Übersetzung für "Auflösungsgrenze" in Englisch
Daraus
folgert
eine
Auflösungsgrenze
von
6
ppb
N0
2
in
Stickstoff.
Hence
the
resolution
limit
is
6
ppb
NO2
in
nitrogen.
EuroPat v2
Spätestens
beim
Element
6.2
ist
die
Auflösungsgrenze
des
Scanners
erreicht.
Ultimately
in
element
6.2
the
resolution-limit
of
this
scanner
is
reached.
ParaCrawl v7.1
Die
Auflösungsgrenze
des
verwendeten
Mocon-Oxtran
Messgerätes
ist
dabei
erreicht
worden.
The
resolution
limit
of
the
Mocon-Oxtran
measurement
appliance
used
was
then
reached.
EuroPat v2
Die
optische
Auflösung
der
gemessenen
Bild-Daten
ist
unter
der
visuellen
Auflösungsgrenze
bei
Nahpunkt-Betrachtungsdistanz.
The
optical
resolution
of
the
measured
image
data
is
below
the
visual
resolution
limit
at
the
near
point
viewing
distance.
EuroPat v2
Die
nutzbare,
obere
Auflösungsgrenze
liegt
bei
100
kHz.
The
useable
upper
frequency
limit
for
the
transducer
is
100
kHz.
ParaCrawl v7.1
Dazu
nutzten
sie
Elektronenmikroskopie,
die
die
Auflösungsgrenze
der
klassischen
Lichtmikroskopie
überwindet.
For
this,
they
used
electron
microscopy,
which
overcomes
the
resolution
limit
of
classical
light
microscopy.
ParaCrawl v7.1
Liegt
dieser
chromatische
Bildversatz
über
der
Auflösungsgrenze
des
Auges,
nimmt
der
Betrachter
farbige
Doppelbilder
wahr.
If
this
chromatic
image
offset
is
above
the
resolution
limit
of
the
eye,
the
observer
perceives
colored
double
images.
EuroPat v2
Nach
dem
Tempern
liegt
der
Wasserstoffgehalt
des
Quarzglases
jedoch
unterhalb
der
Auflösungsgrenze
des
Messverfahrens.
After
annealing,
the
hydrogen
content
of
the
quartz
glass
is,
however,
below
the
resolution
limit
of
the
measurement
method.
EuroPat v2
Die
Grösse
von
Flakes
kann
kleiner
als
die
Auflösungsgrenze
des
Objektivs
im
Objektraum
sein.
Flakes
can
be
smaller
in
size
than
the
resolution
limit
of
the
lens
in
the
object
space.
EuroPat v2
Konkret
ist
hier
der
Abstand
der
Moleküle
12
sogar
viel
kleiner
als
die
Auflösungsgrenze.
Specifically,
the
spacing
of
the
molecules
12
here
is
actually-much
less
than
the
resolution
limit.
EuroPat v2
Somit
verkürzt
sich
die
mittlere
freie
Weglänge
und
die
Auflösungsgrenze
kann
auf
geringere
Größen
verbessert
werden.
The
average
free
path
length
is
therefore
shortened
and
the
resolution
limit
can
be
improved
to
lower
sizes.
EuroPat v2
Es
besteht
ein
fester
Zusammenhang
zwischen
objektseitig
maximal
auflösbarem
Strukturdetail,
Abbildungsmaßstab
und
Auflösungsgrenze
des
Sensors.
There
is
a
fixed
relationship
between
the
maximum
resolvable
structure
detail
on
the
object
side,
the
image
scale
and
the
resolution
limit
of
the
sensor.
ParaCrawl v7.1
So
können
Störungen
sicher
erkannt
werden,
die
im
Bereich
der
Auflösungsgrenze
der
Kamera
liegen.
Faults
within
the
camera's
resolution
limit
can
thus
be
reliably
detected.
ParaCrawl v7.1
Nachdem
die
weitere
Entwicklung
der
integrierten
Halbleiterschaltungen
zu
Leiter-
und
Schaltungselementen
mit
Durchmessern
und
Abständen
von
wesentlich
unter
1
11m
führt,
die
maximal
erreichbare
Auflösungsgrenze
aller
bekannten
optischen
Verfahren
aber
etwa
bei
2
um
liegt,
ist
man
zur
Belichtung
mit
Korpuskularstrahlen,
insbesondere
mit
Elektronenstrahlen,
übergegangen.
As
further
development
of
integrated
semiconductor
circuits
require
conductor
and
circuit
elements
with
diameters
and
distances
of
much
less
than
1
?m,
and
since
the
maximum
resolution
limit
obtainable
in
all
known
optical
processes
is
approximatively
2
?m,
exposure
by
corpuscular
beams,
and
particularly
by
electron
beams
was
adopted.
EuroPat v2
In
der
herkömmlichen
Fluoreszenzmikroskopie
ist
das
ebenfalls
nur
bis
zu
Werten
möglich,
die
um
die
konventionelle
optische
Auflösungsgrenze
von
etwa
200
nm
(lateral)
liegen.
Conventional
fluorescence
microscopy
can
only
establish
sizes
to
around
the
conventional
optical
resolution
limit
of
approximately
200
nm
(lateral).
WikiMatrix v1
Andererseits
läßt
sich,
wenn
beispielsweise
ein
Takt
von
1
Impuls/s
gewählt
wird,
gegenüber
der
genannten
Auflösungsgrenze
eine
Genauigkeitssteigerung
hinsichtlich
der
Auswertung
des
Geschwindigkeitsdiagramms
von
100
%
erreichen.
On
the
other
hand,
if
a
cycle
of
1
pulse/sec
is
selected,
an
increase
in
the
accuracy
with
respect
to
the
evaluation
of
the
speed
graph
of
100%
can
be
achieved
compared
to
the
above-mentioned
resolution
limit.
EuroPat v2
Von
Nachteil
ist
bei
diesen
Systemen
aber,
daß
eine
maßhaltige
Strukturübertragung
nicht
möglich
ist,
daß
keine
engen
Gräben
erzeugt
werden
können,
d.h.
Gräben
mit
einer
Breite
kleiner
als
die
Auflösungsgrenze,
und
daß
entweder
die
DUV-Transparenz
oder
die
Ätzresistenz
gegen
Substratätzprozesse
relativ
gering
ist.
However,
disadvantages
of
these
systems
are
that
a
transfer
of
structures
true
to
size
is
not
possible,
that
no
narrow
spaces
can
be
produced,
i.e.
spaces
with
a
width
less
than
the
resolution
limit,
and
that
either
the
DUV
transparency,
or
the
etch
resistance
to
substrate
etch
processes
is
relatively
low.
EuroPat v2
Aufgabe
der
Erfindung
ist
es,
einen
Photoresist
bereitzustellen,
der
eine
maßhaltige
Strukturübertragung
in
der
Zweilagentechnik
und
die
Erzeugung
von
Strukturen
(Gräben
bzw.
Löcher)
jenseits
der
Auflösungsgrenze
erlaubt,
eine
hohe
Transparenz
aufweist,
empfindlich
für
UV-Licht,
Elektronen-
und
Röntgenstrahlen
ist
und
eine
hohe
Empfindlichkeit
(<
20
mJ/cm²
im
DUV-Bereich)
sowie
ein
hohes
Auflösungsvermögen,
auch
im
Subhalbmikron-Bereich,
besitzt.
It
is
an
object
of
the
invention
to
make
a
photoresist
available,
which
allows
transfer
of
structures
true
to
size
in
two-layer
technology,
and
the
production
of
structures
(spaces
and/or
holes)
beyond
the
resolution
limit,
has
a
high
transparency,
is
sensitive
for
UV
light,
electron
beams
and
X-rays,
and
possesses
a
great
sensitivity
(<20
mJ/cm2
in
the
DUV
range),
as
well
as
a
high
resolution
capacity,
also
in
the
submicron
range.
EuroPat v2
Insbesondere
bei
der
anzustrebenden
Integration
der
gesamten
Schaltungsanordnung
auf
einem
Halbleiterplättchen
und
den
dafür
nötigen
geringen
Abmessungen
der
Schalter-Transistoren
können
die
Übergangswiderstände
derartige
Werte
annehmen,
daß
das
analoge
Ausgangssignal
nur
extrem
hochohmig
weitergeleitet
werden
kann,
um
parasitäre
Spannungsabfälle
unterhalb
der
Auflösungsgrenze
des
analogen
Ausgangssignals
zu
halten.
Particularly
with
the
aimed-at
integration
of
the
whole
circuit
arrangement
on
a
semiconductor
wafer
and
the
consequent
small
dimensions
of
the
switching
transistors,
the
contact
resistances
then
get
to
be
such
high
values
that
the
analog
output
signal
can
only
be
conveyed
in
an
extremely
high
resistive
manner,
to
keep
parasitic
voltage
drops
below
the
limit
of
resolution
of
the
analog
output
signal.
EuroPat v2
Aufgabe
der
Erfindung
ist
es,
ein
Verfahren
anzugeben,
das
eine
maßhaltige
Strukturübertragung
in
der
Zweilagentechnik
und
die
Erzeugung
von
Strukturen
(Gräben
bzw.
Löcher)
jenseits
der
Auflösungsgrenze
erlaubt,
wobei
eine
hohe
Transparenz,
ein
hohes
Auflösungsvermögen,
auch
im
Subhalbmikron-Bereich,
und
eine
hohe
Empfindlichkeit
(<
20
mJ/cm²
im
DUV-Bereich)
gegeben
sein
soll,
und
zwar
sowohl
für
UV-Licht
als
auch
für
Elektronen-
und
Röntgenstrahlen.
The
object
of
the
invention
is
to
specify
a
process
which
permits
a
structure
transfer
true
to
size
using
the
two-layer
technique
and
which
permits
structures
spaces
or
holes)
to
be
produced
beyond
the
resolution
limit,
whereby
a
high
transparency,
a
high
resolution,
even
in
the
sub-half-micron
range,
and
a
high
sensitivity
(<20
mJ/cm2
in
the
DUV
range)
results
both
for
UV
light,
as
well
as
for
electron
and
X-ray
beams.
EuroPat v2
Nur
diese
Art
von
Rauschen
stellt
deshalb
die
natürliche
Auflösungsgrenze
der
neuen
Auswerteschaltung
dar,
der
man
sich
auch
schon
mit
sehr
billigen
Operationsverstärkern
praktisch
beliebig
nähern
kann.
Only
this
kind
of
noise,
therefore,
represents
the
natural
resolution
limit
of
the
new
evaluation
circuit
which
can
be
approached
practically
as
far
as
desired
already
with
very
inexpensive
operational
amplifiers.
EuroPat v2
Dies
erfolgt
zum
einen
bei
der
maßhaltigen
Strukturübertragung
in
der
Zweilagentechnik
und
zum
anderen
bei
der
Erzeugung
von
Strukturen
jenseits
der
Auflösungsgrenze.
This
takes
place
first
during
the
structure
transfer
true
to
size
using
the
two-layer
technique
and
second
when
structures
are
produced
beyond
the
resolution
limit.
EuroPat v2
Deshalb
stellt
nur
noch
das
sogenannte
weiße
Rauschen
die
natürliche
Auflösungsgrenze
der
Auswerteschaltung
nach
der
Erfindung
dar.
Therefore,
only
the
so-called
white
noise
still
represents
the
natural
resolution
limit
of
the
evaluation
circuit
according
to
the
invention.
EuroPat v2
Dies
ist
zum
einen
die
maßhaltige
Strukturübertragung
in
der
Zweilagentechnik
und
zum
anderen
die
Erzeugung
von
Strukturen
jenseits
der
Auflösungsgrenze.
This
is
the
transfer
of
structures
true
to
size
in
two-layer
technology,
for
one
thing,
and
the
production
of
structures
beyond
the
resolution
limit,
for
another
thing.
EuroPat v2
Nach
dem
Belichten
mit
einer
Strahlung
der
Wellenlänge
248
nm
und
einer
Energie
von
38
bzw.
36
mJ/cm²
und
Entwickeln
erhielt
man
Strukturen,
deren
Auflösungsgrenze
bei
etwa
1,0
µm
Linien
und
Gräben
erreicht
erreicht
war
(Beispiel
46)
bzw.
die
keine
praxisgerechte
Bilddifferenzierung
zeigten
(Beispiel
47).
Following
exposure
to
radiation
having
a
wavelength
of
248
nm
and
an
energy
of
38
or
36
mJ/cm2
respectively,
and
developing,
structures
were
obtained
the
resolution
limit
of
which
was
reached
at
about
1.0
?m
lines
and
spaces
(Example
46)
or
which
do
not
exhibit
image
differentiation
meeting
the
requirements
in
practice
(Example
47).
EuroPat v2