Übersetzung für "Telecentricity" in Deutsch
Otherwise,
the
usually
required
telecentricity
in
the
wafer
plane
6
is
deteriorated.
Andernfalls
würde
die
üblicherweise
geforderte
Telezentrie
in
der
Wafer-Ebene
6
verletzt
werden.
EuroPat v2
At
the
same
time,
telecentricity,
distortion
and
further
imaging
errors
can
be
optimized.
Gleichzeitig
können
Telezentrie,
Verzeichnung
und
weitere
Abbildungsfehler
optimiert
werden.
EuroPat v2
Telecentricity
and
distortion
are
0.08
%
or
even
lower.
Telezentrie
und
Verzeichnung
liegen
bei
0,08%
oder
darunter.
ParaCrawl v7.1
A
linear
progression
of
the
telecentricity
against
the
field
height
once
again
results.
Es
ergibt
sich
wiederum
ein
linearer
Verlauf
der
Telezentrie
über
die
Feldhöhe.
EuroPat v2
Telecentricity
means
that
the
entrance
pupil
lies
virtually
at
infinity.
Telezentrie
bedeutet,
dass
die
Eintrittspupille
nahezu
im
Unendlichen
liegt.
EuroPat v2
The
lens
furthermore
has
a
high
telecentricity
and
very
small
distortions.
Das
Objektiv
weist
weiterhin
eine
hohe
Telezentrie
und
sehr
geringe
Verzerrungen
auf.
EuroPat v2
Furthermore,
the
principle
of
telecentricity
has
no
influence
on
the
size
of
the
depth
of
field
range.
Weiterhin
hat
das
Prinzip
der
Telezentrie
keinen
Einfluss
auf
die
Größe
des
Schärfentiefebereichs.
ParaCrawl v7.1
Telecentricity
is
to
be
understood
in
the
present
application
in
that
the
entire
system
is
telecentric
at
the
wafer.
Unter
Telezentrie
wird
in
der
vorliegenden
Anmeldung
verstanden,
daß
das
Gesamtsystem
am
Wafer
telezentrisch
ist.
EuroPat v2
By
way
of
example,
a
telecentricity
value
in
a
dependent
manner
over
at
least
one
field
dimension
can
be
measured
as
the
illumination
parameter.
Als
Beleuchtungsparameter
kann
beispielsweise
ein
Telezentriewert
in
Abhängigkeit
über
mindestens
eine
Felddimension
gemessen
werden.
EuroPat v2
In
contrast
to
purely
object-space
telecentricity,
the
tolerable
object
position
is
not
limited
here
by
the
depth
of
field.
Im
Unterschied
zur
rein
objektseitigen
Telezentrie
wird
die
tolerierbare
Objektlage
hier
nicht
durch
die
Schärfentiefe
begrenzt.
ParaCrawl v7.1
The
directions
of
the
principal
rays
in
the
image
plane
differ
from
the
direction
of
the
optical
axis
3
by
at
most
1
mrad
for
any
zooming
position
in
order
that
the
telecentricity
of
the
zoom
system's
image
end
will
be
maintained
for
any
zooming
position.
Die
Schwerstrahlrichtungen
in
der
Bildebene
weichen
für
alle
Zoomstellungen
um
höchstens
1
mrad
von
der
Richtung
der
optischen
Achse
3
ab,
so
dass
bildseitige
Telezentrie
durchgängig
gegeben
ist.
EuroPat v2
For
illumination
optics
for
EUV
lithography,
as
in
German
Patent
199
03
807
or
WO
99/57732,
for
example,
in
addition
to
the
resolution,
high
requirements
are
also
necessary
with
regard
to
uniformity
and
telecentricity.
Für
Beleuchtungsoptiken
für
die
EUV-Lithographie,
wie
beispielsweise
in
der
DE
199
03
807
oder
der
WO
99/57732,
werden
außer
an
die
Auflösung
auch
hohe
Anforderungen
an
die
Gleichmäßigkeit
bzw.
Uniformität
und
Telezentrie
gestellt.
EuroPat v2
Residual
faults
remain
in
optical
correction
and
production
tolerance,
which
can
be
estimated
by
the
quality
parameters
of
telecentricity.
Es
bleiben
Restfehler
der
optischen
Korrektur
und
Fertigungstoleranzen,
die
durch
den
Qualitätsparameter
des
Telezentriebereichs
beziffert
werden.
ParaCrawl v7.1
The
TECHSPEC®
MercuryTLTM
Liquid
Lens
Telecentric
Lenses
from
Edmund
Optics®
contain
an
integrated
liquid
lens
for
quick
autofocus
while
maintaining
telecentricity
throughout
the
entire
working
distance
range.
The
TECHSPEC®
MercuryTLTM
telezentrischen
Objektive
mit
Flüssiglinse
von
Edmund
Optics®
enthalten
eine
integrierte
Flüssiglinse
zur
schnellen
Autofokussierung
bei
gleichzeitiger
Erhaltung
der
Telezentrie
über
den
gesamten
Arbeitsabstandsbereich.
ParaCrawl v7.1
There
is
currently
no
valid
definition
of
the
extent
to
which
the
image
size
changes
when
traversing
the
field
of
telecentricity.
Um
welchen
Wert
sich
die
Bildgröße
beim
Durchlaufen
des
Telezentriebereichs
ändern
darf,
dafür
gibt
es
bislang
keine
gültige
Definition.
ParaCrawl v7.1
As
soon
as
a
corresponding
illumination
setting
is
set
during
projection
operation,
the
displaceable
illumination
angle
variation
unit
is
brought
in
a
controlled
manner
to
a
position
in
which
an
illumination
parameter
to
be
corrected,
for
example
the
telecentricity
value,
is
corrected
in
accordance
with
the
change
resulting
from
the
calibration
measurement
in
the
case
of
the
illumination
setting
being
set.
Sobald
im
Projektionsbetrieb
ein
entsprechendes
Beleuchtungssetting
eingestellt
wird,
wird
die
verlagerbare
Beleuchtungswinkel-Variationseinheit
gesteuert
in
eine
Position
gebracht,
in
der
ein
zu
korrigierender
Beleuchtungsparameter,
beispielsweise
der
Telezentriewert,
entsprechend
der
sich
aus
der
Kalibriermessung
ergebenden
Änderung
bei
Einstellung
dieses
Beleuchtungssettings
korrigiert
wird.
EuroPat v2
In
this
case,
during
production
operation,
an
illumination
parameter,
for
example
a
telecentricity
value,
is
monitored
by
measuring
device
and
readjusted
via
the
control/regulating
unit
by
corresponding
adjustment
of
the
displacement
drive.
In
diesem
Falle
wird
während
des
Projektionsbetriebs
ein
Beleuchtungsparameter,
beispielsweise
ein
Telezentriewert,
über
die
Messeinrichtung
überwacht
und
über
die
Steuer-/
Regeleinheit
durch
entsprechendes
Nachstellen
des
Verlagerungsantriebs
nachgeregelt.
EuroPat v2