Übersetzung für "Verfahrtisch" in Englisch

Ein erster Verfahrtisch übernimmt die großen Verfahrbewegungen zu einer Grobpositionierung.
A first traversing table takes over the large traversing movements for a coarse positioning.
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Die Abtasteinheiten der entsprechenden Positionsmesseinrichtungen befinden sich dabei auf dem bewegten Wafer-Tisch bzw. Verfahrtisch und messen dessen Position in allen sechs räumlichen Freiheitsgraden.
In that context, the scanning units of the respective position-measuring devices are located on the moving wafer table or traversing table and measure its position in all six spatial degrees of freedom.
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Ebenfalls ist ein großer Abtastabstand in gewissen Betriebssituationen notwendig, wenn z.B. ein Verfahrtisch mit größeren anfänglichen Verkippungstoleranzen (da noch nicht auf die Positionsmesseinrichtungen geregelt) unter die Platten mit den Maßverkörperungen gefahren wird, z.B. beim Wechsel des Wafer-Tisches von einer Position in der Maschine auf eine andere, oder aber wenn der Tisch einen Not-Stopp durchführen muss.
A large scanning distance is likewise necessary in certain operating conditions when, for example, a traversing table having greater initial tilting tolerances (since not yet regulated to the position-measuring devices) is moved under the plates having the measuring standards, e.g., when shifting the wafer table from one position in the machine to another, or else when the table must execute an emergency stop.
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Die Abtasteinheit 20 ist hierbei an einem Verfahrtisch bzw. Wafer-Tisch 1 angeordnet, der gegenüber der Maßverkörperung 10 an einem stationären Maschinenteil entlang mindestens einer Messrichtung beweglich ist.
In this case, scanning unit 20 is disposed on a traversing table, i.e., wafer table 1, which is movable along at least one measuring direction relative to measuring standard 10 on a stationary machine part.
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Die Krafteinwirkung durch die Luft auf die Schutzhaube wirkt so nicht direkt auf den genauen zweiten Verfahrtisch.
The action of force by the air on the protective cap thus does not act directly on the precise second traversing table.
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Da der Verfahrtisch bzw. Wafer-Tisch 101 üblicherweise auch vertikal bewegt wird, d.h. entlang der z-Richtung auf die Maßverkörperung 110 zu oder weg, kann bei einer Schutzhaube 130 mit nur zwei vorgesehenen Positionen der Abstand zwischen Schutzhaube 130 und Maßverkörperung 110 nur so gering gewählt werden, dass diese auch in extremen Stellungen (z.B. bei Verkippungen des Wafer-Tisches 101) die Maßverkörperung 110 nicht berührt.
Since the traversing table or wafer table 101 is usually also moved vertically, that is, along the z-direction toward or away from measuring standard 110, in the case of a protective cap 130 having only two positions provided, the distance between protective cap 130 and measuring standard 110 may only be selected to be so small that even in extreme positions (e.g., upon tilting of wafer table 101), it does not touch measuring standard 110 .
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Figur 13 zeigt analog zu den Ausführungsformen gemäß den Figuren 6 bis 11 eine Linearführung des anstellbaren Elements 8 entlang des Pfeils 17, wobei der hier dargestellte Verfahrtisch ebenfalls in Schwingungen 18 versetzt werden kann, um die Haftreibung zu reduzieren.
As in the embodiments according to FIGS. 6 to 11, FIG. 13 shows straight-line guiding of the movable guide 8 along the arrow 17, the traverse table shown here likewise being able to vibrate in order to reduce static friction.
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Die Positionsgenauigkeit des Aufnahmegerätes 12 ist natürlich nicht nur von der mechanischen- und Steuerungsgenauigkeit des Relativbewegungserzeugers 24, wie z.B. dem Verfahrtisch, abhängig, sondern auch von der Genauigkeit der zur Kalibrierung des Relativbewegungserzeugers 24 verwendeten Kalibrierschemas.
Of course, the positioning accuracy of the capturing device 12 is not only dependent on the mechanical and controlling accuracy of the relative motion generator 24, such as the positioning table, but also on the accuracy of the calibration scheme used for calibrating the relative motion generator 24 .
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Als besonders vorteilhaft erweist sich bei der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung, dass sich darüber Messfehler durch Brechungsindexschwankungen der Luft in Betriebsmodi mit geringem erforderlichem Abstand zwischen dem Verfahrtisch mit der Abtasteinheit und der Maßverkörperung in Applikationen minimieren lassen, bei denen in weiteren Betriebsmodi ein vergrößerter Abtastabstand erforderlich ist.
In the optical position-measuring device, measuring errors due to refractive-index variations of the air may be minimized in operating modes with small distance necessary between the traversing table having the scanning unit and the measuring standard in applications in which in further operating modes, an enlarged scanning distance is necessary.
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Bei dem Relativbewegungserzeuger bzw. Motor 24 kann es sich beispielsweise um einen Verfahrtisch bzw. eine computergesteuerte Bühne handeln, und obwohl es möglich wäre, die Anordnung aus Bildsensor 18 und Objektiv 20 gegenüber der Objektebene 16 zu bewegen, wird es bevorzugt, wenn der Relativbewegungserzeuger die Objektebene 16 relativ zu der Anordnung aus Bildsensor 18 und Optik 20 bewegt, wie es mit einer Halterung 26 angedeutet wird, die die Objektebene 16 bzw. den Objektträger hält und beispielsweise Teil der vorerwähnten Bühne ist.
The relative motion generator, or motor, 24 may be a positioning table or a computer-controlled stage, for example, and even though it would be possible to move the arrangement consisting of the image sensor 18 and the objective 20 opposite the object plane 16, it is advantageous for the relative motion generator to move the object plane 16 relative to the arrangement consisting of the image sensor 18 and the optical device 20, as is indicated by a mounting 26 which supports the object plane 16, or the slide, and is part of the above-mentioned stage, for example.
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Dann wird der Verfahrtisch, der wiederum an die Palette angrenzt, in die gewünschte Höhe verfahren, so dass dann die Lage an Stückgütern, wie Behältern, in einem letzten Schritt auf die Palette oder - sofern schon mehrere Lagen auf der Palette übereinander gestapelt sind - auf den Zwischenboden, der oberseitig auf die zuletzt abgesetzte Lage aufgelegt worden ist, geschoben.
Then, the displacement table, which in turn borders on the pallet, is displaced into the desired height so that the layer of individually packaged goods, such as containers, is pushed onto the pallet in a last step or—provided that a plurality of layers are already stacked on top of one another on the pallet, is pushed onto the intermediate floor panel, which was placed onto the last deposited layer on the upper side.
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Das Untersuchungsobjekt 1 befindet sich auf einem Rotationstisch 2, welcher schrittweise rotierbar und seinerseits an einem Verfahrtisch 3 angeordnet ist.
The object to be examined 1 is located on a rotation table 2 that can rotate incrementally and that is, in turn, arranged on a traveling table 3 .
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Die Röntgenquelle 5, die CCD-Matrix 6, die Sensor-Kamera-Einheit 4 sowie der Verfahrtisch 3 sind an einem gemeinsamen Montagerahmen 7 angeordnet, welcher auf einem nivellierbaren Unterbau 8 ruht.
The X-ray source 5, the CCD matrix 6, the sensor-camera unit 4 as well as the traveling table 3 are arranged on a shared assembly frame 7 that rests on a base 8 that can be leveled.
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Die erfindungsgemäße Vorrichtung erlaubt damit eine direkte Übernahme der Behälter vom Auflauftisch bzw. Auflaufbereich, so dass kein Verfahrtisch, der zusätzlichen Platz erfordert, mehr wie bisher erforderlich ist.
The apparatus as claimed in the invention thus allows for a direct take-over of the containers from the accumulation table and the accumulating area so that a displacement table, which requires additional space, is no longer required, as was the case until now.
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Der Verfahrtisch verfügt über einen Antrieb 9 und ist zweidimensional translatorisch verfahrbar, nämlich in der zu dem Doppelpfeil von Fig.
The traveling table has a drive 9 and can be translatorily moved two-dimensionally, namely, in the plane perpendicular to the double arrow of FIG.
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Der Berechnungs- und Steuerungscomputer 10, der Rotationstisch 2, der Verfahrtisch 3 mit seinem Antrieb 9, der Montagerahmen 7 und sein Unterbau 8 gehören demnach sowohl zum CT als auch zum Multisensor-Koordinatenmessgerät.
Accordingly, the calculation and control computer 10, the rotation table 2, the traveling table 3 with its drive 9, the assembly frame 7 and its base 8 are associated with the CT scanner as well as with the multisensor coordinate measuring instrument.
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