Übersetzung für "Schichtwachstum" in Englisch
Diese
Abweichungen
von
einer
glatten
Fläche
beeinträchtigen
nachteilhaft
einkristallines
Schichtwachstum
auf
den
Perowskiten.
These
deviations
from
a
smooth
surface
detrimentally
affect
single
crystal
layer
growth
on
the
perovskites.
EuroPat v2
Um
ein
Schichtwachstum
zu
erreichen,
wird
dieser
Prozess
mehrfach
wiederholt.
In
order
to
achieve
layer
growth,
that
process
was
repeated
a
plurality
of
times.
EuroPat v2
Grundsätzlich
sind
folgende
Kriterien
für
ein
defektfreies
epitaktisches
Schichtwachstum
erforderlich:
Basically,
the
following
criteria
are
required
for
a
defect-free
epitaxial
layer
growth:
EuroPat v2
Bei
der
Atomlagenabscheidung
findet
dabei
ein
Schichtwachstum
in
zyklischer
Weise
statt.
During
atomic
layer
deposition,
layer
growth
takes
place
in
a
cyclic
manner
in
this
case.
EuroPat v2
Dies
hat
einen
positiven
Einfluss
auf
das
Schichtwachstum
und
die
Eigenschaften
der
Absorberschicht.
This
has
a
positive
influence
on
the
layer
growth
and
the
qualities
of
the
absorber
layer.
EuroPat v2
Das
Schichtwachstum
und
damit
auch
der
Kristallitbildungsprozess
werden
nicht
zusätzlich
energetisch
beeinflusst.
The
layer
growth
and
therewith
also
the
process
of
crystallite
formation
are
not
additionally
energetically
influenced.
EuroPat v2
Erfindungsgemäß
wird
dies
erreicht
durch
ein
terrassenartiges
Schichtwachstum.
This
is
achieved
according
to
the
invention
by
a
terrace-like
layer
growing.
EuroPat v2
Zum
anderen
lässt
sich
durch
eine
Erwärmung
des
Substrates
ein
gleichmäßigeres
Schichtwachstum
erreichen.
On
the
other
hand,
a
more
uniform
layer
growth
can
be
attained
by
heating
the
substrate.
EuroPat v2
Für
das
Schichtwachstum
ist
dies
aus
wirtschaftlicher
und
technologischer
Sicht
nicht
befriedigend.
For
the
layer
growth
this
is
not
satisfactory
from
an
economical
and
technological
point
of
view.
EuroPat v2
Das
Schichtwachstum
erfolgt
vorzugsweise
mit
Gasphasenepitaxie
oder
mit
Molekularstrahlepitaxie.
The
layer
growth
is
effected
preferably
with
gas
phase
epitaxy
or
with
molecular
beam
epitaxy.
EuroPat v2
Durch
die
Form
der
Anoden
kann
das
Schichtwachstum
in
einer
gewünschten
Weise
beeinflußt
werden.
By
means
of
the
shape
of
the
anodes,
the
layer
growth
can
be
influenced
in
a
desired
manner.
EuroPat v2
Es
ist
bekannt,
Perowskite
als
Substrat
bei
einkristallinem
Schichtwachstum
oder
als
Material
bei
Hochtemperatur-Brennstoffzellen
einzusetzen.
It
is
known
to
utilize
perovskites
as
substrates
for
single
crystal
layer
growth
or
as
a
material
for
high
temperature
fuel
cells.
EuroPat v2
Die
Bor
und
Germanium-Dotierung
der
ersten
Si-Schicht
wirkt
sich
in
vorteilhafterweise
auf
das
nachfolgende
Schichtwachstum
aus.
The
boron
and
germanium
doping
of
the
first
silicon
layer
has
a
favourable
effect
on
subsequent
layer
growth.
EuroPat v2
Ferner
ist
ein
Verfahren
bekannt,
bei
dem
der
AI-Gehalt
mit
zunehmendem
Schichtwachstum
kontinuierlich
abnimmt.
A
method
is
also
known
in
which
the
Al
content
decreases
continuously
with
increasing
layer
growth.
EuroPat v2
Hierdurch
wird
einem
dendritischen
Schichtwachstum
entgegengewirkt,
da
die
sich
ausbildende
Schicht
sofort
kompaktiert
wird.
This
counteracts
dendritic
layer
growth,
since
the
layer
which
forms
is
compacted
immediately.
EuroPat v2
Zum
anderen
wird
mittels
der
energetischen
Selen-Ionen
ein
zusätzlicher,
nichtthermischer
Energiebeitrag
zum
Schichtwachstum
bereitgestellt.
On
the
other
hand
an
additional,
non-thermal
energy
contribution
for
layer
growth
is
made
available
by
the
energetic
selenium
ions.
EuroPat v2
Zur
Ausbildung
besonders
starker
Beschichtungen
ist
es
zweckmäßig,
mit
frischer
wässriger
Reaktionsdispersion
das
Schichtwachstum
weiterzuführen.
For
the
formation
of
especially
thick
coatings,
it
is
expedient
to
continue
the
layer
growth
with
fresh
aqueous
reaction
dispersion.
EuroPat v2
Hier
kann
das
Schichtwachstum
und
die
Kristallisation
des
SiO
2
gezielt
über
die
Beschichtungsparameter
gesteuert
werden.
Here,
the
layer
growth
and
the
crystallization
of
the
SiO
2
can
be
controlled
expediently
via
the
coating
parameters.
EuroPat v2
Ursache
für
das
milchige
Erscheinungsbild
bei
niedrigen
Beschichtungstemperaturen
ist
ein
Schichtwachstum
in
Form
von
ausgeprägtem
Säulenwachstum.
The
cause
of
the
milky
appearance
with
low
coating
temperatures
is
layer
growth
in
the
form
of
pronounced
column
growth.
EuroPat v2
Durch
die
Untersuchungen
erhalten
die
Forscher
von
diesem
Schichtwachstum
nun
erstmals
ein
vollständiges
Bild.
Thanks
to
the
investigations,
the
researchers
have
for
the
first
time
obtained
a
complete
picture
of
this
layer
growth.
ParaCrawl v7.1
Aufgrund
dessen
können
ohne
die
Gefahr
eines
wilden
Knospenwachstums
hohe
Stromdichten
zugelassen
werden,
die
ein
schnelles
Schichtwachstum
bewirken.
As
a
result
thereof,
it
is
possible
to
allow
high
current
densities,
which
bring
about
a
rapid
film
growth,
without
any
danger
of
a
wild
nodule
growth.
EuroPat v2
Diese
extremen
Anforderungen
machen
es
notwendig,
das
Schichtwachstum
praktisch
von
der
ersten
Monolage
an
zu
verfolgen
und
gegebenenfalls
auch
zu
steuern.
Such
extremely
high
property
requirements
make
it
necessary
to
follow
and,
if
necessary,
control
layer
growth,
practically
beginning
with
a
first
mono-atomic
layer.
EuroPat v2
Bei
hohen
Strömungsgeschwindigkeiten
ist
ein
gleichmäßigeres
Schichtwachstum
bei
hohen
Stromdichten
erreichbar,
insbesondere
wenn
die
Elektrolyttemperaturen
relativ
niedrig
liegen,
worauf
noch
weiter
unten
eingegangen
wird.
At
high
flow
rates,
a
more
uniform
coating
growth
is
attainable
at
high
current
densities,
particularly
when
the
electrolyte
temperatures
are
relatively
low,
which
will
be
discussed
in
more
detail
below.
EuroPat v2
Es
zeigt
sich,
daß
bei
Temperaturen
im
Bereich
von
etwa
30
bis
40°
C,
insbesondere
von
etwa
35°
C,
eine
geringere
Rauhigkeit
der
aufgebrachten
Schicht,
eine
bessere
Stromausbeute
und
ein
schnelleres
Schichtwachstum
erzielt
werden
können.
It
turns
out
that
at
temperatures
ranging
from
approximately
30°
to
40°
C.,
more
especially
of
approximately
35°
C.,
it
is
possible
to
attain
a
reduced
roughness
of
the
deposited
coating,
a
better
current
efficiency
and
a
faster
coating
growth.
EuroPat v2
In
diesem
Zusammenhang
spielt
bereits
die
Möglichkeit
einer
Reduzierung
des
Substratpotentials
von
den
in
herkömmlichen
Vorrichtungen
meist
angewandten
-200
V
auf
die
in
der
erfindungsgemäßen
Vorrichtung
möglichen
-50
V
Substratpotential
bei
hoher
Stromdichte
eine
entscheidende
Rolle,
da
diese
Maßnahme
die
thermische
Belastung
der
Substrate
drastisch
vermindert,
dennoch
aber
die
Gesamtanordnung
ideale
Voraussetzungen
für
das
Schichtwachstum
ermöglicht.
In
this
connection,
an
essential
possibility
is
reducing,
at
a
high
current
density,
the
substrate
potential
from
the
-200
V
largely
used
in
conventional
devices
to
a
possible
-50
V
in
accordance
with
the
invention.
This
step
drastically
reduces
the
thermal
stress
of
the
substrates.
Yet,
the
arrangement
as
a
whole
still
permits
ideal
conditions
for
the
growth
of
the
layers.
EuroPat v2
Durch
eine
sich
am
Substrat
gegenüber
dem
Plasma
einstellende
negative
"Selfbias"-Spannung
werden
die
ionisierten
positiven
Materialteilchen
gegen
das
Substrat
beschleunigt,
was
zu
einem
besseren
Schichtwachstum
beiträgt.
The
ionized,
positive
particles
of
material
are
accelerated
against
the
substrate
by
means
of
a
"self-bias"
voltage
produced
on
the
substrate
which
is
negative
compared
to
the
plasma,
and
this
contributes
to
improved
layer
growth.
EuroPat v2
Selbst
wenn
diese
Partikel
nicht
mit
den
Substraten
in
Berührung
kommen,
wirkt
sich
dieser
Vorgang
doch
negativ
auf
das
Schichtwachstum
bzw.
die
Schichthomogenität
auf
dem
Substrat
aus.
Even
if
these
particles
do
not
come
in
contact
with
the
substrates,
however,
this
process
has
a
negative
effect
on
the
growth
and
homogeneity
of
the
layer
deposited
on
the
substrate.
EuroPat v2
Auf
der
freiliegenden
Oberfläche
des
Substrats
(1)
wird
die
elektrisch
leitende
Spitze
(7)
durch
eine
selektive
Epitaxie
erzeugt,
bei
der
das
Schichtwachstum
in
Richtung
parallel
zur
Oberfläche
des
Substrats
(1)
geringer
ist
als
in
der
Richtung
senkrecht
zur
Oberfläche
des
Substrats
(1).
The
electrically
conductive
tip
is
produced
by
a
selective
epitaxy
on
the
exposed
surface
of
the
substrate
such
that
the
layer
growth
in
the
direction
parallel
to
the
surface
of
the
substrate
is
lower
than
in
the
direction
perpendicular
to
the
surface
of
the
substrate.
EuroPat v2
Die
an
der
Ringelektrode
eingekoppelte
RF-Leistung
wird
so
eingestellt,
daß
das
Schichtwachstum
auf
den
freiliegenden
Oberflächen
der
unteren
Schicht
im
wesentlichen
dem
Ätzangriff
des
Ätzprozesses
an
diesen
Oberflächen
entspricht.
The
RF
power
supplied
at
the
ring
electrode
is
set
such
that
the
layer
growth
on
the
exposed
surfaces
of
the
lower
layer
essentially
corresponds
to
the
etching
attack
of
the
etching
process
at
these
surfaces.
EuroPat v2