über den Massenregler 23 in den Gaseinlass 20 zugeführt werden.
EuroPat v2
Suitable etching gases, in particular the etching gas chlorine trifluoride, may be stored in commercially available pressure bottles as liquefied gas and removed therefrom in the gaseous form.
Geeignete Ätzgase, insbesondere das Ätzgas Chlortrifluorid können in handelsüblichen Druckgasflaschen als verflüssigtes Gas bevorratet und daraus gasförmig entnommen werden.
EuroPat v2
Particularly good values can be achieved when using chlorine fluoride or chlorine trifluoride as the functional medium, but they can be slightly more expensive than the gaseous fluorine material used here.
Insbesondere gute Werte lassen sich erzielen, bei Einsatz von Chlorfluorid oder Chlortrifluorid als Funktionsmedium, die sich jedoch geringfügig teurer erweisen können als das vorliegend eingesetzte gasförmige Fluormaterial.
EuroPat v2
The halogen is preferably fluorine or one of its compounds such as chlorine fluoride (ClF) or chlorine trifluoride (ClF 3).
Als Halogen dient vorzugsweise Fluor oder eines seiner Verbindungen wie Chlorfluorid (CIF) oder Chlortrifluorid (CIF 3).
EuroPat v2
Instead of the fluorine-delivering etching gas SF 6 or NF 3 discussed in that patent, however, gaseous chlorine trifluoride ClF 3, bromine trifluoride BrF 3, or iodine pentafluoride IF 5, or a mixture of these gases is added to the process gas as the etching gas in the exemplary embodiment.
Anstelle des dort eingesetzten fluorliefernden Ätzgases SF 6 oder NF 3 wird jedoch dem Prozeßgas als Ätzgas in einem ersten Ausführungsbeispiel gasförmiges Chlortrifluorid ClF 3, Bromtrifluorid BrF 3 oder Iodpentafluorid IF 5 oder eine Mischung dieser Gase zugesetzt.
EuroPat v2
Chlorine trifluoride or bromine trifluoride, which can be supplied directly via a mass flow controller, may be used, since they have a sufficiently high vapor pressure.
Bevorzugt wird Chlortrifluorid oder Bromtrifluorid eingesetzt, das direkt über einen Massenflußregler zugeführt werden kann, da es einen ausreichend hohen Dampfdruck besitzt.
EuroPat v2

Related phrases

chlorinated paraffins chlorine gas chlorinate chlorinated lime
chlorine trifluoride chlorine chlorination chlorinated
chlorinating chlorine compounds