Übersetzung für "Bedampfungsanlage" in Englisch
Man
kann
hier
den
Katalysator
systematisch
aufbauen,
beispielsweise
in
einer
Bedampfungsanlage
mit
mehreren
verschiedenen
Verdampfungsquellen.
The
catalyst
can
here
be
built
up
systematically,
for
example
in
a
vapor
deposition
unit
using
a
plurality
of
different
vaporization
sources.
EuroPat v2
Diese
geometrische
Anordnung
entspricht
soweit
der
einer
klassischen
Bedampfungsanlage,
mit
Abwickler
10,
Leitwalzen
11,
12,
Aufwickler
13,
Wickelkammer
14a,
Aufdampfkammer
14b.
This
geometric
configuration
corresponds
in
general
to
classic
vacuum
coating
equipment,
with
an
unwind
unit
10,
guide
rollers
11,
12,
a
winding
unit
13,
a
winding
Chamber
14a
and
an
evaporation
chamber
14b.
EuroPat v2
Gemäß
einer
Ausführungsform
der
Erfindung
können
die
Katalysatoren
systematisch
aufgebaut
werden,
beispielsweise
in
einer
Bedampfungsanlage
mit
mehreren
verschiedenen
Verdampfungsquellen.
According
to
an
embodiment
of
the
invention,
the
catalysts
can
be
built
up
systematically,
for
example
in
a
vapor
deposition
unit
using
a
plurality
of
different
vaporization
sources.
EuroPat v2
Die
Anlage
kann
dabei
mit
nur
geringen
Veränderungen
sowohl
als
Bedampfungsanlage
nach
dem
PVD-Verfahren,
wie
auch
als
nach
dem
Sputter-
oder
PECVD-Verfahren
(plasma
enhanced
chemical
vapour
deposition)
betrieben
werden.
The
apparatus
100
may
be
operated
with
only
slight:
modifications
both
as
a
vapor
deposition
apparatus
in
accordance
with
a
PVD
process
and
in
accordance
with
a
sputtering
or
plasma
enhanced
chemical
vapor
deposition
(PECVD)
process.
EuroPat v2
In
der
Bedampfungsanlage
ist
der
Flasher
mit
Hilfe
von
zwei
Schrauben
5
zwischen
zwei
Stahlplatten
6
geklemmt.
In
the
evaporation
coating
system,
the
flasher
is
clamped
between
two
steel
plates
6
with
the
aid
of
two
screws
5.
EuroPat v2
Die
erfindungsgemäße
Bedampfungsanlage
weist
im
wesentlichen
eine
Vakuumkammer
1
auf,
die
durch
eine
oder
mehrere
dynamischen
Schleusen
6a,
6b
in
eine
Aufdampfkammer
2,
die
nachfolgend
als
Aufdampfteil
bezeichnet
wird,
und
eine
Ablösekammer
7,
die
nachfolgend
als
Kammerteil
bezeichnet
wird,
unterteilt
ist.
The
vapor
deposition
apparatus
100
generally
includes
a
vacuum
chamber
1
subdivided
by
one
or
several
dynamic
locks
6
a,
6
b
into
a
vapor
deposition
chamber
2,
hereinafter
referred
to
as
the
vapor
deposition
part,
and
a
stripping
chamber
7,
hereinafter
referred
to
as
the
chamber
part.
EuroPat v2
Diese
Anlage
weist
zwei
Kammern
2,
3
auf,
von
denen
die
eine
Kammer
2
eine
Abwickelrolle
4
für
eine
unbeschichtete
Kunststoffolie
5
sowie
eine
Aufwickelrolle
6
für
eine
beschichtete
Kunststoffolie
7
enthält,
während
die
andere
Kammer
3
mit
der
eigentlichen
Bedampfungsanlage
8
ausgerüstet
ist.
This
installation
comprises
two
chambers
2,
3
of
which
the
one
chamber
2
comprises
a
feeder
roller
4
for
an
uncoated
synthetic
film
5
as
well
as
a
take-up
roller
6
for
a
coated
synthetic
film
7,
while
the
other
chamber
3
is
equipped
with
the
vaporization
installation
8
proper.
EuroPat v2
Diese
Bedampfungsanlage
8
besteht
im
wesentlichen
aus
einem
Tiegel
9
mit
zu
verdampfendem
Material
10,
zwei
Elektronenstrahlkanonen
11,
12
und
einem
Mikrowellensender,
von
dem
nur
Teile
einer
Hornantenne
13
zu
erkennen
sind.
This
vaporization
installation
8
comprises
essentially
a
crucible
9
with
the
material
10
to
be
vaporized,
two
electron
beam
guns
11,
12
and
a
microwave
transmitter
of
which
only
part
of
a
horn
antenna
13
is
evident.
EuroPat v2
Eine
Aktivierung
der
Folienoberfläche
kann
z.B.
auch
durch
eine
Vorbehandlung
(Corona,
Beflammung,
Plasma,
Glimmentladung
oder
Behandlung
mit
z.B.
Ozongas),
in
oder
außerhalb
der
Bedampfungsanlage
erfolgen.
An
activation
of
the
film
surface
can
occur,
e.g.,
by
pretreatment
with,
for
example,
corona,
flaming,
plasma,
glow-discharge
or
treatment
using,
a
substance,
such
as,
ozone
gas
within
or
outside
of
the
vaporization
plant.
EuroPat v2
Bei
Einsatz
dieser
Vorrichtung
in
einer
kontinuierlichen
Bedampfungsanlage,
die
unter
einem
Druck
von
0,0133
Pa
und
Erhitzen
der
Stahlungsheizquelle
5
durch
Widerstandserwärmung
auf
etwa
1800°C
betrieben
wird,
beginnt
der
am
Boden
3
befindliche
Aufdampfgutring
1a,
der
durch
das
Ende
der
Heizspirale
5
am
stärksten
erhitzt
wird,
zu
verdampfen.
When
using
this
apparatus
in
a
continuous
vaporization
process
operated
under
a
pressure
of
0.0133
Pa
and
heating
of
the
source
of
radiation
heat
5
to
about
1800°
C.
by
resistance
heating,
the
vaporizable
material,
which
is
adjacent
the
bottom
3
and
has
been
most
strongly
heated
through
the
end
of
the
heating
coil
5,
begins
to
vaporize.
EuroPat v2
Bei
Einsatz
dieser
Vorrichtung
in
einer
kontinuierlichen
Bedampfungsanlage,
die
unter
einem
Druck
von
0,0133
Pa
und
Erhitzen
der
Stahlungsheizguelle
5a
durch
Widerstandserwärmung
auf
etwa
1800°C
betrieben
wird,
beginnt
das
Aufdampfgut
in
den
Einkerbungen
9
des
Festkörpers
1a
zu
verdampfen
unter
Bildung
von
Dampf,
der
nach
oben
entweicht.
When
using
this
apparatus
in
a
continuous
vaporization
process
operated
under
a
pressure
of
0.0133
Pa
and
heating
the
source
of
radiation
heat
5a
to
1800°
C.
or
more
by
resistance
heating,
the
vaporizable
material
in
the
indentations
9
of
the
solid
body
1a
starts
to
vaporize
forming
vapor
which
escapes
upwardly.
EuroPat v2
Darüber
hinaus
ist
eine
Vielzahl
von
mechanischen
Wendevorrichtungen
bekannt,
welche
einen
Großteil
der
für
die
Bedampfung
in
der
Bedampfungsanlage
zur
Verfügung
stehenden
Fläche
beanspruchen.
In
addition,
many
mechanical
turnover
devices
are
known
which
take
up
a
large
portion
of
the
surface
available
for
the
vaporization
in
the
vaporization
system.
EuroPat v2
In
der
Bedampfungsanlage
ist
der
Flash-TV-Verdampfer
(1)
auf
beiden
Seiten
mit
Hilfe
von
zwei
Schrauben
(2)
zwischen
zwei
Stahlplatten
(8)
geklemmt.
In
the
evaporation
coating
system,
the
flash
TV
evaporator
(1)
is
clamped
on
both
ends
between
two
steel
plates
(8)
with
the
aid
of
two
screws
(2).
EuroPat v2
Da
die
Flashes
so
früh
kommen,
könnte
in
einer
Bedampfungsanlage
sogar
mit
noch
geringeren
Spannungen
und
damit
mit
noch
geringeren
Stromdichten
gearbeitet
werden,
was
wiederum
die
Materialbelastung
weiter
vermindert
und
die
Standzeit
des
Verdampfers
weiter
erhöht.
Since
the
flashes
come
so
early,
work
could
even
be
carried
out
with
still
lower
voltages
and
thus
with
still
lower
current
densities
in
an
evaporation
coating
system,
which
in
turn
reduces
the
material
loading
further
and
extends
the
service
life
of
the
evaporator
further.
EuroPat v2
Bei
dieser
Verfahrensvariante
setzt
man
das
zu
verdampfende
Material,
insbesondere
Aluminium,
zunächst
nach
Art
einer
Getterpumpe
ein,
um
einen
geringen
Druck
im
Rezipienten
der
Bedampfungsanlage
zu
erreichen.
Under
this
embodiment
of
the
method,
the
material
to
be
evaporated,
in
particular,
aluminum,
is
initially
employed
as
a
sort
of
getter
pump
in
order
to
arrive
at
a
low
pressure
in
the
coating
system?s
coating
chamber.
EuroPat v2
Der
Gesamtaufbau
des
Reihenverdampfers
besteht
aus:
Einem
Trägerkasten
1
aus
hitzebeständigem
Stahl,
welcher
auf
einer
Unterlage
7
zum
Beladen
oder
Wechseln
unterhalb
der
Heizer
6
zwischen
den
Heizereinspannblöcken
3,
ohne
Demontage
der
Heizer
6
und
Abnehmen
der
mehrlagigen
Abdeckungen
4
in
horizontaler
Richtung
bei
geöffneter
Bedampfungsanlage
ausziehbar
ist.
The
overall
structure
of
the
series
evaporator
is
as
follows:
A
housing
1
made
from
heat-resistant
steel,
which
is
located
on
a
support
7
and
can
be
moved
out
horizontally
from
underneath
the
heaters
6
between
the
heater
clamping
blocks
3
to
be
loaded
or
changed
when
the
evaporation
equipment
is
open,
without
dismantling
the
heaters
6
and
removing
the
multilayer
shields
4.
EuroPat v2