Übersetzung für "Schichtabtrag" in Englisch
Ermittelt
wird
der
prozentuale
Schichtabtrag
in
der
Testlösung.
The
percentage
layer
removal
in
the
test
solution
is
determined.
EuroPat v2
Für
verschiedene
Dekontaminationslösungen
ergaben
sich
bei
gleichem,
gravimetrisch
bestimmtem
Schichtabtrag
unterschiedliche
Dekontaminationsfaktoren.
For
various
decontamination
solutions,
there
are
provided
various
decontamination
factors
with
the
same
gravimetrically
determined
abrasion
of
layers.
EuroPat v2
Mit
Hilfe
dieses
anisotropen
Trockenätzprozesses
erfolgt
ein
planarisierender
Schichtabtrag.
A
planarizing
erosion
occurs
with
the
assistance
of
this
anisotropic
dry-etching
process.
EuroPat v2
Somit
erfolgt
ein
sauberer
Schichtabtrag
von
der
Festelektrolytschicht-Signalleiterschicht-Grenzfläche
aus.
A
clean
layer
removal
from
the
solid
electrolyte
layer-signal
conductor
layer
interface
is
thus
effected.
EuroPat v2
Je
geringer
der
Schichtabtrag
ist,
desto
geringer
ist
die
für
die
Belichtung
erforderliche
Lichtmenge.
The
lower
the
erosion
rate,
the
lower
the
amount
of
light
required
for
exposure.
EuroPat v2
Anschließend
wird
durch
einen
planarisierenden
Schichtabtrag
die
Hauptfläche
im
Bereich
der
aktiven
Gebiete
freigelegt.
Subsequently,
the
principal
surface
is
uncovered
in
the
region
of
the
active
zones
on
the
basis
of
a
planarizing
layer
erosion.
EuroPat v2
Im
Hinblick
auf
eine
Prozeßvereinfachung
ist
es
vorteilhaft,
den
planarisierenden
Schichtabtrag
durch
anisotropes
Trockenätzen
durchzuführen.
It
is
advantageous
in
view
of
a
process
simplification
to
implement
the
planarizing
layer
erosion
by
anisotropic
dry
etching.
EuroPat v2
Das
erfindungsgemäße
Verfahren
ist
leicht
zu
realisieren
und
gewährleistet
einen
schnellen
und
gleichmäßigen
Schichtabtrag.
The
method
according
to
the
invention
is
easy
to
realize
and
ensures
fast
and
uniform
layer
removal.
EuroPat v2
Diese
Stützstrukturen
sowie
die
gleichzeitig
an
den
Flanken
der
zweiten
Gräben
gebildeten
Spacer
verbleiben
als
Isolationsmaterial
auch
nach
dem
planarisierenden
Schichtabtrag
in
den
zweiten
isolierenden
Gräben.
These
supporting
structures,
as
well
as
the
spacers
simultaneously
formed
at
the
sidewalls
of
the
second
trenches,
also
remain
as
insulation
material
after
the
planarizing
layer
erosion
in
the
second
insulating
trenches.
EuroPat v2
Der
planarisierende
Schichtabtrag,
bei
dem
die
Hauptfläche
im
Bereich
der
aktiven
Gebiete
freigelegt
wird,
kann
sowohl
durch
chemisch-mechanisches
Polieren
als
auch
durch
konventionelles
anisotropes
Trockenätzen
erfolgen.
The
planarizing
layer
erosion,
wherein
the
principal
surface
in
the
region
of
the
active
zones
is
uncovered,
can
occur
both
by
chemical-mechanical
polishing
as
well
as
by
conventional
anisotropic
dry
etching.
EuroPat v2
Das
relativ
einfach
zu
handhabende
isotrope
Ätzverfahren
kann
dabei
problemlos
eingesetzt
werden,
da
die
übrigen,
erwünschten
Elektrodenschichtbereiche
durch
diesen
Schichtabtrag
nur
unwesentlich
beeinträchtigt
werden
und
weiterhin
ihre
Funktionalität
behalten.
The
relatively
straightforward
isotropic
etching
process
can
in
this
case
be
used
without
difficulty
since
the
other
regions,
which
is
to
say
the
desired
electrode
layer
regions
are
only
insignificantly
affected
by
this
layer
erosion
and
still
maintain
their
functionality.
EuroPat v2
Die
mit
dem
erfindungsgemäßen
Entwickler
entwickelten
Platten
waren
in
allen
Fällen
frei
von
Schleier,
die
Volltöne
ohne
Ausbrüche
oder
sonstige
Schädigungen
durch
Schichtabtrag
wiedergegeben,
das
60er
Raster
mit
einer
Flächendeckung
von
2
bis
98
%.
The
plates
developed
with
the
developer
according
to
the
invention
were
in
all
cases
free
of
stains,
the
solid
color
areas
were
reproduced
without
missing
parts
or
other
damage
due
to
removal
of
the
layer,
and
the
60-line
screen
had
a
coverage
of
from
2
to
98%.
EuroPat v2
Es
besteht
schließlich
die
Möglichkeit
der
direkten
Strukturierung
einer
Materialschicht,
welche
keinem
lithographischen
Verfahren
zugänglich
ist,
indem
ein
Schichtabtrag
durch
Beschuß
mit
Ionen
bzw.
Plasmaätzung
erfolgt.
Lastly,
there
is
also
the
possibility
of
directly
structuring
a
layer,
that
is
incompatible
with
any
lithographic
process,
by
carrying
out
layer
erosion
through
ion
bombardment
or
plasma
etching.
EuroPat v2
Dabei
kann
es
sich
um
die
Abscheidung
von
Schichten,
die
Härtung
von
Oberflächen,
um
Schichtabtrag
oder
um
Reinigungsprozesse
handeln.
It
may
relate
to
the
precipitation
of
layers,
the
hardening
of
surfaces,
to
the
removal
of
a
layer,
or
to
cleaning
processes.
EuroPat v2
Eine
klare
Trennung
der
einzelnen
Schichtgebiete
im
Bereich
der
Kanten
kann
alternativ
oder
zusätzlich
erzielt
werden,
wenn
nach
dem
Abscheiden
der
mindestens
einen
weiteren
Materialschicht
ein
geeigneter
Schichtabtrag
der
mindestens
einen
weiteren
Materialschicht
-
wie
z.B.
ein
Ätzschritt
-
zur
Entfernung
von
Kantenbedeckungen
durchgeführt
wird.
A
clear
separation
of
the
individual
layer
regions
in
the
vicinity
of
the
edges
may,
alternatively
or
additionally,
be
obtained
if,
after
the
deposition
of
the
at
least
one
further
layer,
suitable
layer
erosion
of
the
at
least
one
further
layer
for
example
an
etching
step
is
carried
out
in
order
to
remove
an
edge
coverage.
EuroPat v2
Der
Schichtabtrag
kann
nun
jedoch
mit
wesentlich
geringen
Anforderungen
an
Selektivität,
Kantensteilheit
oder
Abtragsgeschwindigkeit
ausfallen,
als
dies
z.B.
bei
einer
direkten
Strukturierung
der
weiteren
Materialschichten
der
Fall
wäre.
However,
the
layer
erosion
can
then
be
carried
out
with
substantially
less
stringent
requirements
on
selectivity,
edge
gradient,
or
erosion
rate
than
would
be
the
case,
for
example,
with
direct
structuring
of
the
further
layers.
EuroPat v2
Die
anionischen
Cyaninfarbstoffe
in
den
erfindungsgemäßen
Beispielen
1c,
1d,
1e
und
1g
bewirken
dagegen
einen
erhöhten
Schichtabtrag
durch
den
wäßrig-alkalischen
Entwickler.
On
the
other
hand,
the
anionic
cyanine
dyes
in
Examples
1c,
1d,
1e
and
1g
according
to
the
invention
result
in
increased
removal
of
the
layer
by
the
aqueous
alkaline
developer.
EuroPat v2
Zur
Beseitigung
der
Schäden,
d.h.
zur
Instandsetzung
der
Schaufel
1,
soll
im
vorliegenden
Fall
über
das
gesamte
Schaufelblatt
2
ein
definierter
Schichtabtrag
erfolgen,
wozu
rechnerisch
eine
-
zumindest
weitestgehend
-
innerhalb
der
Istgeometrie
IG
liegende
Nettogeometrie
NG
ermittelt
wird.
To
repair
the
damaged
areas,
in
other
words
to
repair
the
blade
1,
in
the
present
case
a
defined
removal
of
the
coating
over
the
entire
blade
face
2
is
to
take
place,
to
which
end
a
net
geometry
NG
that
lies
within
the
actual
geometry
IG—at
least
to
the
greatest
extent
possible—is
determined
mathematically.
EuroPat v2
Beispiele
hierfür
sind
Verfahren
wie
Thermotransfer,
Tintenstrahlbeschichtung,
elektrostatischer
Tonertransfer,
bei
denen
thermoplastische
Schichten,
durch
Wärmeeintrag
farbannehmende
Tinten
aus
Tintendüsen
oder
geladene
Tonerpartikel
durch
Anlagerung
an
elektrisch
geladenen
Oberflächen
übertragen
und
anschließend
fixiert
werden,
sowie
auch
Aufbringung
von
Photopolymeren
mit
anschließendem
bilddifferenzierten
Schichtabtrag
bei
der
Entwicklung.
Examples
of
such
methods
are
thermotransfer,
ink
jet
coating,
and
electrostatic
toner
transfer,
in
which
thermoplastic
layers,
inks
from
ink
jets
which
absorb
color
by
application
of
heat
or
charged
toner
particles
by
depositing
on
electrically
charged
surfaces
are
transmitted
and
then
fixed,
as
well
as
the
application
of
photopolymers
with
subsequent
removal
of
the
layer
during
development
so
as
to
distinguish
between
image
locations.
EuroPat v2
Verfahren
nach
Anspruch
4,
dadurch
gekennzeichnet,
dass
der
reale
Schichtauftrag
in
Form
von
Schaufelwerkstoff
und/oder
einer
neuen
Schutzschicht
auf
die
gefertigte
Nettogeometrie
(NG)
in
Analogie
zum
rechnerischen
Schichtabtrag
(SCH)
mit
konstanter
oder
sich
definiert
ändernder
Dicke
erfolgt.
The
method
of
claim
4,
wherein
the
application
of
coating
material
in
the
form
of
blade
material
or
the
new
protective
coating
to
the
finished
net
geometry
is
performed,
as
with
the
mathematical
removal
of
coating
material,
in
either
a
constant
or
a
varying
thickness.
EuroPat v2
Die
Personalisierung
erfolgt
durch
selektiven
Schichtabtrag,
so
daß
die
unter
der
obersten
Farbschicht
befindlichen
Farbschichten
sichtbar
werden
und
aufgrund
ihres
Kontrasts
zu
den
anderen
Farbschichten
die
Informationen
lesbar
machen.
Personalization
takes
place
by
selective
layer
removal,
so
that
the
color
layers
located
under
the
uppermost
color
layer
become
visible
and
make
the
information
legible
due
to
their
contrast
with
the
other
color
layers.
EuroPat v2
Auch
für
diese
Schicht
gilt
das
Argument,
dass
bei
einem
Schichtabtrag
die
katalytischen
Eigenschaften
derselben
erhalten
bleiben.
For
this
layer
too,
the
argument
applies
that,
in
the
case
of
layer
removal,
the
catalytic
properties
thereof
are
preserved.
EuroPat v2
An
dieser
Stelle
ist
zu
beachten,
dass
die
Hilfsschicht
403
von
der
Ätzung
der
Schicht
430
ebenfalls
betroffen
ist
und
der
Schichtabtrag
bei
der
Einstellung
der
Ausgangsschichtdicke
berücksichtigt
werden
muss.
It
should
be
noted
at
this
point
that
auxiliary
layer
403
is
likewise
affected
by
etching
of
layer
430,
and
that
layer
removal
must
be
taken
into
account
when
adjusting
the
initial
layer
thickness.
EuroPat v2
Erst
wenn
ein
Schichtabtrag
soweit
fortgeschritten
ist,
dass
die
Lage
14b
erreicht
wird,
kommt
es
zu
einer
Farbveränderung
der
Oberfläche,
der
als
Indikator
für
ein
Auswechseln
des
Bauteils
bzw.
eine
Erneuerung
der
Schicht
gewertet
werden
kann.
Only
when
wearing
away
of
the
coating
has
advanced
so
far
that
layer
14
b
is
reached
does
the
color
of
the
surface
change,
which
can
be
interpreted
as
an
indicator
that
the
component
needs
to
be
replaced
or
that
the
coating
needs
to
be
renewed.
EuroPat v2