Übersetzung für "Ausrichtfehler" in Englisch
Auf
diese
Weise
wird
erst
eine
Achse
hinsichtlich
ihrer
Ausrichtfehler
korrigiert.
In
this
way,
at
first
one
axis
is
corrected
with
regard
to
its
alignement
error.
EuroPat v2
Diese
sind
wieder
ein
Maß
für
die
Ausrichtfehler
der
Nickachsen.
These
are
again
indicative
of
the
alignment
errors
of
the
pitch
axes.
EuroPat v2
Diese
Ausrichtfehler
können
durch
Korrektursignale
an
den
um
die
nächstinneren
Rollachsen
kompensiert
werden.
These
alignment
errors
can
be
compensated
by
correction
signals
at
the
servomotors
operative
about
the
next
inner
roll
axes.
EuroPat v2
Diese
Komponente
ist
ein
Maß
für
den
Ausrichtfehler.
This
component
is
indicative
of
the
alignment
error.
EuroPat v2
Diese
Ausrichtfehler
können
selbstverständlich
in
bekannter
Weise
korrigiert
werden.
Naturally,
these
alignment
errors
can
be
corrected
in
conventional
fashion.
EuroPat v2
Über
50
%
aller
Schadensfälle
an
Pumpen
gehen
auf
Ausrichtfehler
zurück.
More
than
50
%
of
all
pump
damage
is
caused
by
misalignment.
ParaCrawl v7.1
Diese
Unregelmäßigkeiten
können
Schäden
an
Wälzlagern
und
Zahnrädern,
Unwucht
und
Ausrichtfehler
sein.
These
irregularities
can
be
for
instance
damages
at
rolling
bearings
and
gears,
imbalance
and
alignment
errors.
ParaCrawl v7.1
Wenn
keine
Ausrichtfehler
vorliegen,
dann
fühlen
die
Eingangsachsen
46
und
46
keine
Komponenten
der
Drehgeschwindigkeit.
When
no
alignement
errors
are
present,
the
input
axes
46
and
48
do
not
sense
any
components
of
the
angular
rate.
EuroPat v2
Hätten
Sie
gewusst,
dass
mehr
als
die
Hälfte
aller
Schadensfälle
an
Pumpen
auf
Ausrichtfehler
zurückgehen?
Did
you
know
that
more
than
fifty
percent
of
all
pump
damage
is
caused
by
misalignment?
ParaCrawl v7.1
Ausrichtfehler
können
zu
erhöhten
Biegespannungsbelastungen
der
Welle
sowie
zu
übermäßigen
Schwingungen
und
Lagerschäden
führen.
Alignment
errors
can
lead
to
increased
bending
stress
loads
on
the
shaft,
and
to
excessive
oscillations
and
bearing
damage.
EuroPat v2
Der
Spezialist
erkennt
daraus,
ob
beispielsweise
eine
Unwucht,
ein
Ausrichtfehler
oder
ein
Lagerschaden
vorliegt.
This
allows
the
specialist
to
recognize,
for
example,
whether
the
problem
comes
from
unbalance,
misalignment
or
bearing
damage.
ParaCrawl v7.1
Mit
diesem
Verfahren
lassen
sich
große
Datenmengen
über
Ausrichtfehler
automatisch
und
genau
ermitteln
und
f
sammeln,
wobei
durch
Betriebspersonal
verursachte
Fehler,
die
sich
aus
einer
bisher
üblichen
Art
der
Datenermittlung
ergeben
könnten,
beseitigt
werden.
It
enables
large
volumes
of
overlay
data
to
be
automatically
and
accurately
collected,
eliminating
operator
errors
that
would
result
from
a
more
conventional
means
of
data
gathering.
EuroPat v2
Somit
stellen
also
die
reduzierten
Daten
die
Ausrichtfehler
entweder
in
X-
oder
in
Y-Richtung
am
Ort
eines
jeden
abgetasteten
Ausrichtmusterpaares
dar.
Thus,
the
reduced
data
represents
the
overlay
error
in
either
the
X
or
Y
dimension
at
the
location
of
each
scanned
overlay
feature.
EuroPat v2
Eine
solche
weitere
Verarbeitung
wäre
beispielsweise
dann
erforderlich,
wenn
der
Ausrichtfehler
durch
irgendein
anderes
Verfahren
gemessen
worden
wäre
und
ist
somit
nicht
Teil
dervorliegenden
Erfindung.
Such
subsequent
processing
would
be
necessary
with
respect
to
utilizing
overlay
error
measured
by
any
other
technique
and
accordingly
does
not
form
part
of
the
present
invention.
EuroPat v2
Die
Position
der
Mittellinie
des
einen
Ausrichtmusters
in
bezug
auf
die
Mittellinie
zwischen
den
zwei
Streifen
des
anderen
Ausrichtmusters
liefert
eine
unmittelbare
Anzeige
für
den
Ausrichtfehler
zwischen
den
beiden
Ausrichtmustern.
The
position
of
the
single
bar
center
line
with
respect
to
the
center
line
between
the
double
bars
is
a
direct
indication
of
the
overlay
error
of
the
two
patterns.
EuroPat v2
Unter
der
Gesamtdeformation
der
Strangschale
ist
eine
resultierende
Deformation
zu
verstehen,
die
infolge
der
Zug-
bzw.
Druckkräfte
(in
Bewegungsrichtung
5),
infolge
der
Ausbauchung,
infolge
des
Richtens,
des
wärmebedingten
Rollenschlages
und
infolge
Ausrichtfehler
sowie
infolge
der
Flächenpressung
an
der
Phasengrenze
fest/flüssig
entsteht.
The
entire
deformation
of
the
strand
shell
represents
a
resulting
deformation
which
arises
because
of
tensile
or,
if
applicable,
compressive
forces
(in
direction
of
motion
5),
because
of
bulging,
because
of
aligning,
because
of
heat-induced
roller
striking,
and
because
of
alignment
flaws
as
well
as
because
of
surface
pressure
at
the
solid/liquid
phase
interface.
EuroPat v2
Es
darf
dabei
nicht
übersehen
werden,
dass
die
bei
stark
divergenten
Strahlen
örtlich
stark
unterschiedliche
seitliche
Versetzung
eines
durch
schräg
einfallende
Strahlen
übertragenen
Maskenbildes
zwar
durch
entsprechende
Massnahmen
bei
der
Maskenherstellung
kompensiert
werden
kann,
dass
aber
durch
reversible
oder
irreversible
örtliche
Längenänderungen
der
Masken
und/oder
der
Halbleiterplättchen
oder
durch
örtliche
Abstandsänderungen
Ausrichtfehler
entstehen,
die
in
der
Grössenordnung
von
einigen
µm
liegen.
Although
the
lateral
displacement
of
a
mask
image
transferred
by
obliquely
incident
beams,
which
in
the
case
of
highly
divergent
beams
may
differ
considerably
from
one
location
to
another,
can
be
compensated
by
suitable
measures
during
mask
manufacture,
it
must
not
be
overlooked
that
reversible
or
irreversible
local
length
changes
of
the
masks
and/or
the
semiconductor
wafers
or
local
alignment
errors
caused
by
local
distance
changes
and
amounting
to
several
?m
are
still
encountered.
EuroPat v2
Die
Kalibrierung
erfolgt
dabei
bei
jedem
Schritt
nur
für
eine
Achse,
ohne
daß
Ausrichtfehler
der
anderen
Achsen
gleichzeitig
berücksichtigt
werden
müßten.
With
the
desired
method,
the
calibration
is
effected
in
each
step
only
for
one
axis
without
at
the
same
time
having
to
take
alignment
errors
of
the
other
axes
into
consideration.
EuroPat v2
Es
ist
dabei
zur
Vereinfachung
angenommen,
daß
alle
Ausrichtfehler
nur
in
der
Papierebene
von
Fig.4
und
5
auftreten.
For
simplicity,
it
is
assumed
that
all
of
the
alignment
errors
only
occur
in
the
paper
plane
of
FIGS.
4
and
5.
EuroPat v2
Kreiselparameter
wie
Abgriffnullpunktfehler,
Skalenfaktor,
Temperaturabhängigkeit
des
Skalenfaktors,
Ausrichtfehler
bei
der
Montage
der
Kreisel,
Beschleunigungsabhängigkeiten
etc.
werden
an
der
montierten
Baugruppe
gemessen
und
in
dem
elektrisch
änderbaren
Speicher
68
gespeichert.
Gyro
parameters
such
as
pick-off
zero
errors,
scale
factors,
dependence
of
the
scale
factor,
alignment
errors
in
assembling
of
the
gyros,
dependence
on
accelerations
etc.
are
measured
in
the
assembled
unit
and
memorized
in
the
electrically
changeable
memory
68.
EuroPat v2
Da
die
jeweilige
Schubstange
37
und
die
zugehörige
Lagerhülse
41
zylindrisch
ausgebildet
sind,
wird
erreicht,
daß
die
Ausrichtung
des
jeweiligen
Stellantriebs
28
bzw.
29
zur
Grundplatte
39
nicht
sehr
exakt
zu
sein
braucht,
da
Ausrichtfehler
durch
die
Drehbarkeit
der
jeweiligen
Schubstange
37
um
ihre
Achse
44
relativ
zur
Lagerhülse
41
und
damit
relativ
zur
Grundplatte
39
ausgeglichen
werden.
Since
the
relevant
push
rod
37
and
the
associated
bearing
sleeve
41
are
of
cylindrical
construction,
it
is
ensured
that
the
orientation
of
the
respective
positioning
drive
28,
29
in
respect
of
the
base
plate
39
does
not
need
to
be
very
exact,
since
errors
in
alignment
can
be
compensated
by
the
rotatability
of
the
relevant
push
rod
37
about
its
axis
44
in
relation
to
the
bearing
sleeve
41
and
thus
in
relation
to
the
base
plate
39.
EuroPat v2
Der
Fertigungs-
und
Montageaufwand
wird
reduziert,
da
über
die
Führungselemente
und/oder
die
Kupplung
problemlos
ein
Ausgleich
von
Fertigungstoleranzen
oder
Ausrichtfehler
zwischen
dem
Hebelgehäuse
und
dem
Ventilgehäuse
erfolgt
und
vor
allem
quer
zur
Bewegungsrichtung
der
axialbewegbaren
Ventilspindel
gerichtete
zumindest
erheblich
reduziert
und
letztendlich
vermieden
werden.
The
complexity
of
manufacture
and
assembly
are
reduced
because
manufacturing
tolerances
or
misalignments
between
the
lever
housing
and
the
valve
housing
can
easily
be
compensated
for
through
the
guiding
elements
and/or
the
coupling,
and
particularly
those
which
are
transverse
to
the
direction
of
movement
of
the
axially
moving
valve
spindle
are
at
least
considerably
reduced
and
ultimately
prevented.
EuroPat v2
Zur
Kompensation
der
jeweiligen
Ausrichtfehler
kann
beispielsweise
die
Maskenbühne
4
in
den
Koordinaten
der
Objektebene,
XY
und
?,
und
das
Substrat
längs
der
optischen
Achse
des
Systems
verschoben
werden.
According
to
the
detected
alignment
errors,
the
mask
stage
4
may
be
shifted
for
example
in
the
Cartesian
coordinates
XY
of
the
object
plane
and
the
substrate
can
be
shifted
along
the
optical
axis
Z
of
the
system.
EuroPat v2
Werden
Gitter
mit
verschiedenen
Gitterkonstanten
auf
der
Maske
bzw.
dem
Wafer
verwendet,
so
entstehen
durch
Überlagerung
der
ermittelten
Grundwellen
Schwebungen,
die
ein
sehr
empfindliches
Maß
für
Ausrichtfehler
darstellen.
If
gratings
with
different
grating
periods
are
used
on
the
objects
to
be
mutually
aligned,
the
superimposition
of
the
computed
fundamental
waves
leads
to
the
generation
of
beats
which
constitute
a
highly
sensitive
measure
of
alignment
errors.
EuroPat v2
Ausrichtfehler,
die
aus
der
schrittweisen
Bewegung
des
Tisches
resultieren,
können
durch
die
Mittelung
zumindest
teilweise
eliminiert
werden.
Alignment
errors
resulting
from
the
stepwise
table
movement
can
be
eliminated
at
least
partly
through
taking
the
mean.
EuroPat v2
Demgemäß
besteht
die
Aufgabe
der
Erfindung
darin,
eine
gattungsgemäße
Einrichtung
so
auszugestalten,
daß
bei
ihrem
Einsatz
an
schnellaufenden
Druckmaschinen
Ausrichtfehler
und
Beschädigungen
der
Bogenvorderkante
so
klein
wie
möglich
gehalten
werden.
It
is
accordingly
an
object
of
the
invention
to
produce
a
device
of
the
foregoing
general
type
which,
when
installed
in
high-speed
printing
machines,
keeps
aligning
errors
and
damage
to
leading
edges
of
sheets
to
a
minimum.
EuroPat v2