Übersetzung für "Reaktionsgas" in Englisch
Das
Reaktionsgas
in
der
Apparatur
wird
durch
ein
Umwälzpumpe
im
Kreis
geführt.
The
reaction
gas
in
the
apparatus
is
cycled
via
a
circulating
pump.
EuroPat v2
Bei
diesem
Verfahren
werden
jedoch
Reaktionswasser
und
Reaktionsgas
getrennt
vorgeheizt
bzw.
verdampft.
However,
in
this
process,
the
reaction
water
and
reaction
gas
were
separately
preheated
and
evaporated.
EuroPat v2
Die
Energiezufuhr
erfolgt
mittels
eines
Plasmabrenners,
welcher
das
Reaktionsgas
erhitzt.
The
energy
supply
is
effected
by
means
of
a
plasma
burner
heating
the
reaction
gas.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
in
der
Apparatur
wird
durch
eine
Umwälzpumpe
im
Kreis
geführt.
The
reaction
gas
in
the
apparatus
is
cycled
via
a
circulating
pump.
EuroPat v2
Als
Fluidisiergas
dient
Kohlendioxid,
welches
gleichzeitig
das
Reaktionsgas
darstellt.
The
fluidizing
gas
used
is
carbon
dioxide,
which
is
at
the
same
time
the
reaction
gas.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
wird
im
Kreis
gefahren.
The
reaction
gas
is
circulated.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
kann
auch
zusätzlich
mit
Wasserstoff
und/oder
Edelgasen
verdünntwerden.
The
reaction
gas
can
also
be
diluted
with
hydrogen
and/or
inert
gases.
EuroPat v2
Bei
diesem
Verfahren
werden
jedoch
Raktionswasser
und
Reaktionsgas
getrennt
vorgeheizt
bzw.
verdampft.
However,
in
this
process,
the
reaction
water
and
reaction
gas
were
separately
preheated
and
evaporated.
EuroPat v2
Entstehendes
Reaktionsgas
wurde
kontinuierlich
bis
zu
einem
Druck
von
ca.
40
bar
abgelassen.
Reaction
gas
formed
was
continuously
let
off
to
maintain
a
pressure
of
about
40
bar.
EuroPat v2
Entstehendes
Reaktionsgas
wurde
kontinuierlich
bis
zu
einem
Druck
von
ca.
40
bar
abgenommen.
Reaction
gas
formed
was
continuously
removed
to
maintain
a
pressure
of
about
40
bar.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
wurde
durch
KI-Lösung
geleitet.
The
reaction
gas
was
passed
through
KI
solution.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
bei
der
erfindungsgemäßen
Reaktion
ist
bevorzugt
Wasserstoff.
The
reaction
gas
in
the
reaction
according
to
the
invention
is
preferably
hydrogen.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
kann
auch
mit
einem
inerten
Trägergas,
insbesondere
Argon
verdünnt
werden.
The
reaction
gas
may
also
be
rarefied
by
means
of
an
inert
carrier
gas,
particularly
argon.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
wurde
am
unteren
Ende
des
Reaktors
abgezogen.
The
reaction
gas
was
drawn
off
at
the
lower
end
of
the
reactor.
EuroPat v2
Alternativ
können
als
Reaktionsgas
für
das
PECVD-Verfahren
Silazane
verwendet
werden.
Alternatively
silazane
can
be
used
as
the
reaction
gas
for
the
PECVD
process.
EuroPat v2
Das
Reaktionswasser
wird
aus
dem
Reaktionsgas
nach
dem
Stand
der
Technik
entfernt.
The
reaction
water
is
removed
from
the
reaction
gas
in
accordance
with
the
prior
art.
EuroPat v2
Als
Reaktionsgas
muß
bei
diesem
Verfahren
Ammoniak
eingesetzt
werden.
Ammonia
must
be
used
as
reaction
gas
in
this
process.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
enthielt
24.8
Nl/h
Wasserdampf.
The
reaction
gas
contained
24.8
standard
1/h
of
steam.
EuroPat v2
Als
Reaktionsgas
hat
sich
Sauerstoff
oder
ein
sauerstoffhaltiges
Gemisch
bewahrt.
Oxygen
or
an
oxygen-containing
mixture
has
proven
to
be
a
suitable
reaction
gas.
EuroPat v2
Aus
dem
Reaktionsgas
10
wird
in
der
Kammer
13
ein
Plasma
12
erzeugt.
A
plasma
12
is
produced
from
the
reaction
gas
10
in
a
chamber
13
.
EuroPat v2
Im
Reaktionsraum
mündet
ein
Gaseinlaß
für
die
Zuführung
von
Reaktionsgas.
A
gas
inlet
for
feeding
the
reaction
gas
ends
in
the
reaction
space.
EuroPat v2
In
die
Plasmazone
wird
durch
den
Gaseinlaß
20
das
Reaktionsgas
zugeführt.
The
reaction
gas
is
fed
into
the
plasma
zone
by
gas
inlet
20.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
wird
in
einem
Kühler
kondensiert
und
anschließend
destilliert.
The
reaction
gas
is
condensed
in
a
condenser
and
then
distilled.
EuroPat v2
Das
Reaktionsgas
wird
bei
-78°C
kondensiert
und
langsam
auf
Raumtemperatur
gebracht.
The
reaction
gas
is
condensed
at
-78°
C.
and
slowly
brought
to
room
temperature.
EuroPat v2
Dabei
ist
es
günstig,
daß
das
Reaktionsgas
einen
Bestandteil
an
Fluor
aufweist.
It
is
favorable
in
this
case
that
the
reaction
gas
has
a
fluorine
component.
EuroPat v2
In
einer
bevorzugten
Ausführungsform
wird
das
Reaktionsgas
im
Kreis
geführt.
In
a
preferred
embodiment,
the
reaction
gas
is
recycled.
EuroPat v2
Durch
die
Gaszuführung
5
wird
das
zur
Schichtbildung
benötigte
Reaktionsgas
eingeleitet.
The
reaction
gas
needed
for
layer
formation
is
introduced
via
the
gas
feed
5.
EuroPat v2
Durch
das
Reaktionsgas
wurden
stündlich
16
g
eines
Phenol/Wasser-Gemisches
ausgetragen.
16
g/h
of
a
phenol/water
mixture
were
carried
out
by
the
reaction
gas.
EuroPat v2