Übersetzung für "Ätzung" in Englisch
Die
Schichtdicke
von
PtSi
in
den
Kontaktbohrungen
nach
der
Ätzung
zeigt
nachfolgende
Aufstellung:
The
PtSi
thickness
in
the
contact
holes,
after
etching
is
shown
below:
EuroPat v2
Bei
der
elektrolytischen
Ätzung
von
Aluminiumfolien
erfolgt
eine
Oberflächenvergrößerung.
In
electrolytically
etching
aluminum
foils,
an
enlargement
of
a
surface
area
will
occur.
EuroPat v2
Das
Ergebnis
ist
eine
Hoch-
ätzung,
d.h.
die
Spule
erscheint
erhaben.
The
result
is
a
relief
etching,
that
is
to
say,
the
coil
appears
to
be
raised.
EuroPat v2
Diese
Öffnungen
werden
durch
übliche
photolithographische
Verfahren
und
durch
Ätzung
hergestellt.
These
openings
are
formed
by
the
conventional
photolithography
and
etching
techniques.
EuroPat v2
Das
gewünschte
Ergebnis
dieser
Ätzung
ist
in
Fig.
The
desired
result
of
the
etching
is
shown
in
FIG.
EuroPat v2
Für
die
nasschemische
Ätzung
können
die
folgenden
Ätzmittel
verwendet
werden:
For
the
wet
chemical
etching
the
following
etchants
may
be
used:
EuroPat v2
Die
Dauer
dieses
Ätzschrittes
ergibt
die
Größe
der
lateralen
Ätzung.
The
duration
of
this
etch
step
determines
the
amount
of
lateral
etching.
EuroPat v2
3D
im
vorigen
Beispiel)
vor
der
eigentlichen
lateralen
Ätzung
verzichtet.
3D
in
the
previous
embodiment)
was
not
carried
out
before
lateral
etching.
EuroPat v2
Durch
die
elektrochemische
Ätzung
wird
die
Oberfläche
des
Siliziumsubstrats
auf
charakteristische
Weise
strukturiert.
As
a
result
of
the
electro-chemical
etching,
the
surface
of
the
silicon
substrate
is
structured
in
a
characteristic
way.
EuroPat v2
Nach
dem
Feinhonen
erfolgt
als
letzter
Bearbeitungsschritt
eine
elektrochemische
oder
stromlose
Ätzung.
The
finish
honing
is
succeeded
by
a
final
processing
step,
which
consists
of
an
electrochemical
or
currentless
etching.
EuroPat v2
Die
Führungsnuten
einschließlich
der
Aufweitung
können
durch
Prägung
oder
Ätzung
hergestellt
werden.
The
guide
channels
including
the
widened
portion
can
be
produced
by
stamping
or
by
etching.
EuroPat v2
Durch
das
Vorliegen
des
allseitigen
Plasmaeinschlusses
wird
eine
gleichmäßige
und
intensive
Ätzung
ermöglicht.
A
uniform
and
intense
etching
is
permitted
because
the
substrate
is
surrounded
on
all
sides
by
the
plasma.
EuroPat v2
Fertigungstechnisch
ist
z.
B.
insbesondere
die
fotolackmaskierte
selektive
Ätzung
der
Passivierungsschicht
von
Bedeutung.
Production
engineering-wise,
the
selective
etching
of
the
photoresist-masked
passivation
film
in
particular
is
of
significance.
EuroPat v2
Die
Selektivität
der
Ätzung
wird
auf
diese
Weise
effektiv
verbessert.
The
selectivity
of
the
etching
is
effectively
improved
in
this
way.
EuroPat v2
Die
Lochöffnungen
13
sind
mit
Hilfe
einer
elektrochemischen
Ätzung
gebildet.
The
hole
openings
13
are
formed
by
electro-chemical
etching.
EuroPat v2
Diese
Oszillationen
sind
infolge
der
Ätzung
der
Maske
amplitudenmoduliert.
These
oscillations
are
amplitude
modulated
as
a
result
of
the
resist
being
etched.
EuroPat v2
Dieser
zeigt
die
Ergebnisse
einer
selektiven
Ätzung.
This
illustrates
the
results
of
a
selective
etching
operation.
EuroPat v2
Das
gewünschte
Resultat
dieser
Ätzung
ist
in
Fi
q
.
The
desired
result
of
the
etching
is
shown
in
FIG.
EuroPat v2
Das
gewünschte
Resultat
dieser
Ätzung
ist
in
Fig.
The
desired
result
of
the
etching
is
shown
in
FIG.
EuroPat v2
Der
Endpunkt
der
Ätzung
wird
mittels
Laserinterferenz
bestimmt.
The
endpoint
of
etching
is
determined
by
laser
interference.
EuroPat v2
Die
Endpunktsbestimmung
der
Ätzung
erfolgt
durch
Laserinterferenz.
The
etch
end
point
is
determined
by
laser
interference.
EuroPat v2
Die
isotrope
Ätzung
erfolgt
dann
mit
Flußsäure
oder
Phosphorsäure.
The
isotropic
etching
is
then
carried
out
with
hydrofluoric
acid
or
phosphoric
acid.
EuroPat v2
Die
Ätzung
erfolgt
zum
Beispiel
naßchemisch
mit
Cholin.
The
etching
is
done,
for
example,
wet-chemically
with
choline.
EuroPat v2
Die
Ätzung
erfolgt
selektiv
zu
SiO
2
.
The
etching
occurs
selectively
relative
to
SiO2.
EuroPat v2
Die
Ätzung
des
Hohlraums
6
wird
von
der
Seite
durchgeführt.
The
etching
of
the
cavity
6
is
carried
out
from
the
side.
EuroPat v2
Die
Unterbau-Stoppschicht
105
wird
dann
beispielsweise
durch
eine
naßchemische
Ätzung
entfernt.
The
substructure
stop
layer
105
is
then
removed
by
wet
chemical
etching,
for
example.
EuroPat v2
Die
naßchemische
Ätzung
ist
selektiv
gegenüber
Oxid.
The
wet
chemical
etching
is
selective
with
respect
to
oxide.
EuroPat v2