Übersetzung für "Substrataufnahme" in Englisch
Das
zu
untersuchende
Produkt
wird
auf
der
Substrataufnahme
fest
eingespannt.
The
product
to
test
is
mounted
firmly
on
the
substrate
holder.
ParaCrawl v7.1
Eine
kapazitive
Ankopplung
über
die
Substrataufnahme
ist
in
diesem
Fall
nicht
möglich.
A
capacitive
coupling
via
the
substrate
receptacle
is
not
possible
in
this
case.
EuroPat v2
Die
Substrataufnahme
13
kann
rein
über
Schwerkraft
erfolgen.
The
substrate
receptacle
13
can
be
made
purely
by
the
action
of
gravity.
EuroPat v2
Eine
Anpassung
der
Substrataufnahme
an
Ihre
Anforderungen
kann
nach
Absprache
ebenso
kundenspezifisch
realisiert
werden.
Customer-specific
adaptation
of
the
substrate
holder
can
also
be
made
to
your
requirements
after
consultation.
ParaCrawl v7.1
Des
Weiteren
ist
eine
Kapazität
zwischen
einer
Massefläche
8
und
einer
Substrataufnahme
5
ausgebildet.
A
capacitance
is
furthermore
formed
between
a
ground
area
8
and
a
substrate
receptacle
5
.
EuroPat v2
Im
Innern
des
Schleusenkammer-Unterteils
51
befindet
sich
in
koaxialer
Anordnung
eine
Hubstange
62,
die
nach
oben
über
die
Dichtfläche
55
hinaus
anhebbar
und
in
Eingriff
mit
einer
Substrataufnahme
63
bringbar
ist,
die
in
eine
konzentrische
Bohrung
des
Substrats
26
eingreift.
In
the
interior
of
the
lock
chamber
stem
51
is
a
lift
rod
62
which
can
be
raised
upward
above
the
sealing
surface
55
and
can
be
brought
into
engagement
with
a
substrate
receiver
63
which
is
engaged
in
a
concentric
hole
in
the
substrate
26.
EuroPat v2
Mittels
der
Hubstange
62
und
der
Substrataufnahme
63
läßt
sich
das
Substrat
26
zwischen
der
ausgezogen
dargestellten
Position
und
der
strichpunktiert
dargestellten
Position
bewegen.
By
means
of
the
lift
rod
62
and
the
substrate
receiver
63
the
substrate
26
can
be
moved
between
the
position
represented
in
solid
lines
and
the
position
represented
in
broken
lines.
EuroPat v2
In
der
zuerst
genannten
Stellung
ruht
das
Substrat
26
in
einer
flachen
zylindrischen
Ausnehmung
des
Substrathalters
6,
wobei
sich
die
Substrataufnahme
63
mittels
eines
nicht
näher
bezeichneten
Flansches
auf
einer
gleichfalls
nicht
näher
bezeichneten
Tragschulter
des
Substrathalters
6
abstützt.
In
the
first-named
position
the
substrate
26
rests
in
a
shallow
cylindrical
recess
in
the
substrate
holder
6,
the
substrate
receiver
63
having
a
flange
which
rests
on
a
shoulder,
of
the
substrate
holder
6.
EuroPat v2
In
dieser
Stellung
eines
jeden
Substrats
dringt
die
Substrataufnahme
63,
angehoben
durch
die
Hubstange
62,
mittels
eines
ringförmigen
Fortsatzes
von
unten
in
eine
kreisförmige
Mittenausnehmung
des
Substrats
ein
und
hält
dieses
zuverlässig
fest.
When
each
substrate
is
in
this
position
the
substrate
receiver
63,
raised
by
the
lift
rod
62,
penetrates
with
an
annular
prolongation
from
below
into
a
circular
center
opening
in
the
substrate
and
holds
the
latter
reliably
fast.
EuroPat v2
In
der
zuerst
genannten
Stellung
ruht
das
Substrat
26
in
einer
flachen
zylindrischen
Ausnehmung
des
Substrathalters
6,
wobei
sich
die
Substrataufnahme
63
mittels
eines
nicht
näher
bezeichneten
Flansches
auf
einer
gleichfalls
nicht
näher
bezeichneten
Tragschulter
des
Substrattransportrings
abstützt.
In
the
first-named
position
the
substrate
26
rests
in
a
shallow
cylindrical
recess
in
the
substrate
holder
6,
the
substrate
receiver
63
having
a
flange
which
rests
on
a
shoulder,
of
the
substrate
holder
6.
EuroPat v2
Während
dessen
wird
die
Halterung
von
einem
Hebelmechanismus
in
eine
Ausnehmung
einer
im
Innern
einer
ebenfalls
unter
Vakuum
stehenden
Transportkammer
angeordneten
drehbaren
Substrataufnahme
übergeben.
Meanwhile
the
holding
device
is
transferred
by
a
lever
mechanism
in
a
recess
of
a
rotatingly
positioned
substrate
intake,
which
is
inside
a
transport
chamber
that
is
also
under
vacuum.
EuroPat v2
Die
Schrittweite
des
Antriebs
einerseits
und
die
Winkelstellung
jeder
Beschichtungsstation
zu
der
ihr
zugeordneten
Schleusenstation
in
Bezug
auf
die
Drehachse
des
Substrathalters
andererseits
sind
so
gewählt,
daß
ein
und
dieselbe
Beschichtungsstation
über
die
schrittweise
Bewegung
jeweils
einer
bestimmten
Substrataufnahme
und
derselben
Schleusenstation
zugeordnet
ist.
The
stepping
width
of
the
drive
on
the
one
hand,
and
on
the
other
hand
the
angular
attitude
of
each
coating
station
to
the
airlock
station
associated
with
it
with
respect
to
the
axis
of
rotation
of
the
substrate
holder,
are
selected
such
that
one
and
the
same
coating
station
is
associated
by
the
stepping
movement
with
a
specific
substrate
post
and
the
same
airlock
station.
EuroPat v2
Das
Substrat
8
wird
von
einem
Probenhalter
24
einer
Substrataufnahme
22
aufgenommen
und
durch
übliche
Mittel,
beispielsweise
an
der
Oberfläche
des
Probenhalters
24
vorgesehene
Saugbahnen,
fixiert,
und
zwar
in
einer
ausgerichteten
Position.
The
substrate
8
is
held
by
a
specimen
holder
24
of
a
substrate
holding
means
22
and
attached
by
commonly
used
means,
for
example,
suction
webs
provided
on
the
surface
of
the
specimen
holder
24
specifically
in
an
aligned
position.
EuroPat v2
Die
Heizfläche
20
erstreckt
sich
daher
im
Querschnitt
über
den
halben
Durchmesser
H
der
Polymerschicht
18,
wobei
ein
Rand
28
der
Heizfläche
20
im
Bereich
eines
Randes
29
der
Polymerschicht
18
angeordnet
ist,
so
dass
bei
Rotation
des
Substrats
8
durch
die
Substrataufnahme
22
um
die
Rotationsachse
R
spätestens
nach
einer
ganzen
Umdrehung
des
Substrats
8
um
die
Rotationsachse
R
die
Polymerschicht
18
beziehungsweise
das
Fluid
23
vollständig
von
der
Heizfläche
20
beaufschlagt
worden
ist.
The
heating
surface
20
therefore
extends
in
a
cross-section
over
one-half
of
the
diameter
H
of
the
polymer
layer
18,
whereby
one
edge
28
of
the
heating
surface
20
is
arranged
in
the
area
of
an
edge
29
of
the
polymer
layer
18,
in
such
a
way
that
when
the
substrate
8
is
rotated
by
the
substrate
holding
means
22
around
the
axis
of
rotation
R,
at
the
latest
after
one
complete
revolution
of
the
substrate
8
around
the
axis
of
rotation
R,
the
polymer
layer
18
or
the
fluid
23
has
been
completely
exposed
to
the
heating
surface
20
.
EuroPat v2
Soweit
die
Substrataufnahme
Rotationsmittel
zur
Rotierung
des
Substrats
um
dessen
Zentrum
Z
aufweist,
lässt
sich
einerseits
das
Fluid
optimal
auf
der
Polymerschicht
verteilen
und
andererseits
ist
eine
Anordnung
der
Heizmittel
neben
den
Einbringmitteln
möglich,
die
bei
einer
vollflächigen
Heizfläche
nicht
möglich
ist.
If
the
substrate
holding
means
has
rotating
means
for
rotating
the
substrate
around
its
center
Z,
on
the
one
hand,
the
fluid
can
be
optimally
distributed
on
the
polymer
layer,
and,
on
the
other
hand,
an
arrangement
of
the
heating
means
in
addition
to
the
introducing
means
may
be
possible,
which
is
not
possible
in
a
whole-area
heating
surface.
EuroPat v2
Indem
die
Vorrichtung
einen
durch
ein
Gehäuse
begrenzten,
insbesondere
mit
Vakuum
beaufschlagbaren,
Arbeitsraum
umfasst,
in
welchem
die
Substrataufnahme,
die
Aufbringmittel
und
die
Heizmittel
zumindest
teilweise
angeordnet
sind,
wobei
das
Gehäuse
über
einen
Auslass
zur
Ausbringung
des
Gemisches
aus
Fluid
und
durch
das
Fluid
gelöster
Polymerschicht
aufweist,
wird
die
Umgebung
optimal
vor
den
sehr
reaktiven
Substanzen
des
Fluids
geschützt.
By
having
the
device
comprise
a
working
area
that
is
limited
by
a
housing,
in
particular
that
can
be
subjected
to
a
vacuum,
in
which
working
area
the
substrate
holding
means,
the
application
means,
and
the
heating
means
are
at
least
partially
arranged,
whereby
the
housing
has
a
polymer
layer
that
is
dissolved
by
the
fluid
via
an
outlet
for
producing
the
mixture
from
the
fluid,
the
environment
is
optimally
protected
from
the
highly
reactive
substances
in
the
fluid.
EuroPat v2
Vorrichtung
nach
den
Ansprüchen
11
und
12,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
im
Schleusenkammer-Unterteil
(51)
koaxial
zu
diesem
eine
Hubstange
(62)
für
die
in
der
Schleusenstation
(8)
befindliche
Substrataufnahme
(63)
angeordnet
ist.
Apparatus
according
to
claim
11,
characterized
in
that,
in
the
air
lock
chamber
bottom
part
(51),
coaxial
with
the
latter,
a
lift
rod
(62)
is
disposed
for
the
substrate
pickup
(63)
that
is
situated
in
the
air
lock
station
(8).
EuroPat v2
Der
flexible
Aufbau
der
Konstruktion
ermöglicht
einen
einfachen
Austausch
der
Substrataufnahme
zur
Integration
optionaler
Ausstattung
wie
beispielsweise
eines
Kipptisches.
The
flexible
design
enables
simple
exchange
of
the
substrate
holder
for
integrating
optional
equipment
such
as
a
tilting
table.
ParaCrawl v7.1
Bei
dem
erfindungsgemäßen
Verfahren
zum
Heißprägen
einer
magnetischen
Nanopartikel
enthaltenden
Polymerschicht,
insbesondere
auf
ein
Substrat
wird
zunächst,
insbesondere
durch
einen
Roboterarm,
das
Polymer
oder
das
mit
der
Polymerschicht
zu
beschichtende
Substrat
in
die
Vorrichtung
eingebracht,
und
zwar
auf
die
Substrataufnahme.
In
the
method
as
claimed
in
the
invention
for
hot
embossing
of
a
magnetic
nanoparticle-containing
polymer
layer,
especially
onto
a
substrate,
first,
the
polymer
or
the
substrate
which
is
to
be
coated
with
the
polymer
layer
is
placed
in
the
device,
especially
by
a
robot
arm,
specifically
on
the
substrate
receiver.
EuroPat v2
In
Figur
1
ist
ein
mit
einer
Polymerschicht
1
zu
versehendes
Substrat
2
auf
einer
Substrataufnahme
3
gezeigt.
FIG.
1
shows
a
substrate
2
which
is
to
be
provided
with
a
polymer
layer
1
on
a
substrate
holder
3
.
EuroPat v2
Gegenüberliegend
zu
der
Substrataufnahme
3
ist
eine
Druckbeaufschlagungseinrichtung
5
an
der
Vorrichtung
fixiert
und
die
Druckbeaufschlagungseinrichtung
5
weist
einen
Druckzylinder
7
auf,
der
einen
am
Druckzylinder
7
angebrachten
Prägestempel
4
in
Richtung
des
Substrats
2
verschieben
kann.
Opposite
the
substrate
holder
3
a
pressure
application
means
5
is
fixed
on
the
device
and
the
pressure
application
means
5
has
a
pressure
cylinder
7
which
can
move
an
embossing
die
4
which
is
attached
to
the
pressure
cylinder
7
in
the
direction
of
the
substrate
2
.
EuroPat v2
Der
Druckzylinder
7
kann
statt
auf
den
Prägestempel
4
auch
auf
die
Substrataufnahme
3
und
damit
das
Substrat
2
wirkend
ausgebildet
sein,
wobei
in
diesem
Fall
der
Prägestempel
4
durch
einen
Stempelhalter
fixiert
gehalten
wird.
The
pressure
cylinder
7
can
also
be
made
to
act
on
the
substrate
holder
3
and
thus
the
substrate
2,
instead
of
on
the
embossing
die
4,
in
this
case
the
embossing
die
4
being
held
fixed
by
a
die
holder.
EuroPat v2