Übersetzung für "Microelectromechanical" in Deutsch
Tiny
machines,
so-called
microelectromechanical
systems
(MEMS)
ease
everyday
life.
Winzige
Maschinen,
sogenannte
Mikroelektromechanische
Systeme
(MEMS)
erleichtern
uns
den
Alltag.
ParaCrawl v7.1
The
sensors
are
based,
among
other
things,
on
microelectromechanical
systems
(MEMS).
Die
Sensoren
basieren
unter
anderem
auf
mikroelektromechanischen
Systemen
(MEMS).
ParaCrawl v7.1
Component
1
can
moreover
be
a
microelectronic
or
microelectromechanical
component
1
.
Das
Bauteil
1
kann
übrigens
ein
mikroelektronisches
bzw.
ein
mikroelektromechanisches
Bauteil
1
sein.
EuroPat v2
Inertial
sensors
are
normally
microelectromechanical
systems
and
consist
of
angular
velocity,
acceleration
and
magnetic
sensors.
Inertialsensoren
sind
üblicherweise
mikroelektromechanische
Systeme
und
bestehen
aus
Drehraten-,
Beschleunigungs-
und
Magnetsensoren.
EuroPat v2
The
invention
relates
to
a
microelectromechanical
system.
Die
Erfindung
betrifft
ein
mikroelektromechanisches
System.
EuroPat v2
The
abbreviation
“MEMS”
stands
in
this
case
for
a
microelectromechanical
system.
Die
Abkürzung
"MEMS"
steht
dabei
für
ein
mikroelektromechanisches
System.
EuroPat v2
Actuators
play
a
major
role
here,
in
particular
microelectromechanical
actuators.
Dabei
spielen
Aktoren
eine
große
Rolle,
insbesondere
mikro-elektromechanische
Aktoren.
EuroPat v2
In
this
manner,
too,
the
characteristic
of
the
microelectromechanical
semiconductor
component
can
be
measured
and
qualified.
Auch
auf
diese
Weise
ist
die
Charakteristik
des
mikro-elektromechanischen
Halbleiterbauteils
messbar
und
qualifizierbar.
EuroPat v2
In
a
further
embodiment
several
test
structures
and
several
microelectromechanical
structures
are
provided.
In
einer
weiteren
Ausführungsform
sind
mehrere
Teststrukturen
und
mehrere
mikroelektromechanische
Strukturen
vorgesehen
sind.
EuroPat v2
The
development
relates
to
the
field
of
microelectromechanical
systems.
Die
Entwicklung
bezieht
sich
auf
den
Bereich
der
mikroelektromechanischen
Systeme.
ParaCrawl v7.1
Bosch
microelectromechanical
systems,
or
MEMS
for
short,
are
the
sensory
organs
of
modern
vehicles.
Mikroelektromechanische
Systeme
–
kurz
MEMS
–
von
Bosch
sind
die
Sinnesorgane
moderner
Fahrzeuge.
ParaCrawl v7.1
The
present
invention
is
concerned
generally
with
the
field
of
microelectromechanical
system
(MEMS).
Die
vorliegende
Erfindung
bezieht
sich
allgemein
auf
das
Gebiet
der
mikro-elektromechanischen
Systeme
(MEMS).
EuroPat v2
The
comparison
then
shows
whether
the
microelectromechanical
component
is
within
a
manufacturing
tolerance
range
or
not.
Der
Vergleich
zeigt
dann,
ob
das
mikroelektromechanische
Bauelement
innerhalb
eines
Fertigungstoleranzbereichs
liegt
oder
nicht.
EuroPat v2
For
example
mirror
213
may
be
a
microelectromechanical
system,
i.e.
a
MEMS-mirror.
Beispielsweise
kann
der
Spiegel
213
ein
mikroelektromechanisches
System
sein,
das
heißt,
ein
MEMS-Spiegel.
EuroPat v2
These
experiences
drawn
from
the
production
of
integrated
electronic
circuits
can
be
transferred
to
microelectromechanical
systems.
Diese
Erfahrungen
aus
der
Fertigung
integrierter
elektronischer
Schaltkreise
sind
auf
mikroelektromechanische
Systeme
zu
übertragen.
EuroPat v2
Basically,
the
invention
can
be
used
for
checking
any
microelectromechanical
semiconductor
component
in
any
conceivable
application.
Grundsätzlich
kann
mit
der
Erfindung
jedwedes
mikro-elektromechanische
Halbleiterbauteil
in
jeder
denkbaren
Applikation
getestet
werden.
EuroPat v2
BACKGROUND
OF
THE
INVENTION
microelectromechanical
system
by
applicant
is
known
e.g.
from
WO
2009/003958.
Ein
mikroelektromechanisches
System
der
Anmelderin
ist
z.
B.
aus
der
WO
2009/003958
bekannt.
EuroPat v2
During
quasi-static
operation,
however,
the
microelectromechanical
element
is
also
operated
in
frequency
ranges
outside
of
the
resonant
modes.
Im
quasi-statischen
Betrieb
hingegen
wird
das
mikro-elektromechanische
Element
in
Frequenzbereichen
außerhalb
der
resonanten
Moden
betrieben.
EuroPat v2