Übersetzung für "Tetrafluoromethane" in Deutsch
Suitable
saturated
fluorocarbon
compounds
are,
for
example,
tetrafluoromethane
and
hexafluoroethane.
Geeignete
gesättigte
Fluorkohlenwasserstoffverbindungen
sind
zum
Beispiel
Tetrafluormethan
und
Hexafluorethan.
EuroPat v2
Fluorinated
gases
like
tetrafluoromethane
may
also
be
added.
Es
können
auch
fluorierte
Gase
wie
Tetrafluormethan
zugeführt
werden.
EuroPat v2
Additional
suitable
reactive
fluorine
gases
are
tetrafluoromethane
and
other
fluorocarbon
material
or
fluorohydrocarbon
materials.
Weitere,
geeignete
reaktive
Fluorgase
sind
Tetrafluormethan
sowie
andere
Fluorkohlenstoffe
oder
Fluorkohlenwasserstoffe.
EuroPat v2
Fluorides
This
subheading
includes
the
following
compounds:
carbon
tetrafluoride
(tetrafluoromethane),
1,1difluoroethane,
tetrafluoroethylene,.
trifluoroethylene,
trifluoromethane.
Hierher
gehören
z.B.
1,1Difluoräthan,
Kohlenstofftetrafluorid
(Tetrafluormethan),
Tetrafluoräthylen,
Trifluoräthylen
und
Trifluormethan.
EUbookshop v2
Advantageously
reactive
gases
such
as
oxygen
or
tetrafluoromethane-oxygen
are
added
to
the
inert
gas.
Vorzugsweise
werden
dem
inerten
Trägergas
reaktive
Gase,
wie
zum
Beispiel
Sauerstoff
oder
Tetrafluormethan-Sauerstoff
zugesetzt.
EuroPat v2
Preferably,
for
this
purpose,
reactive
gases,
e.g.
oxygen
or
tetrafluoromethane-oxygen
are
added
to
the
inert
carrier
gas.
Vorzugsweise
werden
dem
inerten
Trägergas
hierzu
reaktive
Gase,
beispielsweise
Sauerstoff
oder
Tetrafluormethan-Sauerstoff,
zugesetzt.
EuroPat v2
Oxygen,
nitrogen,
tetrafluoromethane,
octafluorocyclobutane,
carbon
dioxide
and
hydrogen
fluoride
are
preferred
reactive
gases.
Bevorzugte
Reaktivgase
sind
Sauerstoff,
Stickstoff,
Tetrafluormethan,
Octafluorcyclobutan,
Kohlendioxid
und
Fluorwasserstoff.
EuroPat v2
Examples
of
such
gases
are
silane,
disilane,
dichlorosilane,
germane,
borane,
arsine,
hydrogen
chloride,
ammonia,
tetrafluoromethane
and
various
metallic
organic
compounds.
Beispiele
für
solche
Gase
sind
Silan,
Disilan,
Dichlorsilan,
German,
Boran,
Arsin,
Chlorwasserstoff,
Ammoniak,
Tetrafluormethan
und
verschiedene
metallorganische
Verbindungen.
EuroPat v2
The
cells
may
contain
any
gases
which
are
inert
to
caprolactam,
eg.
helium,
argon,
ethane,
propene,
difluorodichloromethane,
tetrafluoromethane,
hexamethylenedisilane,
etc.
Die
Zellen
können
beliebige
gegenüber
Caprolactam
inerte
Gase
enthalten,
wie
Helium,
Argon,
Ethan,
Propen,
Difluordichlormethan,
Tetrafluormethan,
Hexamethyldisilan
u.ä..
EuroPat v2
Advantageously
reactive
gases,
such
as
oxygen
or
tetrafluoromethane-oxygen
mixtures,
can
be
added
to
the
inert
carrier
gas
stream.
Vorteilhafter-
weise
können
dem
inerten
Trägergas
reaktive
Gase,
wie
zum
Beispiel
Sauerstofff
oder
Tetrafluormethan-Sauerstoff,
zugesetzt
werden.
EuroPat v2
According
to
one
example,
a
mixture
of
tetrafluoromethane
and
oxygen
in
the
ratio
of
1/3.5
can
be
used.
Nach
einem
Beispiel
kann
eine
Mischung
von
Tetrafluormethan/Sauerstoff
im
Verhältnis
von
1/3,5
verwendet
werden.
EuroPat v2
The
arrangement
was
then
etched
in
a
plasma
reactor
with
a
gas
mixture
composed
of
tetrafluoromethane
plus
10
(volume)
percent
oxygen
given
a
bias
voltage
of
450
volts
and
a
gas
pressure
of
30
mTorr.
In
einem
Plasmareaktor
wird
die
Anordnung
nun
mit
einer
Gasmischung,
bestehend
aus
Tetrafluormethan
plus
10
Prozent
(Volumen)
Sauerstoff
bei
450V
bias-Spannung
und
30
mTorr
Gasdruck
geätzt.
EuroPat v2
Preference
is
given
to
using
gases
which
do
not
react
with
dinitrogen
monoxide,
for
example
nitrogen,
helium,
neon,
argon,
krypton,
xenon,
hydrogen,
carbon
monoxide,
methane
and
tetrafluoromethane.
Bevorzugt
werden
Gase
eingesetzt,
die
nicht
mit
Distickstoffmonoxid
reagieren,
beispielsweise
Stickstoff,
Helium,
Neon,
Argon,
Krypton,
Xenon,
Wasserstoff,
Kohlenstoffmonoxid,
Methan
und
Tetrafluormethan.
EuroPat v2
The
process
for
purifying
the
gas
mixture
comprising
dinitrogen
monoxide
according
to
claim
5,
wherein
the
gas
mixture
M-1
is
selected
from
the
group
consisting
of
nitrogen,
helium,
neon,
argon,
krypton,
xenon,
hydrogen,
carbon
monoxide,
methane
and
tetrafluoromethane.
Verfahren
zur
Reinigung
eines
Gasgemischs
enthaltend
Distickstoffmonoxid
nach
Anspruch
7,
wobei
das
Gasgemisch
S-1
ausgewählt
ist
aus
der
Gruppe
bestehend
aus
Stickstoff,
Helium,
Neon,
Argon,
Krypton,
Xenon,
Wasserstoff,
Kohlenstoffmonoxid,
Methan
und
Tetrafluormethan.
EuroPat v2
In
a
further
embodiment,
the
present
invention
therefore
also
relates
to
a
process
as
described
above
for
purifying
a
gas
mixture
comprising
dinitrogen
monoxide,
wherein
the
gas
mixture
M-1
is
selected
from
the
group
consisting
of
nitrogen,
helium,
neon,
argon,
krypton,
xenon,
hydrogen,
carbon
monoxide,
methane
and
tetrafluoromethane.
Daher
betrifft
die
vorliegende
Erfindung
gemäß
einer
weiteren
Ausführungsform
auch
ein
wie
zuvor
beschriebenes
Verfahren
zur
Reinigung
eines
Gasgemischs
enthaltend
Distickstoffmonoxid,
wobei
das
Gasgemisch
S-1
ausgewählt
ist
aus
der
Gruppe
bestehend
aus
Stickstoff,
Helium,
Neon,
Argon,
Krypton,
Xenon,
Wasserstoff,
Kohlenstoffmonoxid,
Methan
und
Tetrafluormethan.
EuroPat v2
Use
may
also
be
made,
however,
of
low-boiling,
optionally
halogen-substituted
hydrocarbons
such
as
methane,
ethane,
propane,
butane,
isobutene,
propene,
ethane,
or
tetrafluoromethane,
trifluoromethane,
difluoromethane,
and
fluoromethane,
and
also
mixtures
of
different
gases.
Es
können
aber
auch
niedrigsiedende
ggf.
halogensubstituierte
Kohlenwasserstoffe
wie
Methan,
Ethan,
Propan,
Butan,
Isobuten,
Propen,
Ethen
oder
Tetrafluormethan,
Trifluormethan,
Difluormethan
und
Fluormethan
sowie
Gemische
verschiedener
Gase
eingesetzt
werden.
EuroPat v2