Übersetzung für "Siliziumnitrid" in Englisch
Dabei
wird
die
Isolierschicht
18
vorzugsweise
aus
Aluminiumoxid
oder
Siliziumnitrid
gebildet.
The
insulating
layer
18
is
preferably
made
of
aluminum
oxide
or
silicon
nitride.
EuroPat v2
Als
geeignete
Materialien
sind
z.B.
Siliziumnitrid
oder
Aluminiumoxid
zu
nennen.
Suitable
materials
are,
for
example,
silicon
nitride
or
aluminum
oxide.
EuroPat v2
Anders
liegen
die
Verhältnisse
bei
der
Verwendung
von
Siliziumnitrid
als
keramischem
Material.
The
circumstances
are
different
when
using
silicon
nitride
as
the
ceramic
material.
EuroPat v2
Anschließend
wird
eine
dünne
Hilfsschicht
zum
Beispiel
aus
Siliziumnitrid
abgeschieden.
Subsequently,
a
thin
auxiliary
layer
of,
for
example,
silicon
nitride
is
deposited.
EuroPat v2
Im
erhaltenen
Siliziumnitrid
ist
bis
zu
10
Vol.-%
Silizium
enthalten.
Up
to
10%
by
volume
of
silicon
is
contained
in
the
silicon
nitride
obtained.
EuroPat v2
Üblicherweise
werden
die
Membrane
aus
Siliziumnitrid
hergestellt.
Customarily,
the
membranes
are
manufactured
from
silicon
nitride.
EuroPat v2
Die
optionale
Ätzstopschicht
besteht
vorzugsweise
aus
Siliziumnitrid.
The
optional
etch
stop
layer
is
preferably
formed
of
silicon
nitride.
EuroPat v2
Zur
Erzeugung
von
Spacern
Sp
wird
Siliziumnitrid
abgeschieden
und
rückgeätzt.
The
spacers
Sp
are
produced
by
depositing
and
then
etching
back
silicon
nitride.
EuroPat v2
Vorzugsweise
werden
die
Spacer
aus
Siliziumnitrid
gebildet.
The
spacers
are
preferably
formed
from
silicon
nitride.
EuroPat v2
Die
Schneidkeramik
kann
insbesondere
aus
Siliziumnitrid
oder
Aluminiumoxid
bestehen.
The
cutting
ceramic
can
consist
especially
of
silicon
nitride
or
aluminum
oxide.
EuroPat v2
Die
erste
dielektrische
Schicht
kann
beispielsweise
Siliziumoxid
oder
Siliziumnitrid
enthalten.
The
first
dielectric
layer
8
may
contain
silicon
oxide
or
silicon
nitride,
for
example.
EuroPat v2
Als
Material
kommt
Siliziumnitrid
oder
Siliziumoxinitrid
in
Frage.
The
material
used
can
be
silicon
nitride
or
silicon
oxynitride.
EuroPat v2
Das
Dielektrikum
kann
Siliziumdioxid
oder
Siliziumnitrid
sein.
The
dielectric
may
be
silicon
dioxide
or
silicon
nitride.
EuroPat v2
Das
Dielektrikum
kann
aus
Siliziumoxid
und/oder
Siliziumnitrid
gebildet
sein.
The
dielectric
may
be
formed
of
silicon
oxide
and/or
silicon
nitride.
EuroPat v2
Eine
derartige
Schicht
kann
aus
Siliziumoxid
und/oder
Siliziumnitrid
gebildet
sein.
Such
a
layer
may
be
formed
of
silicon
oxide
and/or
silicon
nitride.
EuroPat v2
Wegen
seiner
hervorragenden
Barrierenwirkung
wird
im
Allgemeinen
Siliziumnitrid
als
Zwischenschicht
verwendet.
Because
of
its
outstanding
barrier
effect,
silicon
nitride
is
generally
used
as
an
intermediate
layer.
EuroPat v2
Die
Hartmaske
kann
Siliziumnitrid,
Siliziumoxinitrid
oder
Siliziumoxid
aufweisen.
The
hard
mask
can
contain
silicon
nitride,
silicon
oxynitride
or
silicon
oxide.
EuroPat v2
Die
zweite
dielektrische
Schicht
10
kann
ebenfalls
Siliziumoxid
oder
Siliziumnitrid
enthalten.
The
second
dielectric
layer
10
may
likewise
contain
silicon
oxide
or
silicon
nitride.
EuroPat v2
Beispiel
derartiger
Werkstoffe
sind
Siliziumkarbid,
Aluminiumoxid,
Borkarbid,
Siliziumnitrid
und
Bornitrid.
Examples
of
such
materials
are
silicon
carbide,
aluminum
oxide,
boron
carbide,
silicon
nitride
and
boron
nitride.
EuroPat v2
Damit
können
Lagerbauteile
insbesondere
auf
der
Basis
von
Siliziumnitrid
und
Siliziumcarbid
hergestellt
werden.
The
bearing
components
can
be
produced
especially
based
on
silicon
nitride
and
silicon
carbide.
EuroPat v2
Als
geeignete
Materialien
kommen
Siliziumoxid,
Siliziumnitrid
oder
Polyimid
in
Frage.
Suitable
materials
in
this
respect
are
silicon
oxide,
silicon
nitride
or
polyimide.
EuroPat v2
Außer
Siliziumdioxid
sind
auch
andere
Maskenmaterialien
wie
beispielsweise
Siliziumnitrid
oder
Aluminiumoxid
verwendbar.
Other
mask
materials
can
also
be
used
such
as
silicon
nitride
and
aluminum
oxide
or
combinations
thereof.
EuroPat v2
Hierzu
sind
heissgepresstes
und
reaktionsgebundenes
Siliziumnitrid
wie
auch
Siliziumcarbid
besser
geeignet.
Hot
extruded
and
reaction
bonded
silicon
nitride
and
silicon
carbide
are
better
suited
for
this
purpose.
EuroPat v2
Die
eigentliche
Kolbenmulde
14
besteht
aus
Siliziumnitrid
oder
Siliziumcarbid.
The
piston
recess
14
itself
consists
of
silicon
nitride
or
silicon
carbide.
EuroPat v2
Dabei
wird
die
Isolierschicht
(18)
vorzugsweise
aus
Aluminiumoxid
oder
Siliziumnitrid
gebildet.
Said
insulating
layer
(18)
is
preferably
made
of
aluminum
oxide
or
silicon
nitride.
EuroPat v2