Übersetzung für "Mikromechanisch" in Englisch

Die vorliegende Erfindung betrifft einen mikromechanisch herstellbaren kapazitiven Drucksensor.
The present invention is directed to a micromechanically manufacturable capacitive pressure sensor.
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Hierzu kann die Oberfläche der Glasschicht mikromechanisch bearbeitet sein.
For this, the surface of the glass layer can be micromechanically processed.
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Die Beschleunigungssensorik und die Drucksensorik sind üblicherweise mikromechanisch aufgebaut.
The acceleration sensor system and the pressure sensor system are normally constructed micromechanically.
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In einfacher Ausgestaltung kann der Luftdrucksensor ein kapazitiver Luftdrucksensor sein, der mikromechanisch hergestellt werden kann.
In a simple embodiment the barometric pressure sensor can be a capacitive barometric pressure sensor that can be manufactured micro-mechanically.
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Hier ist eine passive Justage mittels Marken oder eine justagefreie Montage durch mikromechanisch strukturierte Anschläge möglich.
Here, passive adjustment by means of marks or adjustment-free mounting by means of micromechanically structured stops is possible.
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Der Einfachheit halber kann auch die ganze Oberfläche des mikromechanisch strukturierten Substrates verspiegelt werden.
Also the entire surface of the micromechanically structured substrate can be reflective for simplicity.
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Für die Anwendung von aus der Halbleiterindustrie bekannten Massenherstellungstechniken ist es besonders vorteilhaft, wenn das Körperteil ein vorzugsweise photolithographisch oder mikromechanisch bearbeitetes Plättchen aus Glas oder aus halbleitendem Material, vorzugsweise ein Siliziumplättchen, ist.
When mass production techniques known from the semi-conductor industry are used, it is especially advantageous for the body part to be a preferably photolithographically or micromechanically machined plate of glass or of semi-conductive material, preferably a silicon plate.
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Erfindungsgemäss zeichnen sich demnach die eingangs erwähnten Flüssigkristallzellen dadurch aus, dass die den Flüssigkristall begrenzenden und orientierenden Platten mikromechanisch erzeugte Bereiche mit unterschiedlichen definierten Vorzugsrichtungen aufweisen.
According to the invention, the initially-mentioned liquid crystal cells are characterized in that the plates bounding and orienting the liquid crystal have micromechanically produced regions with different defined preferential directions.
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Zu diesem Zweck wird die gesamte Polymerschicht 3 der Platte 1 mit schachbrettartig angeordneten, mikromechanisch mit unterschiedlichen Orientierungsrichtungen strukturierten Flächenbereichen versehen.
To this end the entire polymer layer 3 on plate 1 is provided with a chess board arrangement of surface regions, micromechanically structure in different orientation directions.
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Mikromechanisch gefertigte Flußrestriktionsvorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der die zweite Durchlaßöffnung durch die Abdeckvorrichtung (30) gebildet ist.
A micromechanically produced flow-restriction device according to claim 1, wherein the second passage opening is defined by the cover.
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Mikromechanisch gefertigte Flußrestriktionsvorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der die zweite Durchlaßöffnung durch das Substrat (10) gebildet ist.
A micromechanically produced flow-restriction device according to claim 1, wherein the second passage opening is defined by the substrate.
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Mikromechanisch gefertigte Flußrestriktionsvorrichtung gemäß Anspruch 4, bei der die Durchlaßöffnungen (12, 14) derart in der ersten Hauptoberfläche des Substrats (10) gebildet sind, daß sie zusammen mit der zweiten Hauptoberfläche des Substrats (10) die Membranen definieren, wobei die Abdeckvorrichtung in den Bereichen, die den Membranen gegenüberliegen, Ausnehmungen aufweist, in denen die Gegenelektroden angeordnet sind.
A micromechanically produced flow-restriction device according to claim 4, wherein the passage openings are formed in the first main surface of the substrate in such a way that the passage openings define the membranes together with the second main surface of the substrate, areas of the cover located opposite the membranes being provided with recesses in which the counterelectrodes are arranged.
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Mikromechanisch gefertigte Flußrestriktionsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei der das Substrat (10) aus Silizium besteht.
A micromechanically produced flow-restriction device according to claim 1, wherein the substrate consists of silicon.
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Mikromechanisch gefertigte Flußrestriktionsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der die Abdeckvorrichtung (30) aus Silizium besteht.
A micromechanically produced flow-restriction device according to claim 1, wherein the cover consists of silicon.
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Mikromechanisch gefertigte Flußrestriktionsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der die Abdeckvorrichtung (30) aus Pyrexglas besteht.
A micromechanically produced flow-restriction device according to claim 1, wherein the cover consists of Pyrex glass.
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Beispiele hierfür sind Fabry-Perot-Resonatoren oder mikromechanisch hergestellte, verspiegelte Behälter, die derart dimensioniert sind, daß die Bedingungen für eine Resonanzverstärkung des Anregungslichts oder des Raman-Streulichts erfüllt sind.
Examples of these are Fabry-Perot resonators or micromechanically fabricated mirrored containers whose dimensions are such that the conditions for resonance enhancement of the exciting light or of the Raman scattered light are met.
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Mikrodosiervorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Druckkammer (24), der Verdränger (10) und die Einrichtung (12, 14) zum Erfassen der Stellung des Verdrängers (10) als mikromechanisch gefertigte Strukturen ausgebildet sind.
A microdosing device according to claim 1, wherein the pressure chamber, the displacer and the means for detecting the position of the displacer are implemented as micromechanically produced structures.
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Der Safingsensor SS wird zusammen mit den anderen Schaltereinheiten BS mikromechanisch in denselben Verfahrensschritten auf dem gemeinsamen Träger CH, z.B. einem ASIC-Halbleiterbaustein, hergestellt.
The safing sensor SS is manufactured micromechanically together with the other switch units BS on the common carrier CH, for example an ASIC semiconductor module, using the same method steps.
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Es gibt weiterhin Spiegel-Arrays aus einer Vielzahl von mikromechanisch hergestellten, kippbaren und digital durch elektrische Steuersignale ansteuerbaren Spiegelelementen.
Furthermore, mirror arrays are known consisting of a multitude of micro-mechanically produced, tiltable mirror elements, which are digitally controllable by electric control signals.
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Volumensensorfreie Mikrodosiervorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der die Druckkammer (24) und der Verdränger (10) als mikromechanisch gefertige Strukturen ausgebildet sind.
The volume sensor-free microdosing device according to claim 1, wherein the pressure chamber and displacer are micromechanically produced structures.
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Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist, daß mit Hilfe des Ultrakurzpulslasers in zahnärztliche Restaurationen aus HIP-Y-ZrO 2 - Keramik an der späteren Fügefläche definierte mikromechanisch wirkende Retentionsmuster eingearbeitet werden können, um einen wesentlich verbesserten Haftverbund mit dem Befestigungszement zu erzielen.
Another advantage of the invention is that with the aid of the ultra-short-pulse laser, in dental restorations of HIP-Y-ZrO 2 ceramic, defined micromechanically acting retention patterns can be machined into the later joining surface, in order to achieve a substantially improved adhesive bond with the securing cement.
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Dabei kann ebenfalls ein gleichzeitig eingearbeitetes, definiertes mikromechanisch wirkendes Retentionsmuster, das bisher gemäß EP 1 013 236 B1 gefräst werden mußte, den Haftverbund mit Befestigungszementen erhöhen.
Once again, a simultaneously machined-in, defined, micromechanically acting retention pattern, which until now had to be milled in accordance with European Patent Disclosure EP 1 013 236 B1, can likewise increase the adhesive bond with securing cements.
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Drehratensensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement aus anderen mikromechanisch strukturierbaren Materialien wie z.B.: Poly-Si, SiC, Siliziumnitrid, Siliziumdioxid, GaAs, Quarz, AlN, PZT oder Metallen besteht.
Rate of rotation sensor according to claim 2, characterized in that the sensor element consists of micromechanically structurable materials selected from the group consisting of poly-Si, SiC, silicon nitride, silicon dioxide, GaAs, quartz, AlN, PZT and metals.
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Die einzelnen Ultraschallwandler des Ultraschallwandlerarrays haben eine laterale Auflösung zwischen 50 und 200 um und können mikromechanisch hergestellt werden.
The individual ultrasound transducers of the ultrasound transducer array have a lateral resolution between 50 and 200 ?m and can be micromechanically manufactured.
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Der Stellmotor 80 ist vorzugsweise ein Schrittmotor und Stellmotor 80 und/oder Zahnstange 81 werden vorzugsweise mikromechanisch realisiert.
The positioning motor 80 is preferably a stepped motor, and the positioning motor 80 and/or toothed rack 81 are preferably realized micromechanically.
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In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird der Schutzlack in mikromechanisch vorstrukturierte Kavernen auf die Waferrückseite aufgebracht.
In one example embodiment of the present invention, the protective resist is applied to the back of the wafer in micromechanically prepatterned caverns.
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Diese Art Herstellverfahren werden auch als mikromechanisch und, da die Strukturen an der Oberfläche hergestellt werden, als Surface-Micromachining bezeichnet.
This manufacturing method may also be referred to as micro-mechanical and as surface micromachining, since physical structures are formed on the surface of the substrate.
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